光学气体分析仪

Augent® OPG550

光学等离子体真空计

Augent-OPG550

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。Augent将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中,用于监测1 x 10-7至5 mbar的气体类型,并同时测量从1 x 10-7 mbar到大气的总压力。

Augent由一个集成的皮拉尼传感器保护,用于关闭20mbar以上的等离子体。快速光学测量原理原则上允许检测任何类型的气体。

优势

  • 高速检漏,可进行腔体检漏 
  • 提高生产率和产量 
  • 寿命长,不烧丝,有气涌保护 
  • 可承受工艺化学反应 
  • 智能算法,易于集成 
  • 设计紧凑,占地面积小 
  • 可靠、快速启动

典型应用

  • 腔体泄漏检查,更快的RoR(上升率)测试
  • 泄漏检查,发现气体供应管道的内部泄漏 
  • 实时终端控制 
  • 气体类型和浓度控制
观看视频

教程视频

如何清洁传感器?
如何更换传感器?

规格

测量范围 N2毫巴

1×10-7 … 5
(7.6×10-8 … 3.8)

 

精度 总压力读数 N2  
1 x 10-7 ... 100 毫巴读数百分比30
100 ... 1000 毫巴读数百分比50
   
N2 总压力读数的重复性  
1 x 10-7 ... 100 毫巴读数百分比5
   
温度  
运行(环境)°C+5 … +50
存储°C-20 … +70
带电子装置的法兰处烘干°C<80
法兰处烘干(不含电子装置°C<120
   
电源电压  
压力表伏(直流)+14.5 … +30
波纹伏(p-p)<1
耗电量W<5
连接保险丝AT1
   
暴露在真空中的材料  
一般材料一般材料Al2O3, 不锈钢  1.4435
阳极阳极
电离室电离室钛,不锈钢 1.4016
点火器点火器不锈钢 1.4310
零件编号
附件
备件
零件编号描述
3OF0-011-010POPG550 TI,LC,9DSub,16KF
3OF0-013-010POPG550 TI,LC,9DSub,16CF-R
3OF0-01E-010POPG550 TI,LC,9DSub,8-VCR f
3OF1-016-010POPG550 TI,LC,9DSub,25KF
3OF1-017-010POPG550 TI,LC,9DSub,40KF
3OF1-01Q-010POPG550 TI,LC,9DSub,40CF-F
零件编号描述
303-333用于诊断端口(RS232)的诊断电缆,2 米
351-05124 V(直流)电源,带模拟输出和 RS232 线路
351-052光学窗口清洁套件(适用于 PN 为 3OF1-xxx-xxxxx 的压力表)
零件编号描述
351-594更换传感器 DN ISO 16 KF
351- 595更换传感器 DN 16 CF-R
351-597更换传感器 DN ISO 25 KF
351-598更换传感器 DN ISO 40 KF
351-599更换传感器 DN ISO 40 CF-F
351-596更换传感器 8 VCR female
351-055备用离子室 TI - OPG550
351-995MxG40x/50x, OPG550 点火辅助备件 (10)
在此下载完整的规格
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