产品
我们提供多样化的产品系列，包括泄漏检测、气体分析和真空技术的解决方案。
重新设置过滤器以获得结果。
I-Guide3D 350 扫描仪： 全自动泄漏测试系统的最高精度
- 将人工嗅探过程自动化，不受接头差异的影响
- 适用于从 1.5 毫米开始的所有管材尺寸
- 通过软件进行机器人路径规划，优化周期时间
- 减少对工人的依赖
多压ALD/CVD和蚀刻先进工艺专家
- xParts 涂层可延长在恶劣化学环境下的使用寿命
- 多压力采样入口
- 检测限低于10 ppb
- 行业领先的泵送速度
用于过程测量和数据记录的高级控制器。
- 易于使用的点阵式菜单界面，用于调整参数、传感器或常规设置
- 清晰明亮的显示屏，用于远程读取设备数据
- 条形图显示设定点或显示压力随时间变化的情况
单压ALD/CVD和蚀刻先进工艺专家
- xParts 涂层可延长在恶劣化学环境中的使用寿命
- 高温单压入口
- 检测限低于10 ppb
- 行业领先的泵送速度
所有工作，无论大小
- 容量为 275 磅（125 千克）的平台设计适用于所有尺寸的水箱
- 有线手机，配有明亮的背光 LCD 显示屏
- 蓝牙连接，配有免费手机应用程序
- 分辨率为 0.1 盎司（3 克），可对包括 A3 易燃物在内的所有制冷剂进行关键充注
- 与安装 A3 制冷剂瓶的小型充注适配器套件（PN 501-601-G1）兼容
- 可进行无线 (OTA) 远程升级
ELT3000 PLUS电解液检漏仪为自动化高速电池生产线的在线测试设定了新的标准，并确保对所有种类形式的充满液体电解液的电池进行无损的电池检漏。
- 对所有锂离子和钠离子电芯进行直接电解液泄漏测试
- 无与伦比的测量可靠性--不漏掉任何一个泄漏点
- 通过多腔体实现最大效率，达到目标产量
- 高灵敏度带来的质量保证和长效性
用于大规模生产电池单元的在线泄漏测试
- 用于电芯批量生产的在线泄漏测试
- 对所有形式的金属离子电池进行直接电解液泄漏测试
- 无与伦比的测量可靠性--无一漏测
- 易于集成到高速生产系统中
- 通过多腔连接实现目标产量的最高效率
中真空至超高真空单真空计
- 纯粹的 Bayard-Alpert 测量系统，适用于超高压和高压测量范围
- 2 根灯丝
- 电隔离电子设备，避免杂散电流
- 滑动发射模式，避免压力跳跃
经济实惠的泄漏检测，不会损失昂贵的制冷剂。
- 使用环保型 N2H2 进行泄漏检查
- 适用于 R1234yf 和 R134a 系统的耦合器
- 为交流系统的高压侧和低压侧充电
ATM 至超高真空 TripleGauge®
- 3 + 1 个传感元件，测量范围极广，降低成本，节省空间
- 双灯丝设计
- 独立于气体类型的 10 托以上压力测量，实现可靠的负载锁定控制。
- 压差测量消除了与大气压力变化有关的不确定性
ATM 至超高真空双真空计
- 双测量仪（2 个传感元件），测量范围宽，降低成本，节省空间
- 用于 Bayard-Alpert 系统的 2 根灯丝
- 皮拉尼联锁保护，避免灯丝过早烧毁
- 滑动排放模式，避免压力跳跃
RRR 设备的可靠集成制冷剂识别功能
- SAE 或 VDA 输出
- 典型的五年 O2 传感器
- 通过 SAE J2927 认证
- 一个装置可检测 R134a 和 R1234yf
便携式、易于使用的制冷剂识别器
- 识别 R1234yf 和 R134a 的纯度
- SAE 或 VDA 测试模式
- 从气瓶或车辆中采集蒸汽样本
- 通过 SAE J2912 认证
离子参考计控制器 IRC081 及其用户界面是标准化离子参考计 IRG080 的操作和显示界面。
- 精确真空压力测量的操作和显示解决方案
- 用户可控制 IRG080 真空计的所有参数设置
- 通过 5 个电位计进行简单的手动操作
- 通过 USB-B 端口与电脑连接的用户界面
增强型工具性能 (ETP) 状态逻辑将传统的以 E10 工具为中心的数据与 WIP 状态相结合，提供了传统报告中无法看到的工厂运营损失的全面视图。
- 超过标准 E10 半状态模型的详细状态分析
- 提高识别制造损失的能力
根据工厂当前和历史状态，按未来几周预测工厂出货量。
- 工厂产出模型
- 为多个工厂和复杂的生产流程提供支持
- DN10-DN50
- ISO-KF DN16-DN40
- ISO-K DN63
极端PVD过程监控四极杆质谱仪
- 行业领先的最大工作压力
- 可选的超压隔离阀联锁
- 扫描量高达100 amu
大气压至中真空真空计
- 轻松一键调节 ATM 和 HV
- 节省空间的坚固设计
- 铝质壳体
- 可安装在任何方向
- Universal Power Supply for BPG400, BPG402 and BCG450 Active Hot Ion Gauges
- 100 ... 240 V (ac) supply
- Y-cable with Dsub9 connector for accessing RS232 interfaces to PC/ PLC
支持自动驾驶 "零缺陷 "挑战 - 全球首个智能综合采样管理系统
- 用户自定义规则集以管理取样目标
- 与客户的 MES 和库存标签集成
- 在保持覆盖范围和管理偏差的同时，尽量减少被测材料的数量
这是一个基于知识的决策支持软件平台，专门用于帮助工厂快速、正确地将工具恢复生产。
- 为 BKM 工作提供循序渐进的动态指导和所需支持
- 基于历史和启发式数据趋势的根本原因分析和识别
- 控制系统事件、故障排除和补救之间的模型化联系
提供设施和子设备组件与流程信息的集成。
- 智能控制/节能： 通过将工具状态与设施联系起来，减少能源使用量
- 转向基于状态的消耗： 减少消耗品/化学品/气体的使用（通常减少 15-50）
- 智能和预测性维护调度： 利用数据创建预测性维护例程
提供无与伦比的能力，自动将收集到的数据转化为有意义的信息。
- 工厂流程的自动机器学习
- 全面的可视化和分析工具
- 为现有的第三方 FDC 提供增强功能
智能故障检测和分类提供实时数据集成和分析，可在偏移发生之前进行预测。
- 流程设备和传感器数据的无缝集成使来自多个来源的数据可用于分析
- 边缘计算可在源头进行数据收集和分析，从而加快响应速度并增强检测能力
- 提供现场安装或基于云的安装，以实现性能和成本的最大灵活性
- 实时和逐次运行分析可减少废品并改进过程控制
根据当前和未来的工作量，优化分配工厂的团队成员。
- 自动确定轮班小组成员的最佳任务分配
- 考虑认证和技能组合
- 记录历史运营人员配置和绩效
- 提供重要的实时可视化人员配置情况
利用精确的工厂数据，对给定开工曲线的工具利用率进行估算。
- 增强型物料移动建模
- 按产品、模块或产品流程中的步骤细化周期时间贡献
利用数字孪生系统中的历史运营数据，深入了解以前无法获得的周期时间损失。
- 周期时间网站易于浏览，任何人都可以在公司内联网上使用。
- 周期时间的各个组成部分（排队时间、流程时间、流程后时间）均以可视化方式进行分解。
- 周期时间的各个组成部分可按产品、模块或产品流程中的各个步骤进行比较。
- 通过显示平均在制品水平的图表，可以了解在制品和周期时间之间的相互作用。
为工厂车间的操作员和物料搬运工提供简单明了的指导。
- 整合 FPS 计划器创建的最佳批量解决方案
- 可视化辅助工具，告知操作员所在区域的工具何时闲置
- 指导材料处理人员在正确的时间将批次送到正确的地点，以确保最佳的工具利用率
Factory Scheduler 利用先进的启发式、线性规划、优化和智能搜索算法生成实时优化计划，可轻松调整以满足您的生产需求。
- 计算并执行工具运行批次的完整时间表
- 了解特定区域的限制和目标
- 管理队列计时器、维护窗口、集群工具等
FPS 数字孪生系统是开发智能工厂最关键的组成部分。它收集所有实时操作事件，计算周期时间和吞吐量数据，从而推动功能强大的应用。
