热电离真空计

BAG302

中到超高真空真空计

嵌入式选项

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INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10^-9 至 6.7 × 10^-2 mbar（1 × 10^-9 至 5 × 10^-2 Torr）的广泛测量范围。紧凑型一体化热电离真空计 BAG302 能够轻松地更换双丝极传感器、内置 OLED 显示器、设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成 RS485 数字接口，提高了集成灵活性。这些功能配以坚固的设计，使 BAG302 为其自身的基本压力测量仪器带来经济且可重复的过程，并提供高价值/低拥有成本的选择。

好处

测量范围从 1.3 × 10^-9 至 6.7 × 10^-2 mbar（1 × 10^-9 至 5 × 10^-2 Torr）
双标准长使用寿命氧化钇铱丝
一体式主动测量仪，内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口
带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏，简化设置、操作和编程
用户可编程的设定点继电器
用户可编程的显示器单位：mbar、Torr 或 Pa
用户可选的发射电流自动设换范围
机械强度和坚固性
各种法兰的选择
易于更换的传感元件
合规和标准：CE、RoHS
直接取代 Granville-Phillips^® 354 Micro-Ion^® 模块 – 包括软件命令在内的相同控制功能 (RS485)（Granville-Phillips^® 和 Micro-Ion^® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标）

典型应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

Measurement range (air, O₂, CO, N₂)	mbar Torr Pa	1.3 x 10^-9 ... 6.7 x 10^-2 1 x 10^-9 ... 5 x 10^-2 1.3 x 10^-7 ... 6.7

Accuracy (N₂)

1.3×10^-8 … 6.7 ×10^-2 mbar	% of reading	±15
1×10^-8 … 5×10^-2 Torr	% of reading	±15

Repeatability	% of reading	±5

Temperature	°C	+10 … +50

Operation (ambient)	°C	0 ... +40
Storage	°C	-40 ... +70
Bakeout at flange (sensor only, electrics removed)	°C	200

Supply voltage	V (dc)	+20 ... +28

Setpoint relay		1 (single-pole double-throw relay (SPDT)) 1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni