IRG080
电离真空计的新标准。
嵌入式选项
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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离子基准真空计 IRG080 是专为在真空系统中精确测量总压而开发的首款真空传感器。IRG080 基于创新的电离真空计概念（热阴极发射电子以直线路径进入法拉第杯），适用于 10-8 mbar 至 10-4 mbar 范围内的参考标准。
IRG080 具有无与伦比的精度（低至 1%）、可预测的气体灵敏度（极小的差值）、极好的短期重复性和再现性。该仪器是计量和校准的理想解决方案。IRG080 由 IRC081 显示和操作单元连接和控制。
优势
- 专为在高真空和超高真空范围内要求高测量精度的应用而开发
- 电极系统配置符合 ISO TS 6737 标准
- 相对气体灵敏度可预测，不确定性小，可测量所有气体种类的真实压力
- 电子发射稳定，不受 ESD 或 X 射线效应的影响
- 可重复，易于运输
- 烘烤温度可达 165 °C（带耐温电缆），不带连接器单元时烘烤温度可达 400 °C
- 可提供用于磁屏蔽的 Mu 金属中间件
运营单元
- 离子参考计控制器 IRC081
参考标准
- 氮气精度低于 1
- 可预测的气体灵敏度，误差极小（<1.5）
- 真正的总压测量
- 极佳的短期重复性（<1%）和再现性（<1）
测量原理
电子离开阴极（左侧），被阳极加速到 200 eV，然后被离子收集器聚焦。电子路径的长度具有良好的特性，因此仪器的灵敏度是可以预测的。电子在阳极栅内产生的离子被加速到收集器，并以电流形式测量。阳极栅外产生的离子会被偏转器捕获。
一个完整的套餐
- 通过离子参考规控制器 IRC081 的操作和显示界面
- 用户可控制 IRG080 仪器参数
- 在 IRC081 用户界面软件 (LabVIEWTM) 中显示设置和测量值
- 数据和参数记录功能
规格
| 测量系统 | 热阴极电离 |
| 电极系统配置 | 根据 ISO TS 6737 |
| 使用 IRC081 控制器的测量范围（N2） | |
| 灵敏度（N2，典型值） | 29 毫巴-1 |
| 精度（N2，典型值） | 读数的 <±1% |
| 重复性（N2） | 读数的 <1% |
| 馈通 | 氧化铝陶瓷 |
| 烘烤温度 | ≤400 °C |
| 暴露在真空中的材料 | 不锈钢, NiFeCo, Al2O3, Ta, W |
部件编号
部件编号
配件
| IRG080 | |
| 399-874 | IRG080 DN 63 CF-R，BNC 和多芯连接器 |
| 399-875 | IRG080 DN 63 CF-F，BNC 和多芯连接器，金属中间件 |
| 符合 IRC081 标准的耐热测座电缆，带接触保护装置 至 IRG080 165 °C | |
| 399-883 | 5 m (16.4 ft) |
| 399-884 | 10 m (32 ft) |
| 399-885 | 15 m (49.5 ft) |
| 399-890 | 替换阴极 |
| 399-891 | 金属中间件，DN 63 CF-F |
| 399-892 | 中间件保护网 |