- 提供一个通用平台，可从多种资源加载生产数据。
- 便于将数据转化为信息，从而推动所有互联解决方案发挥作用。
- 智能制造的核心和基础
操作方便简单，易于检测一氧化碳的危害。
- 一流的精确度让人放心
- 简单的操作使您可以用一只手完成所有功能
- 高度可见、直观的 "红绿灯 "LED和声音警报让您快速了解CO的危害
安全地检测易燃制冷剂和可燃气体的泄漏。
- 对5ppm的甲烷很敏感
- 还可检测天然气、成型气、丙烷、丁烷、环戊烷、乙烷、乙醇、异丁烷和氨气
- 对R290、R600a和R441a等易燃制冷剂非常适用
- 检测成型气体（95%的氮气，5%的氢气）。
多样性和灵活性适用于各种应用
- 适用于各种应用和行业的稳定性
- 适用于任何压力或真空下的气体
- 使用附带的耳机听到泄漏的声音
- 激光指示器使其更容易确定泄漏点
两级旋片式5 CFM泵，可获得低至15微级别的极限真空。
- 5 CFM排量
- 2级旋片泵，带1/2 HP马达
- 气体镇流器，抽水速度快，换油次数少
- 双电压操作
操作简单，耐用性突出，精确度高。
- 耐用的称重平台
- 以磅、磅/盎司或公斤为单位测量
- 控制简单
即使在最热的条件下，也有行业领先的回收率。
- 1HP双活塞压缩机，具有行业领先的回收率
- 微通道冷凝器提供特殊的热交换，以维持最大的回收率
- 超大的风扇提供卓越的冷却效果
- 简单的双阀操作
在一个耐用的无线包装中可靠地测量制冷剂的重量。
- 在您的智能手机或平板电脑上显示实时读数，或通过可选的无线手机显示读数
- 报警模式使充电或恢复更容易
- 测量单位为磅、磅/盎司、盎司或公斤。
- 坚固的铝制平台具有卓越的耐用性
简单、可靠和安全的解决方案，用于对任何制冷剂气体进行独立的持续监测
- 检测所有CFCs、HFCs、HCFCs、HFOs、HCs 和CO2
- 远程和集成传感器选项
- 低维护，单点校准
- 三个可调节的报警设定点
简单、可靠和安全的解决方案，用于对大多数制冷气体的较大区域进行独立的持续监测
- 检测所有CFCs、HFCs、HCFCs和HFOs
- 可与最多6个远程传感器一起工作
- 低维护，单点校准
- 三个可调节的报警设定点
通过可靠泄漏源检查您的检漏仪
- 可用于R134a、R1234yf或R600a
- 紧凑的尺寸可轻松放入您的检漏仪手提箱中
- 易于使用
- 不需要电池
使用氢氮合成气体进行安全和简单的泄漏检查。
- 检测成型气体和可燃气体
- 7克（0.25盎司）/年对成型气体（相当于R134a）的敏感性
- 本质上是安全的
- 用两节D型电池运行
操作简单，成熟的加热二极管传感器用于可靠的泄漏检查。
- 灵敏度为2g/a（根据EN 14624）。
- 检测R134a、R1234yf以及所有HFCs、HFOs和混合物
- 比标准的汽车检漏仪更少的错误警报
- 用两节D型电池运行
红外线传感器，减少误报，灵敏度高。
- 检测R-134a、R-1234yf以及所有HFCs、HFOs和混合物
- 符合所有SAE的汽车空调泄漏检测标准
- 红外线传感器最大限度地减少了常见的引擎盖下化学品的错误警报
- 与可选的二氧化碳传感器兼容
用于UL1000、UL1000 Fab、UL3000 Fab/ULTRA、UL5000、UL6000 Fab/PLUS、MODUL1000的远程控制
- 无线或有线控制检漏仪的功能
- 超过8小时的电池寿命
- 全彩色，3.5英寸触摸屏显示
- 坚固的设计，具有IP42等级
INFICON Crystal 12 传感器与INFICON IC6 薄膜沉积控制器结合使用时，可自动更换其晶体，而无需中断过程。
- 装有 12 颗晶体，可进行可靠的自动转换，从而最大限度延长过程运行时间
- 易于拆卸的旋转传送带允许快速更换所有 12 颗晶体
- 晶体转换由空气驱动完成（竞争产品是使用生热电机），因而晶体温度非常稳定
- 易于拆卸的前沉积罩保护晶体和旋转传送带上不会积存材料，从而最大限度减少拆卸整个传感器以进行维护的必要性
工厂仪表板是全球行业领先工厂使用的主要运营报告工具。
- 实现对机器和在制品问题的快速响应
- 提高工厂所有人员的意识
- 提高人员的反应速度
- 提高运营与规划的一致性
现场检测水中决策质量的数据
- 唯一的电池驱动现场冲净和捕集系统，与 GC/MS 在现场结合使用
- 与 HAPSITE 数据系统集成
- 模块化、低维护的设计，适合恶劣环境
- 独特、坚固的冲净和捕集系统适合最困难的应用
在难以到达或危险的环境中识别扩展的化学范围
- 使用 SPME Survey 快速采样
- 增强了 HAPSITE ER 识别低挥发性化合物（包括 V 类毒剂和爆炸物）的性能
- 增强了便携性和移动性
- 可将许多纤维带到现场进行采样，然后在集中的位置进行分析
痕量级定量 VOC 分析
- 快速分析从远程地点采集的样品
- 本质安全型采样泵可在潜在的爆炸性环境中采集样品
- 可选的个人便携式采样泵可用于呼吸区监测
- TD调查分析物可直接送到质谱仪，绕过气相色谱仪，在几分钟内完成化学鉴定。
现场土壤和水质分析，水、废水、土壤和固体废物中 VOC 的决策质量数据
- 可供现场使用的唯一电池供电顶空采样器
- 结果可媲美 EPA 方法 8260
- 方便的入口系统，可分析土壤、水和固体样本
- 与 HAPSITE 数据系统集成
所有 HAPSITE 化学识别系统型号的支持功能
- 在英福康服务代表的指导下，用于现场替换NEG
- 用作使用 NEG 为 HAPSITE 提供真空的替代或备份方法（即当 NEG 未安装或正在维修时）
- 用于在 INFICON 服务代表的指导下执行 HAPSITE 故障排除操作
- 为 HAPSITE 使用备用电源
- DN 16 ISO-KF/16 CF-F
- DN 25 ISO-KF/16 CF-F
- DN 16 ISO-KF/40 CF-F
- DN 25 ISO-KF/40 CF-F
- DN 40 ISO-KF/40 CF-F
- DN 40 ISO-KF/63 CF-F
- DN 40 ISO-KF/100 CF-F
- 价格极具竞争力
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- DN 100 ISO-F
- DN 160 ISO-F
- DN 200 ISO-F
- DN 250 ISO-F
- 价格极具竞争力
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 64 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- DN 200 CF
- DN 250 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- DN 200 CF
- DN 250 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- DN 200 CF
- DN 250 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- DN 200 CF
- DN 250 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- DN 200 CF
- DN 250 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- DN 200 CF
- DN 250 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 40/16 CF
- DN 63/40 CF
- DN 100/40 CF
- DN 100/63 CF
- DN 160/40 CF
- DN 160/63 CF
