质谱仪

Transpector® MPS

为一般真空应用带来卓越性能和非凡价值

Transpector-MPS

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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随着制造技术的进步和质量标准的变更,了解相关过程和保持产品质量比以往任何时候都显得更为重要。Transpector MPS 能够通过过程条件监控、污染检测和泄露检查,帮助您优化过程。Transpector MPS 为客户提供了 Transpector 品牌可靠的、价值非凡的 RGA 性能。

Transpector MPS 提供 100 amu 和 200 amu 型号,使您能够灵活地执行一般泄露检测、真空诊断和碳氢化合物分析等各种功能。此多功能性使 Transpector MPS 成为真空炉、热处理和真空涂层应用的理想选择。

功能

  • 双丝极
  • 可现场更换电子倍增器
  • 现场可更换的阳极、阴极和反射极丝组件
  • 可调换传感器和电子元件
  • TCP/IP 以太网连接
  • 较短的传感器可降低安装占地面积
  • 九个数量级的动态量程
  • 最大模拟扫描和选定峰值的数据速率为每点 3 ms
  • <1.5E-14 Torr 的 MDPP
  • 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
  • 符合 RoHS 标准

技术规格

MPS100M
MPS100F
MPS200M
MPS200F
质量范围100 amu
最小可检测分压 1.5E-14 Torr
灵敏度 (FC)3E-4 amps/Torr
灵敏度 (EM)500 amps/Torr
最大工作压力5E-4 Torr
质量范围100 amu
最小可检测分压 2.6E-12 Torr
灵敏度 (FC)3E-4 amps/Torr
灵敏度 (EM)NA
最大工作压力5E-4 Torr
质量范围200 amu
最小可检测分压 1.5E-14 Torr
灵敏度 (FC)3E-4 amps/Torr
灵敏度 (EM)500 amps/Torr
最大工作压力5E-4 Torr
质量范围200 amu
最小可检测分压 2.6E-12 Torr
灵敏度 (FC)3E-4 amps/Torr
灵敏度 (EM)NA
最大工作压力5E-4 Torr
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附件

961-021-G1Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug
961-021-G2Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G3Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G4Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug
961-021-G5Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G6Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
600-1190-P8Ethernet 7m cable
600-1190-P15Ethernet 15m cable
600-1428-P1Power Supply Extension Cable- 15 ft (4.5m)
600-1429-P1Power Supply Extension Cable - 30 ft (9m)
961-417-G1Ethernet Router 4 port with Push Button Wi-Fi
961-418-G1Ethernet Switch 8 port
914-024-G1Angle Valve Kit, Manual (includes heater)
961-029-G1MPH Heater Kit 120 VAC
961-029-G2MPH Heater Kit 230 VAC
通用配件
易耗品
961-416-P1Spare MPH Heating Jacket
914-407-P1Spare Valve Heating Jacket (required heater power cable if stand alone)
600-1117-P1Spare Heater Power Cable 120 VAC
600-1117-P2Spare Heater Power Cable 230 VAC
914-410-P1Spare Angle Valve, Manual
961-022-G1

Spare O-Ring and Nut Kit

 

961-700-G1Coated Iridium Filament Kit
961-701-G1Coated Iridium Filament Ion Source
961-2428-G2Electron Multiplier Replacement Kit

备件

MPS100M
MPS100F
MPS200M
MPS200F
961-S1MASMPS100 EM Sensor with Y2O3/Ir Filaments
MP-S10SMPS100 Electronics Box w/ Ethernet Comm
961-S1FASMPS100 FC Sensor with Y2O3/Ir Filaments
MP-S10SMPS100 Electronics Box w/ Ethernet Comm
961-S2MASMPS200 EM Sensor with Y2O3/Ir Filaments
MP-S20SMPS200 Electronics Box w/ Ethernet Comm
961-S2FASMPS200 FC Sensor with Y2O3/Ir Filaments
MP-S20SMPS200 Electronics Box w/ Ethernet Comm
该产品被用于以下市场
Analytical-Instrumentation-Navi
分析仪器

分析仪器市场为广大用户提供高度复杂的分析工具,涵盖不同应用场景和市场。INFICON与那些拥有最先进技术的制造商合作,帮助分析和识别最小的结构或元素组成,无论是气体、液体还是固体均在其适用范围内。

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Battery-Market-Navi
电池

从电极生产到生产线终端EOL终端的测试

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Display-Navi
显示器

INFICON汇聚尖端科技,实现最高质量的显示器产品

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energy-market-navi
能源

传统的石油和天然气生产在过去几十年中出现了需求的增长,并被发展中国家的人口增长、城市化和中产阶级的消费所推动。

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
工业制造

其中,真空技术大多用于保证清洁的环境,并且在某些过程中需要维持真空以确保过程顺利实施。

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Mobility_and_Automotive-Navi
移动和汽车

在一个不断发展的行业中进行可靠的泄漏测试 。 汽车行业的变化使泄漏检测变得更加重要。

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Pharma_and_Medical-Navi
医药和医疗

提高生产力,帮助满足制药业的合规标准和质量要求 

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Research-and-Academia-Navi
研究与学术

通过基础研究揭开宇宙最深层的神秘面纱。今天的创新为您明天的技术研发提供动力

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Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半导体IDM和晶圆代工厂

为支持广泛的应用而定制的传感器,确保产品安全、提高产量和最高生产力。

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Vacuum_Coating-Navi
真空镀膜

真空镀膜市场远远超出了光学领域,正在迅速扩展到十年前几乎无法想象的领域、行业和薄膜层。

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