过程控制
FabGuard® FDC
现在是进行更智能制造的时候了
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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FabGuard® 是一个广泛的工程工具包，它使用来自过程设备、高级传感器、物联网设备、量具和子设备/设施组件的实时数据，提供业内最全面的故障检测系统。
实时过程监控
INFICON 的 FabGuard FDC 系统具有无与伦比的连接、收集数据并将其转化为有意义信息的能力。工程师可利用这些信息深入了解工具能力和流程优化。除了与成熟的 FDC 技术一起工作外，SmartFDC® 强大的无监督机器学习功能使 FabGuard 能够在发生变化时自动检测。
优势
- 流程设备与传感器数据的无缝集成
- 边缘计算
- 内部或基于云
- 实时和逐次运行分析
- 与传感器、仪表、物联网/IIoT、过程工具的世界级连接
- 自动机器学习
智能过程监控
FabGuard 是一款智能过程监控系统，工程师可利用该系统从各种传感器、量具、设施和其他设备中收集数据，从而开发出业内最全面的过程工具视图。
在正确的时间收集正确的数据对于建立全面的故障检测和实现过程特征描述至关重要。FabGuard 的动态数据收集功能还能最大限度地利用工具的带宽，增加收集数据的广度。
数据收集可根据过程、传感器、支持组件和工具的需要进行实时调整。
将工艺经验带入工厂
INFICON 现场服务和软件开发团队由经验丰富的过程和设备工程师组成，致力于解决实际工厂问题。
INFICON 的专业技术涵盖所有晶圆直径、平板尺寸、设备几何形状、基板类型、无自动化工厂到全自动工厂。