- DN 160/100 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 40/16 CF
- DN 63/40 CF
- DN 100/40 CF
- DN 100/63 CF
- DN 160/40 CF
- DN 160/100 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
INFICON CF 优质接头按照 ISO 3669 和最新的 TS/ ISO 3669-2 标准制造。
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 40/16 CF
- DN 63/40 CF
- DN 100/40 CF
- DN 100/63 CF
- DN 100/63 CF
- DN 160/100 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
DN 100 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 63 ISO-K/DN 63 CF
- DN 100 ISO-K/DN 100 CF
- DN 160 ISO-K/DN 160 CF
- 全球物流
- 设计和措施严格遵循国际认可的标准
- 表面光洁度、焊缝、材料规格和清洁度均达到或超过高真空规格
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- DN 200 CF
- DN 250 CF
- 全球物流
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN10-DN50
- DN10-DN50
Total Pressure Measurement
real-Time, in situ process monitoring, prevent over-etching, identify chamber clean end point
- 实时的、现场的过程监测
- 防止过度蚀刻, 确定炉室清洁终点
- 识别设备或工艺状态故障
SemiQCM™ SR sensor is one component of a system for precursor monitoring with the other components being an IMM-200 and FabGuard (version 19.12.00-a or higher).
- 实时的、现场的过程监测
- 防止过度蚀刻，确定炉室清洁终点
- 识别设备或工艺状态故障
INFICON 提供各种石英晶体监测仪 (QCM) 传感器馈入件，以适应经济型传感器。
- 可提供2.54厘米（1英寸）的螺栓或CF40（2.75英寸ConFlat®）样式
- 可提供穿孔管接头
INFICON 提供各种石英晶体监测仪 (QCM) 传感器馈入件，以适应多种 QCM 传感器和腔室配置。CF40 (2.75 in. ConFlat®) 和 2.54 cm (1 in.) 螺栓式馈入件提供电气连接、水冷却和空气管的各种组合。
- 提供 2.54 厘米（1 英寸）螺栓或 CF40（2.75 英寸 ConFlat®）款式
- 可用的 Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头
- 提供自定义馈入件配置
- 根据要求可提供其他馈入件款式
在要求苛刻的应用中表现卓越的晶体性能
- 六颗晶体
- 位置反馈（视控制器而定）
- 可调长度（带可选法兰）
- 坚固耐用的设计
NFICON CrystalSix 晶体对于要求连续监控速率的长时间过程非常重要。
- 装有 6 颗晶体，可进行可靠的自动转换，从而最大限度延长过程运行时间
- 晶体转换由空气驱动完成（竞争产品是使用生热电机），因而晶体温度非常稳定
- 1/8" 管保持热稳定性，并提供传感器放置的灵活性
- 提供可选晶体闸
INFICON 溅射传感器专为各种溅射过程而设计。
- 镀金铍铜传感器体和冷却管可实现最佳冷却效果
- 磁铁可偏转自由电子，使其远离监控器晶体
- 利用可弯曲的水管轻松安装，灵活放置传感器
- 后装式晶体插入便于更换晶体
INFICON ALD 传感器将石英晶体微天平（QCM）测量的可重复性、精确性和耐用性带入原子层沉积 (ALD)。
- 工作温度高达 450°C
- 气体吹扫管路可防止晶体背面出现沉积材料
- 焊接式 Conflat 法兰 (CF40) 选件
- O 形密封环压缩接头选件
INFICON UHV 可烘烤晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。
- 高温铜焊和焊接结构
- 烘烤温度高达 450℃
- 晶体闸（选件）
- 前装式晶体支架
经济型双传感器为一个晶体可能不够的 QCM 应用提供简单并且廉价的解决方案。
- 双晶体
- 物有所值
- 薄型设计
- 包括晶体闸
炫酷抽屉双传感器设计用于在真空室中需要第二晶体的关键过程。
- 双晶体
- 炫酷抽屉晶体支架
- 无内部电缆
- 晶体闸
炫酷抽屉单传感器允许晶体从侧面安装到传感器中，为没有足够的空间从前面安装晶体的系统提供了便利。
- 无内部电缆
- 炫酷抽屉晶体支架
- 易于安装
- 在配有焊接式 CF40 法兰时可烘烤
INFICON 前装式双晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。
- 双晶体
- 晶体闸
- 前装式晶体支架
- 易于安装
INFICON 前装式单晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。
- 前装式晶体支架
- 易于安装
- 随附 2.54 cm (1 in.) 螺栓馈入装置 / CF40 馈入装置
- 在配有压缩接头时可调长度
经济型单传感器可使产出达到最高，同时最大限度地降低成本
- 最低的投资，最低的前期成本
- 延长传感器寿命，降低总拥有成本
- 以较少的维护实现最大的产量
- 安装简便
STM-2 将 USB 连接的简单与精密测量引擎的精度相结合，在一个结构紧凑、价格便宜的封装内实现所有功能。STM-2 小巧、简单，方便安装和操作。
- 低成本仪器
- USB 连接
- 内部振荡器
- 每秒 10 次测量时的高精度
SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入，另外四个传感器输入为可选输入。
- 两个标准测量通道，另外四个可选
- 模拟输出便于记录速率/厚度
- 高分辨率选件：0.03 Hz，10 读数/秒
- RS-232 标准接口，可选择连接 USB 或以太网
采用ModeLock技术构建的紧凑型沉积监测器，以最高的厚度精度、最佳的测量分辨率和最低的速率噪声，最大限度地提高再现性和均匀性
- INFICON ModeLock 技术提供最长的晶体寿命，并确保提供最稳定、最高分辨率的速率和厚度测量，即使在极低的速率下也是如此
- 通过最佳的 QCM 厚度测量，最大限度地提高产量
- 单通道速率和厚度监测器，没有不必要的附加功能，以压缩尺寸并尽量降低成本
- 以太网通信实现无缝集成
采用ModeLock技术构建的紧凑型沉积监测器，以最高的厚度精度、最佳的测量分辨率和最低的速率噪声，最大限度地提高再现性和均匀性
- INFICON ModeLock 技术提供最长的晶体寿命，并确保提供最稳定、最高分辨率的速率和厚度测量，即使在极低的速率下也是如此
- 通过最佳的 QCM 厚度测量，最大限度地提高产量
- 单通道速率和厚度监测器，没有不必要的附加功能，以压缩尺寸并最大限度地降低成本
- EtherCAT通信实现无缝集成
CIGS 薄膜的理想之选
- 监控和控制多达 8 种材料的同时沉积过程
