监测
IMM-200
IMM-200
让卓越成为可重复的事
用精确的速率和厚度监测来保护和增加您的利润
IMM-200是一款采用ModeLock技术的沉积监测器，以最高的厚度精度、最佳的测量分辨率和最低的速率噪声，最大限度地提高可重复性和均匀性。
由于内置了振荡器，IMM-200可以很容易地集成到一个以太网系统中，而且硬件和占地面积最小。这个强大而精确的测量监控器一定会给你的工艺带来新的性能水平。
功能
- INFICON ModeLock 技术提供最长的晶体寿命，并确保提供最稳定、最高分辨率的速率和厚度测量，即使在非常低的速率下也是如此。
- 通过最佳的 QCM 厚度测量，最大限度地提高产量
- 单通道速率和厚度监测器，没有不必要的附加功能，最大限度地降低了成本
- 100毫秒采样的±0.0035赫兹
- 以太网通信实现无缝集成
- 尺寸紧凑，通过节省工具空间，最大限度地降低集成成本
- 专家应用支持，能够讨论独特的应用需求，提供比竞争对手更多的支持
- 符合RoHS标准
典型应用
- 半导体制造
- OLED应用
该产品被用于以下市场
