传感器和馈入件
SemiQCM® CR 用于半导体工艺监测的传感器
让卓越成为可重复的事
用精确的速率和厚度监测来保护和增加您的利润
SemiQCM CR 传感器是一种化学惰性传感器，可安装在一些最严酷的 CVD 或 ALD 室中。SemiQCM CR 是监测系统的一个组成部分，其他组成部分是IMM-200 和 FabGuard (19.12.00-a版本或更高）。
过程监测可用于半导体应用中，通过监测或腔室排气中的数量，进行终点检测和故障排除。使用 QCM 可提供经济实惠的过程监测，并提高半导体过程的盈利能力。
只要有一块晶圆，就可以检测到晶圆无法输送的故障。
功能
- 以 10 Hz 的速度监测 QCM 数据
- FabGuard 将 QCM 数据与工具状态和过程步骤联系起来
- 精确测量沉积或蚀刻率
- 用于单层厚度测量的敏感度和精度
优势
- 实时的、现场的过程监测
- 防止过度蚀刻，确定炉室清洁终点
- 识别设备或工艺状态故障
典型应用
- 半导体制造
规格
| 最高温度 | 200°C |
| 传感器头尺寸（最大包络面） | 23.9 毫米外径 x 29.2 毫米（0.94 英寸外径 x 1.15 英寸） |
| 传感器长度（真空中） | 50–150 毫米（1.97–5.91 英寸） |
| 安装馈入件 | ISO KF/CF 法兰 |
| 材料 | |
| 本体和支架 | 铝 |
| 弹簧 | 铍镍合金 |
| 同轴线缆 | 6.4 毫米（0.250 英寸）外径，镍 625 |
| 其他机械部件 | 镍 200，铝，或镍 C276 |
| 绝缘体 | 真空中 >96% Al₂O₃；其他位置使用特氟龙® |
| 线材 | 真空中为镍，其他位置为镍镀铜 |
| 钎焊 | 真空工艺高温镍铬合金 |
| 晶体 | 直径 14.0 毫米（0.551 英寸） |
消耗品
| 零件编号 | 描述 |
| 750-1090-G10 | SC切割传感器晶体，合金材质，10个装 |
| 750-1137-G5 | SC切割传感器晶体，氧化钇材质，5个装 |
| 750-1138-G5 | SC切割传感器晶体，氧化铝材质，5个装 |
零部件
| 零件编号 | 描述 |
| 750-7046-G1S | 14毫米 CR 晶体固定组件备件 |
| 750-7074-G1S | 14毫米 CR 锁定晶体夹持器备件 |
| 750-7075-G1S | 14毫米 CR 锁定传感器主体组件备件 |
| 750-7085-G1S | 14毫米 CR 晶体夹持组件备件（氧化钇） |
| 750-7085-G2S | 14毫米 CR 晶体夹持组件备件（氧化铝） |
| 750-7085-G3S | 14毫米 CR 晶体夹持组件备件（合金） |
该产品被用于以下市场