- 从 0.1 至 10,000 Å/s 的沉积速率
- 集成式 EIES 和 QCM 薄膜过程控制
- 12 个继电器输出和 12 个数字输入
在 PCI EXPRESS 卡上实现低成本沉积控制
- PCI Express
- 三个传感器输入，三个控制输出
- 在 PC 中安装多个卡
- 多源共沉积
高精度顺序或编码沉积控制
- 明亮的彩色液晶显示屏 - 提供英文或中文显示
- 标准RS-232和USB接口（可选RS-232和以太网接口）
- 通过 "快速设置 "菜单、6个上下文敏感按钮和方便的参数设置旋钮，实现简单的设置和操作
- Windows®程序，用于开发、测试和下载过程，并将仪表数据记录到PC上，用于过程分析和质量控制
先进的、经济实惠的单层或多层速率控制
- 提供有单层和多层型号
- 专利 ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差
- 支持 INFICON Crystal 12®、Crystal Six® 及双传感器自动晶体转换，从而最大化生产力
- XTC/3M 多层型号最多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源
OLED 应用程序提供最佳测量精度
- INFICON ModeLock 技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
- Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
- 一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制最多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器
- 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
结合了任何其他石英晶体控制器的最佳性能、质量和功能，提供了非凡的价值。
- INFICON ModeLock技术确保了最稳定、最高分辨率的速率和厚度测量，即使在非常低的速率下也是如此。
- 在材料沉积过程中自动确定 Z 比率，从而提高厚度的准确性
- 最多可以同时对六个来源进行编码沉积
- USB数据存储用于屏幕截图、配方存储和数据记录
操作简单，加热的二极管传感器可减少错误警报。
- 加热的二极管传感器提供出色的灵敏度
- 检测CFCs、HCFCs、HFCs、HFOs和混合物（包括A2Ls）。
- 用两节D型电池运行
- 简单的一键式操作
加热的二极管传感器可减少错误警报，并具有可充电的便利性。
- 加热的二极管传感器提供出色的灵敏度
- 检测CFCs、HCFCs、HFCs、HFOs和混合物（包括A2Ls）。
- 可充电电池
- 简单的一键式操作
- Apezon M
- Dow Corning
- FU 090
- FM 090
- OL 090
- DYNAFAT
- 低蒸气压
- 粘着性良好
CAF 4
C 100
- DN 63 ISO-F
- DN 100 ISO-F
- DN 160 ISO-F
- 宽视角
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- DN 16 CF-F
- DN 40 CF-F
- DN 40 CF-F
- DN 63 CF-F
- DN 100 CF-F
- DN 160 CF-F
INFICON offers a wide range of industrial approved viewports which fit into all applications where a view port is needed.
- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
- DN 50 ISO-KF
- 宽视角
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- 用于 H2O 和 LN2
- 隔热
- 特别适用于温度非常高和非常低的应用
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- 用于 H2O 和 LN2
- 隔热
- 特别适用于温度非常高和非常低的应用
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- 2 kV
- 3 kV
- 5 kV
- 10 kV
- 高质量材料允许 400° C 下重复烘烤
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
INFICON 提供价格实惠的 ISO-KF 法兰馈入件，它已在世界各地的所有标准真空应用中使用多年。除了这种馈入件，还可配置真空腔室的真空侧和大气侧的连接器选择。
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
- 三个电极选择
- 滑动至安装好的馈入装置
- 带水冷的电流连接
INFICON 提供价格实惠的 ISO-KF 法兰馈入件，它已在世界各地的所有标准真空应用中使用多年。除了这种馈入件，还可配置真空腔室的真空侧和大气侧的连接器选择。
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
INFICON 提供价格实惠的 ISO-KF 法兰馈入件，它已在世界各地的所有标准真空应用中使用多年。除了这种馈入件，还可配置真空腔室的真空侧和大气侧的连接器选择。
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
INFICON 提供价格实惠的 ISO-KF 法兰馈入件，它已在世界各地的所有标准真空应用中使用多年。除了这种馈入件，还可配置真空腔室的真空侧和大气侧的连接器选择。
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
INFICON 提供价格实惠的 ISO-KF 法兰馈入件，它已在世界各地的所有标准真空应用中使用多年。除了这种馈入件，还可配置真空腔室的真空侧和大气侧的连接器选择。
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
可用法兰设计 ISO-KF / ISO-K 和 CF 与我们的接头管对应。所有馈入件都适合用于泄漏速率不超过 1 x 10-9 mbarl/s 的真空系统。对于 UHV，还可提供全金属设计的馈入件。
- 两个 FPM 轴密封件
- 直接推/拉和旋转启动
- 配备有锁环和可选防转装置
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
可用法兰设计 ISO-KF / ISO-K 和 CF 与我们的接头管对应。所有馈入件都适合用于泄漏速率不超过 1 x 10-9 mbarl/s 的真空系统。对于 UHV，还可提供全金属设计的馈入件。
- 配有波纹管，可以满足更苛刻的真空要求
- 直接推/拉启动
- 使用测微螺丝进行高精度调节
- 2011/65/EU RoHS 符合
The available flange designs ISO-KF / ISO-K and CF corresponds to our fitting line. All feedthroughs are suited to work in vacuum systems with leak rates up to 1 x 10-9 mbarl/s. For UHV an all metal designed feedthrough is also available.
