控制器
IC6
让卓越成为可重复的事
IC6 薄膜沉积控制器将 INFICON 薄膜控制器久经考验的性能与独特的功能结合在一起，提供了非凡的价值，所有这些都是为您实现沉积过程的最大化而设计的。
IC6 采用我们的 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，其速率分辨率为每 1/10 秒 0.00433 Å/s，处于行业领先地位。没有其他石英晶体控制器具有IC6的性能、质量和功能，使您能够实现卓越的可重复性。
功能
- INFICON ModeLock技术确保了最稳定、最高分辨率的速率和厚度测量，即使在非常低的速率下也是如此。
- 在材料沉积过程中自动确定 Z 比率，从而提高厚度的准确性
- 同时对多达六个来源进行编码沉积
- 彩色TFT液晶显示器使你很容易看到你的过程发生了什么
- 100ms以上的+/-0.0035 Hz采样
- USB数据存储用于屏幕截图、配方存储和数据记录
- 强大的I/O，可灵活地集成到简单或复杂的系统中（使用可扩展的输入（28）和输出（24个继电器，14个TTL输出），并使用逻辑功能（100个逻辑语句）。
- 6个DAC输出为标准配置，另外6个可选，用于源控制、速率或厚度监控
- 最多可以容纳50个过程，每个过程200层，过程可以连接在一起，最多可容纳10,000层
- 多个传感器平均，最多可容纳8个传感器
- 4米的XIU选项为大型系统提供了使用长的真空传感器电缆的能力
- 可选的以太网通信
- 可选的IC6配置编辑软件（零件编号781-620-G1）--基于LabVIEW®的Windows®软件，允许离线创建和编辑IC6 配置文件并将IC/5配置文件转换为IC6格式。
- 符合RoHS标准
典型应用
- 高端光学镀膜
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手册
IC6 Configuration Editor Manual Version 006
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559,1 KB
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英文
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操作手册
IC6 Configuration Editor Manual
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559,1 KB
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英文
074-380-P1C CrystalTwo Switch IS
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469,4 KB
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英文
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操作手册
IC6 Thin Film Deposition Controller Operating Manual (English)
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8,3 MB
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英文
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操作手册
IC6 Thin Film Deposition Controller Operating Manual (Japanese)
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9,8 MB
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英文
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操作手册
其他
Application Note: Auto-Z: A Path to Precision Control of Layer Thinckness (English)
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154,7 KB
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英文
IC6/Cygnus 2 Datalogger (Install File)
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234,8 MB
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英文
IC6/Cygnus 2 Datalogger (Project file)
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645,2 KB
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英文
Mass Determination with Piezoelectric Quartz Crystal Resonators ( English)
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1,7 MB
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英文
Reducing Process Variation Through Multiple Point Crystal Sensor Monitoring (English)
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英文
Technical Note: The Technology of the Intelligent Oscillator for Quartz Crystal Measurement and Advantages for Thin Film Processes (English)
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71,8 KB
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英文
