控制器

IC6

让卓越成为可重复的事

IC6 薄膜沉积控制器将 INFICON 薄膜控制器久经考验的性能与独特的功能结合在一起，提供了非凡的价值，所有这些都是为您实现沉积过程的最大化而设计的。

IC6 采用我们的 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，其速率分辨率为每 1/10 秒 0.00433 Å/s，处于行业领先地位。没有其他石英晶体控制器具有IC6的性能、质量和功能，使您能够实现卓越的可重复性。

功能

INFICON ModeLock技术确保了最稳定、最高分辨率的速率和厚度测量，即使在非常低的速率下也是如此。
在材料沉积过程中自动确定 Z 比率，从而提高厚度的准确性
同时对多达六个来源进行编码沉积
彩色TFT液晶显示器使你很容易看到你的过程发生了什么
100ms以上的+/-0.0035 Hz采样
USB数据存储用于屏幕截图、配方存储和数据记录
强大的I/O，可灵活地集成到简单或复杂的系统中（使用可扩展的输入（28）和输出（24个继电器，14个TTL输出），并使用逻辑功能（100个逻辑语句）。
6个DAC输出为标准配置，另外6个可选，用于源控制、速率或厚度监控
最多可以容纳50个过程，每个过程200层，过程可以连接在一起，最多可容纳10,000层
多个传感器平均，最多可容纳8个传感器
4米的XIU选项为大型系统提供了使用长的真空传感器电缆的能力
可选的以太网通信
可选的IC6配置编辑软件（零件编号781-620-G1）--基于LabVIEW®的Windows®软件，允许离线创建和编辑IC6 配置文件并将IC/5配置文件转换为IC6格式。
符合RoHS标准

典型应用

高端光学镀膜

规格

测量性能
厚度和速率分辨率/测量 (1)	±0.00433 Å
测量频率范围	6.0 to 4.5 MHz (固定)

过程配方和数据管理
材料计划	32
过程层（每个过程）	200
过程	50（过程可以连接在一起）。

来源数量 (2)	最多为6

(1) 工具/密度=100/1，基本频率=6MHz (2) IC6有6个标准的DAC输出，另外6个可以作为选项添加。 12个中的任何一个都可以被配置为信号源控制电压或记录器输出，但是可以同时控制的信号源数量为6个。

零件编号

附件

易耗品

名称	描述
Front Load Single Sensor	Front Load Single Sensor
Front Load Dual Sensor	Front Load Dual Sensor
Cool Drawer Single Sensor	Cool Drawer Single Sensor
Cool Drawer Dual Sensor	Cool Drawer Dual Sensor
Easy Rate Single Sensor	Easy Rate Single Sensor
Easy Rate Dual Sensor	Easy Rate Dual Sensor
UHV Bakeable Sensor	UHV Bakeable Sensor
ALD Sensor	ALD Sensor
Sputtering Sensor	Sputtering Sensor
CrystalSix® Sensor	CrystalSix® Sensor
Crystal 12® Sensor	Crystal 12® Sensor
配件和替换零件
零件编号	描述
779-220-G1	CrystalTwo® Switch, 15.2 cm (6 in.) BNC Cables
779-220-G2	CrystalTwo® Switch, 50.8 cm (20 in.) BNC Cables
Oscillator kits	(Includes oscillator and cables)
781-611-G15	XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-611-G30	XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-611-G50	XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-611-G100	XIU PKG with 30.5 m (100 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G15	4m XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G30	4m XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G50	4 m XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G100	4m XIU with 30.5 m (100 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G15	4m XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G30	4m XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G50	4m XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G100	4m XIU PKG with 30.5 m (100 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
Oscillator Only	(No cables included)
781-600-G1	XIU (oscillator) - For XIU to sensor head cable lengths of 15 to 183 cm (6 to 72 in.) - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-600-G2	XIU (oscillator) - for XIU to sensor head cable lengths of 3 to 4 m (118 to 157 in.) - For use with Cygnus 2 or IC6
Cables
600-1261-P100	30.5 (100 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P15	4.6 m (15 ft.) cable, Cgynus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P30	9.1 m (30 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P50	15.2 m (50 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
755-257-G6	15.2 cm (6 in.) BNC cable, XIU to vacuum feedthrough
Configuration Editor Software
781-620-G1	IC6 Configuration Editor Software - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.