皮拉尼真空计

PPG570

大气压至中压真空计+大气压开关

嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

新型 INFICON Pirani 压电组合真空计 (PPG570) 基于现有最先进的 MEMS（微机电系统）传感器技术，该技术也用于我们的 PPG550 "ATM 至中真空 "真空计。

PPG570与PPG550的不同之处在于，它额外安装了ATM传感器，使PPG570可以用于传统的负载锁定应用。例如，在半导体行业或任何其他真空应用中，相对于大气环境压力的精确压力测量非常重要。

在MEMS工艺中微型化的Pirani/Piezo组合技术能够建造一个非常小的传感器，从而节省空间，这使得测量设备的整体高度非常小成为可能。

除了高度低的优势外，基于MEMS技术的皮拉尼还具有在高压范围内比传统皮拉尼测量更深、更准确的优势。与安装在同一法兰上的MEMS压电传感器相结合，皮拉尼真空计成为一个真正的宽范围真空计，其测量范围远远超过通常的1000mbar，也可延伸到大气层。同时，MEMS压电传感器提供独立于气体类型的压力测量，范围为2 ...1333毫巴。上述技术的另一个优点是增加了对加速力和振动的抵抗力。

最后但并非最不重要的是，新的INFICON PPG570可以用来直接取代所谓的MKS Instruments MKS901P "MicroPirani® 和压电负载锁真空压力传感器"。PPG570提供相同的连接器/引脚分配、模拟输出和RS232/485数字通信协议兼容性。

VacXplor® Software

VacXplor 是我们的模块化用户软件，旨在增强您使用 INFICON 真空计的体验。VacXplor 提供统一的界面、动态数据可视化和高级定制选项，安装时无需管理员权限。

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优势

2mbar以上的气体类型独立--允许任何气体混合物的安全排放
大气层的高精度和重现性--用于可靠、快速的大气层压力检测
大气层环境压力测量多
达3个固态继电器
安装方向的多样性--为工具设计提供工程自由度
可选择的模拟输出信号，便于系统集成
数字接口RS232/RS485
能够直接滴入替代MKS901P "MicroPirani®-和压电式负载锁真空压力传感器"。
合规性和标准。CE, EN, CSA, RoHS

典型应用

半导体负载锁应用
在分析设备/质量分光计
中使用
物理气相沉积

规格

测量范围（N2）	毫巴	1x10^-6 … 1333

Accuracy

1100 ... 1333 毫巴	阅读百分比	0.5
800 ... 1099 毫巴	阅读百分比	0.25
100 ... 800 毫巴	阅读百分比	0.5
2 ... 99.9 毫巴	阅读百分比	1
1 x 10-4 ... 1.99 毫巴	阅读百分比	5
1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 毫巴	阅读百分比	25

温度补偿	°C	+10 … +50

温度测量绝对精度	°C	+1.5 (0 … +80)

测量仪上的电源电压	伏（直流）	+12 ... +30 最大纹波。1 V_pp