沉积控制器

SQC-310

高精度顺序或共沉积控制

SQC-310

INFICON SQC-310 系列拥有先进的电子元件、改进的显示屏和非常实惠的价格,为您提供竞争对手薄膜控制器所不具备的功能。您可以选择适合您应用的理想型号:顺序沉积 (SQC-310) 或共沉积 (SQC-310C)。

功能

  • 明亮的彩色液晶显示屏 - 提供英文或中文显示
  • 标准RS-232和USB接口(可选RS-232和以太网接口)
  • 通过 "快速设置 "菜单、6个上下文敏感按钮和方便的参数设置旋钮,实现简单的设置和操作
  • Windows®程序,用于开发、测试和下载过程,并将仪表数据记录到PC上,用于过程分析和质量控制
  • 精确的过程控制,尤其适用于低沉积速率,分辨率为±0.03 Hz,读数为10个/秒
  • 可存储多达100个过程、1,000层、50层薄膜的数据
  • 使用单个传感器或多个传感器监测源材料,以提供精确的源分布监测
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