- 波纹管密封
- 全金属版本
- 可满足各种苛刻的真空要求
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
测试和校准的简单方法 - 达到最高的准确性
- 适用于工业应用
- 使用方便
- 可用于不同的泄漏率
- 可溯源至 NIST、NMIJ、NPL、PTB 等。
校准漏孔使得冷媒吸枪检漏仪能用于最高质量要求的泄漏检测中
- 适用于工业应用
- 使用方便
- 可用于不同的泄漏率
- 按 DIN EN 10204：2004-3.1 要求包括检验证书
检漏系统集成的需要
- 多种类型适应不同的客户要求
- 操作简单
- 易于安装
- 理想的安装尺寸
带储气的校准漏孔，用于真空应用
- 污染耐受
- 无金属流动减少低温依赖性
- 通过与具有 PTB 证书的校准泄漏比较来确定标称泄漏率
- 按 DIN EN 10204：2004-3-3.1 要求的检验证书（包括）
INFICON 已校准的标准漏孔可用于测试和校准冷媒吸枪检漏仪，使其满足最高的检漏质量需求。
- 使用方便
- 适用于工业应用
- 可用于不同的泄漏率
- 按 DIN EN 10204：2004-3.1 要求包括检验证书
INFICON 已校准的标准漏孔可用于测试和校准氦气吸枪检漏仪 Protec P3000(XL)，使其满足最高的检漏质量需求，校准漏孔的处理和吸枪检漏仪的校准非常容易
- 适用于工业应用
- 使用方便
- 可用于不同的泄漏率
- 按 DIN EN 10204：2004-3.1 要求包括检验证书
整套气体注射套件 (Complete Gas Injection Kit) 是一个 Extrima 防爆认证检漏仪附件，用于在飞机维护过程中，将示踪气体注入泄漏的燃料中。该套件包含一套完整的附件，可满足您在许多不同的情况下高效地检测泄漏的需求，这些附件均装在一个精巧的重型运输箱内。
- 为 Extrima 防爆认证氢气检漏仪的附件
- 包含注射垫，用于通过漏出点注射示踪气体
- 包含注射固定组件，这是找出不平整表面上泄漏位置的最轻松方法
- 包括注射板，用于轻松地将示踪气体从瓶子注射到注射垫，检查压力，校准仪器
采用示踪气体进行泄漏检测要求充注测试对象。
- 抽空、充注和吹扫测试对象
- 提供低压版 (0.05 - 2 barg/ 0.7 - 29 PSIG) 和标准版 (0.3 - 10 barg /4.4 - 145 PSIG)
- 充装示踪气体前的大泄漏中止功能
- 支柱阀可优化充装
Sensistor ILS500 F 是泄漏检测系统的充注器，具备完整的工装驱动和充气功能，不含检漏仪装置。
- 完整的工具调整和充气功能
- 配备新的彩色触摸屏，便于进行功能设置
- 通过 USB 端口下载和备份
- 包括泄漏检测前的粗略泄漏检测
创新的 Contura S400 检漏仪为食品包装机器制造商以及整个食品行业提供了一套独特的 MAP （气调包装）及其他软包装检漏解决方案。
- 即使是小的泄漏（尺寸 < 10 μm）也可以在几秒钟内检测到
- 即使在顶部空间很小的包装中也能检测到粗略的泄漏
- 立即显示测量结果
- 测量结果的存储和评估
ADC100 系统连接至 DC 发电机，以实时检测等离子体电弧。 这样就能中断晶圆过程，并将潜在硬件或产品损坏通知工程师。
- FabGuard 传感器集成和分析系统可将软件集成到工具
- 每个通道 250 kHz 的数据采集频率
- 将定制电缆连接到大部分 DC 发电机
- 使用预定义分析工具快速检测电弧
无创卡箍式射频检测仪可在 iPVD、PECVD 和蚀刻应用中实现高速电弧检测
- 便于改装到现有工具箱中
- 非侵入式传感器安装
- 高速数据采集 (250 kHz)
- 与 FabGuard 相集成的数据管理
在严苛的应用中达到最高的稳定性
- 精确
- 可靠
- 稳定
- 提供各种电极材料
INFICON 晶体 100% 通过精度和可靠性测试
- 5 和 6 MHz
- 金、银（用于高热负荷过程）和减压合金（用于电介质材料和半导体过程的光学涂膜）
- 三种方便的封装选择 – 洁净室兼容包装、平板包装和紧凑型包装
- 根据您要求的尺寸和频率定制的晶体
创新成就出众
- 快速区分天然气与沼气
- 由于集成了专有的红外传感器系统，因此不会发出错误警报，灵敏度高，反应迅速，恢复时间短
- 防护等级 IP54
- 坚固设备外壳，可应对各种复杂恶劣环境和条件
基于 GC 的系统 CMS5000 能够自动提取水中的 VOC 样品，量化污染物水平，如果超过阈值将自动提醒用户。
- 通过自主测试节省人力和金钱
- 减少常规外部实验室分析的频率
- 最低的拥有成本
- 减少时间浪费，较低的维护需求，无需准备样品
卓越的灵敏度和可互换的传感器实现了最大的通用性。
- 新的、重新设计的红外传感器，易于现场更换
- 快速充电的锂离子电池
- 检测CFCs、HCFCs、HFCs、HFOs、混合物（包括A2Ls）、CO2*和可燃物*。
猎云的PPM显示，卓越的灵敏度，以及可互换的传感器，实现了最大的通用性。
- 带 ppm 读数的创新云采集模式有助于比从前更快定位漏点
- 新的、重新设计的红外传感器，易于现场更换
- 快速充电的锂离子电池
- 检测CFCs、HCFCs、HFCs、HFOs、混合物（包括A2Ls）、CO2*和可燃物*。
AP29ECO 是 Sensistor Sentrac 氢气检漏仪的附件，能让您使用氢气示踪气体执行自动泄漏检测。
- 吸枪流量警报
- AP29ECO 完全由 Sensistor Sentrac 检漏仪控制。
- 为内置氢气传感器采集良好定义的空气样本
- 处理集聚室测试、局部包壳测试和扫描
LDS3000 AQ 是首个在简单积聚室中使用合成气体或氦的检漏仪。
- 泄漏测试部件的高成本效益的解决方案
- 测试与真空室一样可靠 - 仅需约为空气测试的成本
- 为未来的工业 4.0 集成准备的现场总线接口
- 不受温度和湿度影响，提供可靠的测试结果和高度的可重复性
价格与压差检漏系统相同的氦气检漏灵敏度
- 操作成本低
- 对产品性能没有限制
- 可靠地找到所有的泄漏
- 易于使用
基于可靠、智能且可重复平台的氦气泄漏测试，优化您的生产
- 紧凑型设计，易于融入工作台或机柜系统中
- 即插即用安装；灵活的接口
- 宽范围检测系统：从 0.1 到 < 5 x 10-12 mbar l/s
- 支持任意尺寸的前级泵
模块化检漏仪，结构紧凑 性能卓越
- 更紧凑、更易于整合
- 通信多样性
- 可靠性高
唯一一款可鉴别 VOC 和 SVOC 的便携式 气质GC/MS
快速、简便、准确的现场作业性能
- 现场直接得出快速、可靠的结果，可媲美实验室 GC/MS 数据
- 通用的接口允许在不改变 HAPSITE 硬件的情况下增加附件
- 操作简单，只需要稍加培训，有基本技能水平即可
- 目视确认正确的探针位置以实现最佳采样效果
HAPSITE CDT 为军事、民用和危险响应团队提供了多功能性，可在现场识别和量化麻醉品、化学战剂 (CWA)、第四代毒剂 (FGA)、爆炸物和有毒工业化学品威胁，以快速开展关键健康风险评估。
- 灵敏度/跟踪水平检测
- 扩大的质量范围/麻醉品和FGA/A系列检测
- 盒式浓缩器/可移动收集
- 直观、易于使用的软件/最少的培训
大且易读的LCD显示屏不仅可以准确定位泄漏位置，还可以利用PPM读数量化泄漏大小。
- 检测R134a、R1234yf和所有HFCs、HFOs和混合物
- 符合所有SAE的汽车空调泄漏检测标准
- 红外线传感器最大限度地减少了常见的引擎盖下化学品的错误警报
- PPM和精确定位模式有助于更快地找到泄漏点
INFICON Protec P3000(XL) 氦气吸枪检漏仪专为高要求生产环境中的全时吸枪应用而设计。
- I-Guide 操作员指南模式确保操作员能够以正确方法检测正确的位置。
- 改进的系统设计弥补了操作失误，降低了遗漏泄漏点的可能性。
- 多警报功能确保用户不会忽略警报。
- 通过内置 PRO-Check 参考漏孔，可以随时轻松快速地在生产线进行校准。
高性能四极杆质谱仪
- 90年代的动态范围
- 行业领先的数据收集率
- 可更换的传感器和电子设备
- 扫描量高达300阿姆
Most advanced digital Pirani technology, compact size and the variety of features.
