工厂运营优化
Metrology Sampling Optimizer
支持自动驾驶 "零缺陷 "挑战 - 全球首个智能综合采样管理系统
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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关键时刻的测量
在没有全面计量取样的典型工厂中，不可能知道工厂的测量取样是过多还是过少。过度采样会浪费生产时间，而采样不足则会增加废品风险。
计量取样优化器 (MSO) 使用实时数据和工厂条件来确定测量内容，以最大限度地降低废品风险并优化测量能力。MSO 已证明可将风险批次减少 30%。
MSO 利用用户定义的规则，结合实际限制和实时信息，决定何时以及测量哪些产品。取样计划实时更新，以管理整个工厂的取样工作，确保在工厂的动态条件下获得持续相关的结果。
自定义采样，提高覆盖率
传统的取样系统是有限的；它们孤立地应用规则，无法适应重要的工具事件和不断变化的工厂条件。这导致对某些产品取样过多，而对其他产品取样不足，从而增加了周期时间和产品风险。
MSO 通过评估所有相关规则，在规则触发取样时将取样减至最少。即使尚未到期，也会重置通过对同一材料取样而清除的所有相关规则。
举例说明：
如果对同一产品测量应用了两个取样规则，一个是照片规则，另一个是蚀刻规则，当蚀刻规则到期时，计量取样优化器也会考虑满足同一批次运行的特定扫描仪的照片规则，前提是它满足所有适当的规则标准，反之亦然。采样计划得到满足，并且在记录每项新测量时都会实时更新指标。
了解决策
Metrology Sampling Optimizer 仪表盘显示计量覆盖范围的实时状态。
简单易懂的仪表盘可帮助工程师确定计量和缺陷扫描覆盖范围、检测到偏移的平均时间以及存在风险的批次或基板数量。MSO 控制面板通过提供覆盖范围、当前取样状态和实时监控的可视性，帮助工程师集中工厂取样工作。通过 MSO 控制面板，可以立即采取行动管理取样和偏移管理。
