热电离真空计

BPG402-Sx

大气压至超高真空真空计

Pirani-BAG402-BPG400-BPG402

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 mbar至大气压(3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。为负担不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S,以经济高效的方式执行基本压力测量。传感元件带有板载校准数据,保证更换传感器时的高再现性。

好处

  • 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压(3.8 x 10-10 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围
  • 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
  • 皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁
  • 双长使用寿命氧化钇铱丝
  • 备有可选的图形显示器和现场总线接口
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预
  • 传感元件带有板载校准数据,易于更换,可保证高再现性
  • 符合 RoHS 标准

典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
5×10-10 … 1000
3.8×10-10 … 750
   
Accuracy  
10-8 … 10-2 mbar% of reading±15
   
Repeatability  
10-8 … 10-2 mbar% of reading5
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange without electronics BPG402-S°C80
Bakeout at flange without electronics BPG402-SL°C150
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)
+20 … +28
≤0.8
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
在此下载完整的规格
Part Number
Accessories
Spare Parts
Part NumberDescription
353-570BPG402-S DN 25 ISO-KF
353-571BPG402-S DN 40 CF-R
353-572BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF
353-573BPG402-S LCD, DN 40 CF-R
353-578BPG402-SL long tube DN 40 CF-R
353-574BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-575BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R
353-576BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-577BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R
353-590BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-591BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-596BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-597BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
Part NumberDescription
353-511Power supply BPG400 24VDC
353-512Baffle for BPG400
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
Part NumberDescription
354-494Spare sensor head BPG402 DN 25 ISO-KF
354-495Spare sensor head BPG402 DN 40 CF-R

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