控制器

IQM-233

在PCI Express卡上实现低成本沉积控制

IQM-233

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
Your configuration has been successfully sent!

在 PCI EXPRESS 卡上实现低成本沉积控制

IQM-233 PCI Express 卡可使您的 PC 变成薄膜沉积控制器。这种由 INFICON 设计和制造的产品是系统 OEM 或要将薄膜沉积控制器集成到现有 PC 或 PLC 控制系统的所有组织的理想选择。安装简便—只需您提供一个未占用的 PCI Express 插槽。IQM-233 可安装到标准或小型 PC 塔中。

无与伦比的功能
IQM-233 可在每个卡上提供三个 QCM 传感器输入和三个源输出。单台 PC 上最多可安装两个 IQM-233 卡(需要可选 IQS-233 软件),其最多可提供六个传感器输入和六个源输出。只有 INFICON 才能在完全集成的 PC 控制 QCM 控制器中提供这种灵活性。

IQM-233 可与 INFICON 振荡器 IPN 782-900-010 兼容,因此更换 SQM-242 卡不需要安装新振荡器。它还与所有 INFICON 单传感器头和双传感器头兼容。

选择最适合您的软件解决方案
IQM-233 随附基本 Windows® 软件,用于通过单 IQM-233 卡设置或控制连续沉积或共沉积过程。通过可选 IQS-233 共沉积 Windows® 软件可进行更加复杂的过程设置,包括多层共沉积、绘图以及与事件可选继电器/输入功能进行 PLC 集成。IQS-233 软件最多允许使用两个 IQM-233 卡。

作为希望编写自有软件的客户的备选方案,IQM-233 所包含的 LabVIEW™ 采样程序可提供基本功能并演示编程技术。

功能

  • PCI Express
  • 三个传感器输入,三个控制输出
  • 在 PC 中安装多个卡
  • 多源共沉积
  • 易于进行 PLC 集成以增加 I/O 功能
  • 使用方便
  • 物有所值

规格

PC 接口PCIe x1 - PCE Express Slot
(Std or SFF)
探头输入3
测量频率范围Adjustable:
4.0 MHz minimum
6.1 MHz maximum
厚度和速率分辨率/测量 (1)±0.12 Å
源输出3
  
(1) 工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6 赫兹,0.25 秒测量间隔

零件编号

Part NumberDescription
782-IQM-233-G1IQM-233 QCM controller card for standard PCI Express slot
782-IQM-233-G2IQM-233 QCM controller card for Small Form Factor (SFF) PCI Express slot
782-IQS-233IQS-233 Codeposition software
附件
配件和备件
易耗品
名称描述
Front Load Single SensorFront Load Single Sensor
Front Load Dual SensorFront Load Dual Sensor
Cool Drawer Single SensorCool Drawer Single Sensor
Cool Drawer Dual SensorCool Drawer Dual Sensor
Low Profile Single SensorLow Profile Single Sensor
Easy Rate Dual SensorEasy Rate Dual Sensor
Low Profile Dual SensorLow Profile Dual Sensor
UHV Bakeable SensorUHV Bakeable Sensor
Sputtering SensorSputtering Sensor
Easy Rate Single SensorEasy Rate Single Sensor
零件编号描述
783-500-109-103 m (10 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 3 m (10 ft.) BNC cable
783-500-109-257.6 m (25 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 7.6 m (25 ft.) BNC cable
783-500-109-5015.2 m (50 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 15.2 m (50 ft.) BNC cable
783-500-109-7522.8 m (75 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 22.8 m (75 ft.) BNC cable
Oscillator Only(No cables included)
783-500-013-G1OSC-100 oscillator only (no cables)
Cables 
600-1441-P1SMA to BNC adapter for IQM-233 sensor inputs
782-902-01115.2 cm (6 in.) BNC cable, male/female
782-902-012-103 m (10 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-257.6 m (25 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-5015.2 m (50 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-7522.8 m (75 ft.) BNC cable, male/male
名称描述
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals
我们需要您的视频内容同意
更多信息