监测
SemiQCM™ CR 用于半导体工艺监测的传感器
让卓越成为可重复的事
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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用精确的速率和厚度监测来保护和增加您的利润
SemiQCM™ CR 传感器是一种化学惰性传感器，可安装在一些最严酷的 CVD 或 ALD 室中。SemiQCM CR 是监测系统的一个组成部分，其他组成部分是IMM-200 和 FabGuard (19.12.00-a版本或更高）。
过程监测可用于半导体应用中，通过监测或腔室排气中的数量，进行终点检测和故障排除。使用 QCM 可提供经济实惠的过程监测，并提高半导体过程的盈利能力。
只要有一块晶圆，就可以检测到晶圆无法输送的故障。
功能
- 以 10Hz 的速度监测 QCM 数据
- FabGuard 将 QCM 数据与工具状态和过程步骤联系起来
- 精确测量沉积或蚀刻率
- 用于单层厚度测量的敏感度和精度
优势
- 实时的、现场的过程监测
- 防止过度蚀刻，确定炉室清洁终点
- 识别设备或工艺状态故障
典型应用
- 中兴通讯
规格
| 最高温度 | 200°C |
| 传感器头尺寸（最大封套） | 15 mm O.D. x 39.2 mm (0.59 in. O.D. x 1.54 in.) |
| 材料 | |
| SemiQCM CR Body and Holder | 6061 Aluminum |
| SemiQCM CR Springs | Beryllium Nickel |
| SemiQCM CR Nut and Conductor Tube | Inconel 625 |
| SemiQCM CR Other Mechanical Parts | Nickel 200, Aluminum, or Inconel 625 |
| Insulators | >99% Al2O3 in vacuum: Teflon® used elsewhere |
| Wire | 1. Ni (in vacuum) 2. Ni plated Cu (elsewhere) |
消耗品
| 零件编号 | 描述 |
| 750-7053-G1S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Alloy Crystal Installed |
| 750-7053-G2S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Alumina Crystal Installed |
| 750-7053-G3S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Yttria Crystal Installed |
| 750-7055-G1S | Crystal Holder, Finger Spring, and Retainer Spring Spare Assembly |
| 750-1089-G10 | SENSOR CRYSALS, 6 MHZ, ALLOY, 8 mm, 10 crystals |
| 750-1127-G5 | SENSOR CRYSTALS, 6 MHz, ALUMINA, 8 mm, 5 crystals |
| 750-1128-G5 | SENSOR CRYSALS, 6 MHZ, YTTRIA, 8 mm, 5 crystals |
零部件
| 零件编号 | 描述 |
| 750-7055-G1S | Crystal Holder, Finger Spring, and Retainer Spring Spare Assembly |
该产品被用于以下市场
