质谱仪

QMG 700

以卓越的稳定性和精细的分辨率超越检测极限

半导体制造技术中的快速进步依赖敏捷而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中，选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测障碍并促使您的过程进入更高层次的创新。QMG 700 的模块化设计带来无与伦比的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势，获得出众的测量能力。

从多样化的离子源、滤质器和射频电源选项中选择适当的方案，以根据具体的应用量身定制 QMG 700。QMG 700 对超过九个数量级的动态量程和 ppb 检测限制引以为豪，这种特性使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 可提供涵盖整个质量范围的单位分辨率，对于较低的质量甚至可获得更高的分辨率。该仪器是最具挑战性的测量应用的极好选择，包括同位素分析，例如氦和氘分离。通过 QMG 700 控制您的过程，并依靠其出色的长期稳定性来保护关键测量。

INFICON 在分析质谱仪领域拥有四十多年卓越的历史，可确保 QMG 700 成为下一代气体分析投资的正确选择。为了获得一致的精度和精确的结果，您可信赖 INFICON QMG 700 以及我们享誉世界的应用专长。

功能

质量范围选择从1-512 amu
超过9个量级的动态范围
极快的测量速度：0.125 ms/amu
MDPP < 10E-16 mbar
整个质量范围内分辨率高。质量1、2和3在ppb范围内可清晰分离
多种不同的离子源选择
分立或连续动态电子倍增器选项
IO选项：8个模拟输入/输出和32个数字输入/输出
功能强大的软件，界面灵活，用户友好

典型应用

气体排放质谱仪
终点检测
沉积材料监控
二次离子质谱仪

技术规格

QMA 400

QMA 410

QMA 430

质量范围	1-512 amu (1)

传感器长度	441.5 mm

杆直径	8 mm

杆材料	钼

法兰	DN 63 CF-F

检测器类型	法拉第/SEV 217

最大工作压力 (FC)	1 E-4 mbar

最大工作压力 (EM)	1 E-5 mbar

灵敏度	5 E-4 A/mbar

最小可检测分压	1 E-15 mbar

分辨率（可调）	0.3 - 7 amu

分压比	< 0.5 ppb

最高工作温度传感器	150 °C

最高烘烤温度	400 °C

最高工作温度电子元件	40 °C

测量速度	0.125 ms - 60 s/amu

电源	100 - 240 VAC
(1) QMA 400 可用于质量范围：1-512 amu。 QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置。
(2) QMA 410 可用于质量范围：1-128 amu。 QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置。

质量范围	1-340 amu (2)

传感器长度	548 mm

杆直径	16 mm

杆材料	钼

法兰	DN 100 CF-F

检测器类型	法拉第/SEV 217

最大工作压力 (FC)	1 E-4 mbar

最大工作压力 (EM)	1 E-5 mbar

灵敏度	1 E -3 A/mbar

最小可检测分压	5 E-16 mbar

分辨率（可调）	0.2 - 2.2 amu

分压比	< 0.5 ppb

最高工作温度传感器	150 °C

最高烘烤温度	400 °C

最高工作温度电子元件	40 °C

测量速度	0.125 ms - 60 s/amu

电源	100 - 240 VAC
(1) QMA 400 可用于质量范围：1-512 amu。 QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置。
(2) QMA 410 可用于质量范围：1-128 amu。 QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置。

质量范围	1-300 amu

传感器长度	441.5 mm

杆直径	8 mm

杆材料	不锈钢

法兰	DN 63 CF-F

检测器类型	法拉第/SEV 217

最大工作压力 (FC)	1 E-4 mbar

最大工作压力 (EM)	1 E-5 mbar

灵敏度	2 E-4 A/mbar

最小可检测分压	1 E-15 mbar

分辨率（可调）	0.3 - 7 amu

分压比	< 0.5 ppb

最高工作温度传感器	150 °C

最高烘烤温度	400 °C

最高工作温度电子元件	40 °C

测量速度	0.125 ms - 60 s/amu

电源	100 - 240 VAC
(1) QMA 400 可用于质量范围：1-512 amu。 QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置。
(2) QMA 410 可用于质量范围：1-128 amu。 QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置。

零件号

QMA 400

QMA 410

QMA 430

490-715	带有网格离子源的QMA 400
450-119	盖板的位置，DMM的规格。
490-601	用于PPM 422标准的QMA 400
490-700	带有轴向离子源的QMA 400
490-701	带横梁的QMA400
490-702	QMA 400, SEM 217, 横梁, Yt

490-810	带有轴向离子源的QMA 410
490-812	QMA 410,16mm Mo,217, W, CB-GT
490-817	QMA 410，SEM 217，横梁，Yt
490-821	QMA 410四联分析器
490-830	QMA 410 mit CB-IQ mit Magn.,SEV218

490-901	QMA 430 mit CB-IQ, Faraday
490-910	QMA 430，带轴向IQ，90° SEV217
490-913	带有网格离子源的QMA 430
490-914	QMA 430网格离子源，真空退火
490-916	QMA 430，CB-IQ，不含SEV217
490-917	带CB离子源的QMA 430，气密性好
490-918	QMA 430，CB离子源，不含SEV217
490-943	QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT