传感器和馈入件
使用 INFICON 的薄膜传感器和馈入件，可对显示器、太阳能、光学、半导体、航空航天和工业应用中的薄膜沉积过程进行精确、可靠的测量和控制。这些产品专为高精度和耐用性而设计，可提高过程效率和薄膜质量。
重新设置过滤器以获得结果。
经济型单传感器可使产出达到最高，同时最大限度地降低成本
- 最低的投资，最低的前期成本
- 延长传感器寿命，降低总拥有成本
- 以较少的维护实现最大的产量
- 安装简便
INFICON 前装式单晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。
- 前装式晶体支架
- 易于安装
- 随附 2.54 cm (1 in.) 螺栓馈入装置 / CF40 馈入装置
- 在配有压缩接头时可调长度
INFICON 前装式双晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。
- 双晶体
- 晶体闸
- 前装式晶体支架
- 易于安装
炫酷抽屉单传感器允许晶体从侧面安装到传感器中，为没有足够的空间从前面安装晶体的系统提供了便利。
- 无内部电缆
- 炫酷抽屉晶体支架
- 易于安装
- 在配有焊接式 CF40 法兰时可烘烤
炫酷抽屉双传感器设计用于在真空室中需要第二晶体的关键过程。
- 双晶体
- 炫酷抽屉晶体支架
- 无内部电缆
- 晶体闸
经济型双传感器为一个晶体可能不够的 QCM 应用提供简单并且廉价的解决方案。
- 双晶体
- 物有所值
- 薄型设计
- 包括晶体闸
INFICON UHV 可烘烤晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。
- 高温铜焊和焊接结构
- 烘烤温度高达 450℃
- 晶体闸（选件）
- 前装式晶体支架
INFICON ALD 传感器将石英晶体微天平（QCM）测量的可重复性、精确性和耐用性带入原子层沉积 (ALD)。
- 工作温度高达 450°C
- 气体吹扫管路可防止晶体背面出现沉积材料
- 焊接式 Conflat 法兰 (CF40) 选件
- O 形密封环压缩接头选件
NFICON CrystalSix 晶体对于要求连续监控速率的长时间过程非常重要。
- 装有 6 颗晶体，可进行可靠的自动转换，从而最大限度延长过程运行时间
- 晶体转换由空气驱动完成（竞争产品是使用生热电机），因而晶体温度非常稳定
- 1/8" 管保持热稳定性，并提供传感器放置的灵活性
- 提供可选晶体闸
在要求苛刻的应用中表现卓越的晶体性能
- 六颗晶体
- 位置反馈（视控制器而定）
- 可调长度（带可选法兰）
- 坚固耐用的设计
SemiQCM® SR 传感器是前驱体监控系统的一个组件，其他组件包括 IMM-200 和 FabGuard（版本 19.12.00-a 或更高。
- 实时的、现场的过程监测
- 防止过度蚀刻，确定炉室清洁终点
- 识别设备或工艺状态故障
实时、现场工艺监控，防止过度蚀刻，确定腔室清洁终点
- 实时的、现场的过程监测
- 防止过度蚀刻, 确定炉室清洁终点
- 识别设备或工艺状态故障
INFICON Crystal 12 传感器与INFICON IC6 薄膜沉积控制器结合使用时，可自动更换其晶体，而无需中断过程。
- 装有 12 颗晶体，可进行可靠的自动转换，从而最大限度延长过程运行时间
- 易于拆卸的旋转传送带允许快速更换所有 12 颗晶体
- 晶体转换由空气驱动完成（竞争产品是使用生热电机），因而晶体温度非常稳定
- 易于拆卸的前沉积罩保护晶体和旋转传送带上不会积存材料，从而最大限度减少拆卸整个传感器以进行维护的必要性
INFICON 提供各种石英晶体监测仪 (QCM) 传感器馈入件，以适应多种 QCM 传感器和腔室配置。CF40 (2.75 in. ConFlat®) 和 2.54 cm (1 in.) 螺栓式馈入件提供电气连接、水冷却和空气管的各种组合。
- 提供 2.54 厘米（1 英寸）螺栓或 CF40（2.75 英寸 ConFlat®）款式
- 可用的 Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头
- 提供自定义馈入件配置
- 根据要求可提供其他馈入件款式
INFICON 提供各种石英晶体监测仪 (QCM) 传感器馈入件，以适应经济型传感器。
- 可提供2.54厘米（1英寸）的螺栓或CF40（2.75英寸ConFlat®）样式
- 可提供穿孔管接头