- 可提供钨(PSG550)或镍(PSG552)灯丝，或为高腐蚀性应用提供全陶瓷涂层(PSG554)传感器单元
- 可选择显示、设定值和数字接口
- 最新的EtherCAT协议标准ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
- 易于更换的插拔式传感器元件，具有板载校准数据--保证高重复性和低拥有成本
- DN10-DN40
最高测量精度和最大工作流量 高流量技术确保最高测量精度和最大工作能力
- INFICON 高流量技术
- 实现前所未有的测量确定性 - 让泄漏无所遁形！
- 可在难以进入的区域查找泄漏点
- 帮助经验不足的操作人员可靠地找出泄漏点
多用途四极杆质谱仪
- 90年代的动态范围
- 可更换的传感器和电子器件
- 可选的连续动态电子倍增器
- 扫描量高达200 amu
INFICON 皮拉尼电容膜片式测量仪 (PCG55x) 将 INFICON 皮拉尼技术与陶瓷电容膜片传感器的优点结合在单一产品中。
- 在 10 mbar 以上压力下不受气体类型限制 – 能够安全排放任何气体混合物
- 在大气压力下具有高度的准确性和再现性，能够进行可靠、快速的大气压力检测
- 灵活的安装方向提供自由的加工设计
- 可配备钨丝 (PCG550)、镍丝 (PCG552) 或全陶瓷涂层 (PCG554) 传感器装置用于高腐蚀性应用
从基线到过程压力的多功能过程监测
- 理想的半导体过程监测器
- 多压力采样入口
- 检测极限低于1ppm
- 集成差分泵
- DN10-DN40
先进的技术让一切变得简单
- 可以同时处理小型和大型泄漏，反应迅速 - 可快速恢复，即便检测完大型泄漏后也是如此
- 具有高度灵敏性和选择性的氢传感器 - 整合了久经考验的 Sensistor 传感器技术
- 可在 10个数量级范围内检测和定位规模变化的泄漏
- 新的彩色触摸屏和新的 HMI 可实现简易且更为可靠的菜单导航
INFICON Gemini™ 倒置磁控管真空计是所有真空测量应用（专利申请中）的动力源泉。
- 在恶劣环境下，使用寿命长
- 低杂散磁场
- 零维护 - 可换插头
在目标压力范围内的过程监测
- 有针对性的高压工艺
- 单一压力采样入口
- 检测限低于1ppm
- 集成的差分泵系统
- DN10-DN50
INFICON 倒泵控管 Pirani 真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力（3.8 x 10-9 Torr 至大气压力）
- 复合真空计 – 倒磁控管和皮拉尼
- 从 5 X 10-9 mbar 至大气气压的宽广测量范围
- 不会出现丝极烧毁的现象
- 卓越的点火属性
便携式 Extrima 检漏仪是具有内在安全性的终极仪器，可检测最恶劣环境下的泄漏情况，包括 Zone 0（与 Division 1对应）等危险位置
- 本质安全：Ex ia，IIC T3，可在 0 区/1 类中使用
- 较高灵敏度 0.5 ppm/1x10E-7 cc/s，采用 5% H2/95% N2
- 防水：IP 67
- 1 分钟启动时间
QMG 700分析质谱仪突破检测障碍，将您的工艺推向创新的新高度
- 质量范围选择从1-512 amu
- 超过90年的动态范围
- 极快的测量速度： 0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
- DN10-DN50
Sensistor XRS9012 氢气检漏仪是一款快速、可靠且功能强大的检测仪器，可用于公用事业相关行业的泄漏检测，如正压通信电缆、供水管网、户内供热系统以及发电机组氢冷系统。
- 快速启动并可立即开始检测，具备自动关机功能
- 低维护要求
- 灵敏度可调
- 包含耳机
倒置磁控真空计适用于所有超高真空应用，测量范围为5x10-11 mbar
- 测量范围低至 5x10-11 mbar
- 扩展性版本, 传感器烘烤至 250°C
- 良好的点火属性
- 容易清洗
INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。
- 高速检漏，可进行腔体检漏
- 提高生产率和产量
- 寿命长，不烧丝，有气涌保护
- 可承受工艺化学反应
- DN10-DN40
树立吸枪检漏的新标准
- 改进的系统设计弥补了吸枪操作不良的缺点，降低了遗漏泄漏点的可能性
- 干扰气体抑流技术（IGS）确保仅检测泄漏点。
- 通过内置 ECO-Check 参考漏孔，可以随时轻松快速地在生产线进行校准
- 多个警报确保不会忽略泄漏点
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）的广泛测量范围
- 测量范围从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 超压检测保护丝极，防止过早烧毁
- 双长使用寿命氧化钇铱丝
为尖端的半导体制造工艺和其他气体分析应用提供实时泄漏检测、端点检测和过程监测
- 操作范围从1托到450托
- 卓越的检测极限< 1 ppm
- 长期的可靠性：不需要泵
- 使用标准的KF25连接，易于安装
INFICON 通过推出 HLD6000 冷媒检漏仪，向泄漏检测最高水平又迈近了一步。
- 吸气探针精致小巧，符合人体工程学设计，配有状态显示器和 LED 灯
- 采用触摸显示屏，直观显示泄漏率图表数据
- USB 接口可用于测量数据储存和软件版本更新
- HLD6000 的零部件（包括探针、基础装置、易损部件和附件）可与前代产品 HLD5000 冷媒检漏仪的零部件兼容或互换使用。
ATM到超高真空热阴极仪
与其他制造商的PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert热阴极测量仪兼容。
- 产品编号IGG27000与PT R27 000匹配
- 编号IGG27001与PT R27 001匹配
- 编号IGG27002与PT R27 002匹配
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG400 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-10 mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。
- 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染
- 长使用寿命氧化钇铱丝
为关键工艺环境提供实时泄漏检测和端点检测
- 操作范围为10 mTorr至1 Torr
- 优秀的检测限可低至低ppm水平
- 长期的可靠性：不需要泵
- 使用标准的KF25连接，易于安装
- DN10-DN50
INFICON UL6000 氦气检漏仪旨在满足最为苛刻的泄漏检测应用的要求。UL6000 采用经过领域验证的真空设计，内置 INFICON 专利软件算法 I-CAL 和 Hydro-S，可以为测试提供灵活性和高灵敏度以及快速、精确的测试结果，确保任何泄漏检测应用均可快速、轻松地完成。
- HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) 能够快速达到测试条件。
- UL6000 Fab PLUS - 其他优势
- I-CAL（智能 - 泄漏率计算算法） 确保对所有测试范围内的泄漏做出快速响应。
- 特殊的多进口涡轮分子泵可以在所有压力下提供最佳氦气泵速和高氦气压缩率，从而提供卓越灵敏度、快速响应和清洗。
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-10 mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。
- 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
- 双长使用寿命氧化钇铱丝
优化燃烧效率
- 在一个屏幕上显示效率、O2、CO2、CO 和烟气温度读数
- 易于阅读的背光显示屏vv
- 利用内置压力计和软管套件监测系统压力
- 使用 FLUE-Mate 移动应用程序快速生成分析报告的 QR 码
- DN10-DN50
为满足半导体应用中的检漏需求而设计
- 采用I-CAL软件算法，在10-9至10-12mbar-l/s范围内快速测量，节省时间
- 使用I-ZERO 2.0进行最有效的检漏，其改进的智能功能可在保持高测量灵敏度的同时进行快速背景抑制
- 适用于真空和嗅探检漏
- 通过快速排空和响应时间，最大限度地减少检漏工作
INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 (Triple-Gauge™) BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中，可以测量从 5×10-10 至 1500 mbar（3.75×10-10 至 1125 Torr）的过程压力和基本压。
- BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性
- 压力超过 10 Torr 时压力测量不受气体类型限制，可以为任何气体混合物提供更为可靠的预抽真空室控制
- 皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
简化和加速气体分析
- 快速分析，仅需 1 至 3 分钟
- 快速温度升降增强了分析能力
- 集成触控 LED 背光显示器可进行直观的仪器控制和状态显示
- 集成触摸面板显示器可进行直观的仪器控制和状态显示
- DN10-DN50
INFICON UL1000 Fab 氦气检漏仪是工业或半导体环境中经济型氦气真空泄漏检测的公认标准
- 通过缩短抽气时间和响应时间加快泄漏检测工作
- 通过使用可选的背景抑制（I.Zero），避免需要进行多次泄漏测试。
- 通过紧凑的设计方便进入空间有限的维护区域
- 通过耐用的两个热丝离子源（三年保修）和逆流式真空系统实现低拥有成本 (TCO)
INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中，可测量 2×10-6 mbar 至大气气压（1.5×10-6 Torr 至大气气压）范围内的压力。
- HPG400 可节省成本和工具空间，降低真空系统的安装与设置的复杂性
- 高压热电离可以准确可靠地测量 1 X 10-5 至 1 mbar 范围内的压力，进而改善过程控制
- 用户可选的热电离发射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之间启动
- 皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
为微型气相色谱应用保持样品温度并降低压力。
- 容易连接到Micro GC Fusion上
- 侧门便于更换过滤器
- 使用快速连接接头，便于采样
- 可带入现场进行现场采样
- DN10-DN50
速度、灵敏性和可靠性满足高要求的泄漏检测应用
- 多达 15 个数量级的宽广测量范围
- 抽气时间和响应时间短
- 移动式全金属壳体，增强了便利性，而可操作性丝毫不受影响
- I-CAL（泄漏率智能计算算法)，确保在所有测量范围内对泄漏作出最快的反应时间
优异的精度，过滤器保护的传感器，提供更多的工作现场生产力。
- 测量范围从大气到1微米
- 创新的过滤器保护传感器以减少清洁的需要
- 60分钟后自动关机，以节省电池
- 皮拉尼传感器，精确度更高
Micro GC Fusion采用了基于网络的用户界面，与传统的软件相比有几个新的优点。每台仪器都内置了免许可的软件，因此不需要安装。
- 独立于操作系统，
- 免许可，
- 每台仪器都有内置，
- 无需安装
- DN10-DN50
INFICON 皮拉尼测量仪加强型 300 (PGE300) 像比它更大的 brotherP GE500 一样配备了市场上最新的数字对流增强型皮拉尼技术。
- 对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和更高的精度
- 内置显示器的一体式主动式测量仪，1 个设定点和 3 个可选模拟输出信号
- 明亮的数字 LED 显示屏提供用户友好的校准和操作
- 3 个可选的模拟输出信号（用户可选）
允许Transpector CPM成为一个移动的故障诊断仪器
- 足够灵活，可将 Transpector CPM 用于您需要的地方
- 占地面积小，适合在狭小的空间内使用
- 一个完整的系统，能够容纳运行 Transpector CPM 所需的一切。
- DN10-DN50
INFICON 皮拉尼真强型(PGE) DeviceNet 版本配备了市场上最新的数字对流增强型 Pirani 技术。
- 对流增强型皮拉尼技术，测量范围广，接近大气层时精度更高
- 一体化有源表，内置显示屏，2个设定点，数字DeviceNet接口
- 明亮的数字OLED显示屏，带键盘，设置简单。
- DN10-DN50
INFICON 皮拉尼仪表增强型 500 (PGE500) 采用了市场上最新的数字对流增强型皮拉尼技术。
- 对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和更高的精度
- 内置显示器的一体式主动式测量仪，2 个设定点，4 个模拟输出信号和 2 个数字接口
- 带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏，简化设置校准和操作
- 4 个可选的模拟输出信号（3 个用户可选，1 个默认）
- DN10-DN50
新型 INFICON Pirani Piezo 组合仪表 (PPG550) 基于目前最先进的 MEMS（微机电系统）传感器技术。
- 2mbar以上的气体类型独立
- 大气环境下的高精确度和可重复性
- 安装方向灵活多样
- 可选择模拟输出信号
- DN10-DN40
新型 INFICON Pirani 压电组合真空计 (PPG570) 基于现有最先进的 MEMS（微机电系统）传感器技术，该技术也用于我们的 PPG550 "ATM 至中真空 "真空计。
- 2mbar以上的气体类型独立--允许任何气体混合物的安全排放
- 大气层的高精度和重现性--用于可靠、快速的大气层压力检测
- 大气层环境压力测量 多
- 达3个固态继电器
- DN10-DN40
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）的广泛测量范围。
- 测量范围从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）
- 双标准长使用寿命氧化钇铱丝
- 一体式主动测量仪，内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口
- 带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏，简化设置、操作和编程
- DN10-DN50
大性能，小尺寸
- 卓越的跨度稳定性 - 独立于气体类型
- 氧化铝传感器
- 紧凑型，同级中的最小尺寸
- 易于集成，任何安装方向
- DN10-DN50
工业应用，有温度补偿
- 从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
- 电源接通后快速稳定
- 暴露于大气压后快速恢复
- 防腐蚀陶瓷传感器
- DN16-DN50
苛刻的工艺应用，温度补偿
- 从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
- 电源接通后快速稳定
- 暴露于大气压后快速恢复
- 防腐蚀陶瓷传感器
- DN20-DN25
电流回路，温度补偿
- 全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
- 电源接通后快速稳定
- 暴露于大气压后快速恢复
- 防腐陶瓷传感器
- DN10-DN50
卓越的信号稳定性，温度可控
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- DN10-DN50
卓越的信号稳定性，温度可控
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- DN10-DN50
高温应用，温度控制
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- DN10-DN50
- DN10-DN50
高温应用，温度控制
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- DN10-DN50
EtherCAT，有温度补偿
- 易于集成，EtherCAT，各种满刻度和法兰，标配两个设定点
- 轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
- 诊断端口用于快速维修和维护
- 防腐陶瓷传感器
- DN10-DN50
占地面积小，温度可控
- 紧凑型，节省宝贵的工具空间
- 易于集成，各种满刻度、法兰，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- DN10-DN50
占地面积小，温度可控
- 紧凑型，节省宝贵的工具空间
