传感器和馈入件

SemiQCM® SR 用于半导体工艺监测的传感器

让卓越成为可重复的事

利用精确的速率和厚度监测来保护和增加您的利润

SemiQCM SR传感器是监测系统的一个组成部分，其他组成部分是IMM-200和FabGuard（版本19.12.00-a或更高)。

过程监测可用于半导体应用，通过监测前线或腔室排气中的前体数量，进行终点检测和故障排除。使用原位 QCM 可提供经济实惠的过程监测，并提高半导体过程的盈利能力。

只要有一块晶圆，就可以检测到前驱体无法输送到晶圆的故障。

功能

最高温度	200°C

传感器头尺寸（最大包络面）	23.9 mm O.D. x 29.2 mm (0.94 in. O.D. x 1.15 in.)

传感器长度（真空中）	50–150 mm (1.97–5.91 in.)

安装馈入件	ISO KF/CF 法兰

材料
本体和支架	304 不锈钢
弹簧	镀金铍铜（Au-Plated BeCu）
同轴线缆	4.8 毫米（0.188 英寸）外径不锈钢
其他机械部件	18-8 或 304 不锈钢、镍 C276
绝缘体	真空部分为 >96% 氧化铝（Al₂O₃）；其他部分使用特氟龙®（Teflon®）
导线	真空中为镍（Ni），其他部分为镀镍铜（Ni 镀 Cu）
焊料	适用于真空的高温镍铬合金
晶体	直径 14.0 毫米（0.551 英寸）

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