光学气体分析仪
Augent® OPG550
光学等离子体真空计
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。Augent将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中,用于监测1 x 10-7至5 mbar的气体类型,并同时测量从1 x 10-7 mbar到大气的总压力。
Augent由一个集成的皮拉尼传感器保护,用于关闭20mbar以上的等离子体。快速光学测量原理原则上允许检测任何类型的气体。
优势
- 高速检漏,可进行腔体检漏
- 提高生产率和产量
- 寿命长,不烧丝,有气涌保护
- 可承受工艺化学反应
- 智能算法,易于集成
- 设计紧凑,占地面积小
- 可靠、快速启动
规格
测量范围 N2 | 毫巴 托 | 1×10-7 … 5
|
精度 总压力读数 N2 | ||
1 x 10-7 ... 100 毫巴 | 读数百分比 | 30 |
100 ... 1000 毫巴 | 读数百分比 | 50 |
N2 总压力读数的重复性 | ||
1 x 10-7 ... 100 毫巴 | 读数百分比 | 5 |
温度 | ||
运行(环境) | °C | +5 … +50 |
存储 | °C | -20 … +70 |
带电子装置的法兰处烘干 | °C | <80 |
法兰处烘干(不含电子装置 | °C | <120 |
电源电压 | ||
压力表 | 伏(直流) | +14.5 … +30 |
波纹 | 伏(p-p) | <1 |
耗电量 | W | <5 |
连接保险丝 | AT | 1 |
暴露在真空中的材料 | ||
一般材料 | 一般材料 | Al2O3, 不锈钢 1.4435 |
阳极 | 阳极 | 钼 |
电离室 | 电离室 | 钛,不锈钢 1.4016 |
点火器 | 点火器 | 不锈钢 1.4310 |
零件编号
附件
备件
零件编号 | 描述 |
3OF0-011-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,16KF |
3OF0-013-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,16CF-R |
3OF0-01E-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,8-VCR f |
3OF1-016-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,25KF |
3OF1-017-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,40KF |
3OF1-01Q-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,40CF-F |
零件编号 | 描述 |
303-333 | 用于诊断端口(RS232)的诊断电缆,2 米 |
351-051 | 24 V(直流)电源,带模拟输出和 RS232 线路 |
351-052 | 光学窗口清洁套件(适用于 PN 为 3OF1-xxx-xxxxx 的压力表) |
零件编号 | 描述 |
351-594 | 更换传感器 DN ISO 16 KF |
351- 595 | 更换传感器 DN 16 CF-R |
351-597 | 更换传感器 DN ISO 25 KF |
351-598 | 更换传感器 DN ISO 40 KF |
351-599 | 更换传感器 DN ISO 40 CF-F |
351-596 | 更换传感器 8 VCR female |
351-055 | 备用离子室 TI - OPG550 |
351-995 | MxG40x/50x, OPG550 点火辅助备件 (10) |
下载
手册