- 易于集成，各种满刻度、法兰，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- DN10-DN50
高速，温度控制
- 高生产力 - 响应时间快于 2 ms (FS > 50 mTorr)
- 灵活集成 - EtherCAT 现场总线
- 使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
- 忘记重新校准 - 90ppm/年全方位稳定性
- DN10-DN50
高速，温度控制
- 高生产力 - 响应时间快于 2 ms
- 灵活集成 - EtherCAT 现场总线
- 使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
- 忘记重新校准 - 90ppm/年全方位稳定性
- DN10-DN50
参考，真正的高精度
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- DN10-DN50
用于OEM的微型传感器
- 微型传感器精度高
- 出色的重复性和长期稳定性
- 用于自定义集成和校准的可焊接馈入装置，或 用于集成工厂校准传感器的已焊接自定义法兰
- 传感器电子设备配备 SPI 接口，可轻松集成和安全通讯
- DN10-DN50
用于OEM的微型传感器，双传感器
- 双微型传感器测量范围宽，精度高
- 范围广，精度高
- 优异的重复性和长期稳定性
- DN10-DN50
与环境的差值 - 真空系统的安全开关
- 性能可靠且价格适中的真空开关
- 高使用寿命
- 坚固耐用的设计
- 易于集成
- DN10-DN50
带有可调节电气开关触点的绝对压力开关
- 高开关精度 (± 0.1 mbar)
- 长期稳定的操作特性
- 坚固耐用、防腐蚀的结构设计
- DN10-DN50
绝对开关 - 准确可靠的压力检测
- 耐腐蚀全不锈钢设计
- 设计稳健，符合洁净室标准
- 出厂预设或现场可调设定点，易于安装
- DN10-DN40
差动开关 - 准确可靠的压力检测
- 耐腐蚀全不锈钢设计
- 设计稳健，符合洁净室标准
- 出厂预设或现场可调设定点，易于安装r
- DN10-DN50
- DN16-DN40
过程测量、控制和记录数据的可持续解决方案
- 采用点矩阵菜单引导方式显示参数、传感器或一般设置，操作简便
- 显示屏明亮清晰，用于远距离仪表读数
- 设定点或压力相对于时间的条形图显示
- DN10-DN40
- DN10-DN50
- DN16-DN50
用于 VGC094 和 VGC083C 的冷阴极无源测量头
- 基于倒置磁控管原理的表头设计可靠且经过验证
- 大真空压力测量范围能力从 1×10-11 (MAG070) 到 5×10-3 mbar
- 可烘烤至 150 °C (MAG050) 或 250 °C (MAG060, MAG070)
- 良好的点火性能
- DN10-DN40
- DN10-DN50
- DN16-DN40
INFICON Bayard-Alpert 被动真空计头 BAG050、BAG051、BAG052 和 BAG053 设计用于 INFICON 真空计控制器 VGC083A 和 VGC083B
- 可靠且经过验证的测量仪头设计
- 可代替大多数裸热电离真空计头
- 宽范围的发射电流（100μA 至 10 mA）
- 可提供单/双氧化钇涂层铱和双钨丝阴极组件
- DN16-DN50
- DN16-DN40
- DN16-DN50
电离真空计的新标准。
- 专为在高真空和超高真空范围内要求高测量精度的应用而开发
- 电极系统配置符合 ISO/TS 6737 标准
- 相对气体灵敏度可预测，不确定性小，可测量所有气体种类的真实压力
- DN16-DN50
用于 PGE050 的单通道控制器
- 显示和控制宽泛的测量范围，从 1.3×10-4 到 1333 毫巴
- 明亮的数字 OLED 显示屏，带键盘，便于设置和操作
- 4 个用户可选模拟输出信号，2 个设定点继电器
- RS232/RS485 数字接口
- DN16-DN50
Designed for use with passive gauge heads BAG05x and PGE050.
- 使用特殊 OLED 显示屏于参数、传感器或软键的常规设置，操作简单
- LED 显示屏亮度、清晰度高，用于真空压力读数
- 三个模拟输出，用户可分配给任何测量仪
- 根据表头类型，选择德加电子轰击或 I2R 电阻加热调解仪表
- DN10-DN50
VGC094 是用于真空过程测量、控制和数据记录的著名解决方案。
- 用于真空监测和控制的完整解决方案，监测范围从 1×10-11 到 1000 毫巴，甚至是远距离监测
- 屏幕明亮清晰
- 条形图显示，带设定点或压力与时间关系视图
- 传感器操作简单，具有直观的指导菜单，可进行参数、传感器或常规设置
- DN10-DN50
多功能热阴极电离无源压力表控制器
- 支持 IE414（Bayard-Alpert）和 IE514（萃取器）热阴极电离规的操作
- 可连接和操作 PSG5xx（皮拉尼）、PCG55x（皮拉尼-电容式隔膜）和 CDG（电容式隔膜）有源真空计系列中的两个有源真空计
- 操作简单，可通过菜单引导显示进行参数、传感器或常规设置
- DN10-DN40
连接到INFICON CDG产品系列，提供一个4位数的显示器
- 4 位数字显示，便于读数
- 大型 10mm 主动式 LED 显示屏 - 可从远距离和广角范围内读取
- 内嵌式插头设计
- 15pin D-Sub，没有额外的电源连接
- DN16-DN40
- ISO-KF DN40-DN50/ISO-K DN63
- ISO-KF DN25-DN50/ISO-K DN63-DN100
- ISO-KF DN16-DN40/ISO-CF-F DN16-DN100
- ISO-KF DN16-DN40/VCR ¼ in.-¾ in.
- ISO-KF DN16-DN40/VCR ¼ in.-¾ in.
- ISO-KF DN16-DN40
- Swagelok® 6 mm-16 mm / ⅛ in.-½ in.
- DN10-DN40
- DN10-DN40
- DN10-DN40
- DN16-DN40/NPT ⅛"-1"
- DN16-DN40/NPT ⅛"-2"
- DN16-DN40
- DN16-DN40
- DN16-DN40
- DN16-DN40
- DN16-DN40
- DN16-DN40
- DN16-DN40
- DN10-DN20
- DN10-DN50
- DN63-DN630
- DN63-DN630
- DN63-DN630
- DN63-DN630
- DN63-DN630
- DN63-DN1000
- DN63-DN250
- DN63-DN100
- DN63-DN630
- DN63-DN250
- DN63-DN320
- DN63-DN250
- DN63-DN630
- DN63-DN100
- DN160-DN250
- DN63-DN320
- DN63-DN250
- DN63-DN630
- DN63-DN320
- DN63-DN320
- DN160-DN250/DN63-DN200
- DN63-DN250
- DN63-DN160
- DN63-DN250
- DN63
- DN63-DN320
- DN63-DN160
- ISO-K DN160-DN250/ISO-F DN63-DN160
- ISO-K/ISO-CF DN63-DN160
- DN63-DN160
- DN63-DN160
- DN63-DN630
- DN63-DN630
- DN100-DN160
- DN63-DN160
- DN63-DN630
- DN63-DN1000
- DN63-DN1000
- DN16-DN350
- DN16-DN160
- DN16-DN160
- DN16-DN100
- DN16-DN350
- DN16-DN250
- DN16-DN200
- DN250
- DN16-DN250
- DN16-DN250
关于我们
INFICON是一家为半导体、真空和工业市场提供先进技术和产品的领先供应商。我们的产品组合包括广泛的创新解决方案，旨在满足客户的独特需求。
我们擅长的关键领域之一是泄漏检测，我们提供各种产品，可以检测和测量各种应用中的泄漏，如制冷和空调系统、工业气体和真空系统。
此外，我们还提供气体分析仪器，可以检测和测量各种气体，如卤素、六氟化硫和制冷剂。
此外，我们还提供先进的真空技术产品，用于研究和开发、制造和分析仪器等应用。
除了我们的产品外，我们还提供全面的服务以支持我们的客户。这包括维护、修理和校准服务，以及培训和教育。我们的教育内容是为了我们的客户了解使用我们产品的最佳实践和技术，我们经验丰富的工程师团队随时可以提供专家支持和指导。