热电离真空计
PBR 260
大气压到超高真空热阴极真空计
嵌入式选项
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON PBR 260是一种组合式真空计，在一个紧凑单元中可作为的两种真空计用。其主要测量原理是根据Bayard-Alpert热阴极规的测量原理，同时也被皮拉尼热导测量原理支持。PBR 260 皮拉尼/贝阿德-阿尔珀特热阴极组合真空计的测量范围从UHV范围（5×10-10）mbar到大气范围（1000mbar）。
PBR 260的主要优点之一是与其他制造商的PBR 260真空计的兼容性非常强，这要归功于结合技术，使用相同的模拟输出信号和电气接口。这导致了更简单的安装、设置和过程整合。
PBR 260 皮拉尼/贝阿德-阿尔珀特热阴极组合真空计为市场上实惠和可靠的基础压力的测量提供最经济的解决方案。
优势
- PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert热阴极组合真空计仅用一个紧凑的测量设备就能提供低真空到超高真空范围内的一般真空测量和控制。
- 法兰盘尺寸： DN 25 iso-KF, DN 40 cf-r, DN 40 iso-KF
- 最大压力适用于惰性气体和低于55℃的温度
- 高度准确，在10-8 ... 10-2 mbar的过程范围内具有良好的重复性
- Bayard-Alpert传感器的开/关由Pirani传感器自动控制
- 长寿命的氧化钇涂层铱灯丝
- 符合RoHS标准
PBR 260 与其他制造商的Pirani/Bayard-Alpert热阴极测量仪兼容。
- 产品编号IGG27000与PT R27 000相匹配
- 编号IGG27001与PT R27 001匹配
- 编号IGG27002与PT R27 002匹配
典型应用
- 半导体和分析工艺环境中的一般压力测量
- 光学和其他工业镀膜工艺
规格
| 测量范围最大。 最小测量范围 | mbar mbar | 1000 5·10-10 |
| 烘烤温度 | °C | 150 (已移除电子单元部分) |
| 准确度：10-8至10-2毫巴 | %读数 | 15 |
| 重复性：10-8至10-2毫巴 | %读数 | 5 |
| 纤丝 (阴极) | 氧化钇涂层的铱合金 | |
| 暴露在真空中的材料 | Cu,W, Glass, NiFe, Mo, St.钢, NiCr | |
| 压力最大。 | bar | 2 |
零件编号
备件
| 零件编号 | 描述 |
| IGG27000 | PBR 260 DN 25 ISO-KF |
| IGG27001 | PBR 260 DN 40 ISO-KF |
| IGG27002 | PBR 260 DN 40 CF-R |
| 零件编号 | 描述 |
| IN846517-T | Spare sensor head PBR 260, DN 25 ISO-KF |
| IN846518-T | Spare sensor head PBR 260, DN 40 ISO-KF |
| IN846519-T | Spare sensor head PBR 260, DN 40 CF-R |
