氦气泄漏检测器

UL3000 Fab Series

ULTRATEST ™ 传感器技术

专门为半导体应用中的检漏需求而设计。

它具有灵活性、移动性、快速启动、高灵敏度、快速和精确的测试结果以及可靠性。

由于更高的空气泵送速度，更快的泵降（排空）时间。
由于低维护的根部粗加工泵，总拥有成本（TCO）更低。
由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景，更早地开始检漏，使得快速达到敏感测量范围成为可能
UL3000 Fab ULTRA还通过使用成熟的吸污管线SL3000提供了改进的吸污能力，该吸污管线长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口，因此不需要连接到真空入口。

快速的结果

改进后的真空系统带有低维护的真空泵，可以从大气压开始检测泄漏。坚固的质谱仪系统确保了长时间的运行和低维护成本。

新的触摸屏显示，即使在远距离也能显示测试结果和状态信息。通过用户指导的菜单结构，即使是没有经验的操作员也能轻松操作。通过智能手机或平板电脑可以对UL3000 Fab（ULTRA）进行无线控制--无需特殊软件或Apps。通过按钮记录和存储测试结果，可以传输到其他存储介质，以便进一步分析。

低重心、大轮子、符合人体工程学设计的手柄和纤细的外壳使UL3000 Fab (ULTRA)即使在狭小的空间也有良好的移动性。

采用I-CAL软件算法，在10-9至10-12mbar-l/s范围内快速测量，节省时间
使用I-ZERO 2.0进行最有效的检漏，其改进的智能功能可在保持高测量灵敏度的同时进行快速背景抑制
适用于真空和嗅探检漏
通过快速排空和响应时间，最大限度地减少检漏工作
纤细的设计，易于操作，节省时间
坚固的离子源（3年保修）和逆流真空系统使总拥有成本（TCO）较低
逆流式真空系统
易于使用，由操作员指导的人机界面，带有全彩高分辨率可旋转显示器
UL3000 Fab ULTRA：由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景，使其有可能迅速达到敏感的测量范围，从而更早开始检漏。
UL3000 Fab ULTRA: 由于更高的空气泵送速度，更快的泵降（排空）时间
根部泵的速度更快
UL3000 Fab ULTRA: 由于根部泵的低维护率，总拥有成本（TCO）更低。粗加工泵。
UL3000 Fab ULTRA：通过使用久经考验的吸污管线SL3000，该检漏仪还提供了改进的吸污能力，其长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口，因此不需要连接到真空入口。

UL3000 Fab

UL3000 FabUL3000 Fab ULTRA

粗加工泵的最大泵送速度	m³/h	>30
氦气抽吸速度（高敏感模式ULTRA）。	L/s	4
尺寸（长x宽x高）	mm in.	1050x472x987 42x21x34
附加功能	具有最高抽气速度的罗茨干泵，HYDRO-S，用于SL3000的独立吸气管口，真空软管支架

粗加工泵的最大泵送速度	m³/h	>36
氦气抽吸速度（高敏感模式ULTRA）。	L/s	4
尺寸（长x宽x高）	mm in.	1050x472x987 42x21x34
附加功能	具有最高抽气速度的罗茨干泵，HYDRO-S，用于SL3000的独立吸气管口，真空软管支架

零件编号

附件

易耗品

550-260	UL3000 Fab ULTRA
550-200	UL3000 Fab

零件编号	描述

551-010	Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable
551-202	Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version)
525-001	SL3000-3, sniffer line 3 m length
525-002	SL3000-5, sniffer line 5 m length
525-003	SL3000-10, sniffer line 10 m length
551-203	Bracket for SL3000
551-210	SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000
551-201	Helium Bottle Holder
560-310	I/O 1000 module
560-315	BM1000 PROFIBUS module
560-316	BM1000 PROFINET IO module
560-317	BM1000 DeviceNet module
560-318	BM1000 Ethernet/IP module
560-334	Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m
560-332	Data Cable 2 m
560-335	Data Cable 5 m
560-340	Data Cable 10 m
551-005	TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-205	extension cable for TC1000/SL200, UL3000