质谱仪

Transpector® MPH

无与伦比的性能提高良率并使正常运行时间最大化

Transpector-MPH

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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持续上升的硅晶圆价格以及对成品的需求意味着废弃晶圆需要付出前所未有的代价。因此,在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector MPH 气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内一流的性能,有助于最大限度地提高芯片产量,降低工具停工时间。Transpector MPH 兼具总拥有成本低和平均故障间隔时间长的优点,在帮助您赢利方面的作用优于市面上的任何其他残余气体分析仪 (RGA)。

INFICON 利用在气体分析过程控制设备领域的专长制造的 RGA 具有行业领先的数据采集速度,可检分压强和信噪比最低。所有这些特性都不会牺牲 INFICON Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。

功能

  • 最大模拟扫描和选定峰值的数据速率为每点 1.8 ms
  • TCP/IP 以太网连接
  • 双丝极
  • 可现场更换电子倍增器
  • 组合阳极、阴极和反射极丝极套件
  • 较短的传感器可降低安装占地面积
  • 九个数量级的动态量程
  • <2E-15 Torr 的 MDPP(100 amu)
  • 信噪比更高
  • 可调换传感器和电子元件
  • 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
  • 符合 RoHS 标准

技术规格

MPH100M
MPH100F
MPH200M
MPH200F
MPH300M
MPH300F
质量范围100 amu
最小可检测分压 2E-15 Torr
灵敏度 (FC)6E-4 A/Torr
灵敏度 (EM)500 A/Torr
最大工作压力5E-4 Torr
质量范围100 amu
最小可检测分压 3E-13 Torr
灵敏度 (FC)6E-4 A/Torr
灵敏度 (EM)NA
最大工作压力5E-4 Torr
质量范围200 amu
最小可检测分压 3E-15 Torr
灵敏度 (FC)5E-4 A/Torr
灵敏度 (EM)500 A/Torr
最大工作压力5E-4 Torr
质量范围200 amu
最小可检测分压 4E-13 Torr
灵敏度 (FC)5E-4 A/Torr
灵敏度 (EM)NA
最大工作压力5E-4 Torr
质量范围300 amu
最小可检测分压 4E-15 Torr
灵敏度 (FC)4E-4 A/Torr
灵敏度 (EM)250 A/Torr
最大工作压力5E-4 Torr
质量范围300 amu
最小可检测分压 5E-13 Torr
灵敏度 (FC)4E-4 A/Torr
灵敏度 (EM)NA
最大工作压力5E-4 Torr

配件

961-021-G1Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug
961-021-G2Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G3Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G4Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug
961-021-G5Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G6Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
600-1190-P8Ethernet 7m cable
600-1190-P15Ethernet 15m cable
600-1428-P1Power Supply Extension Cable- 15 ft (4.5m)
600-1429-P1Power Supply Extension Cable - 30 ft (9m)
961-417-G1Ethernet Router 4 port with Push Button Wi-Fi
961-418-G1Ethernet Switch 8 port
961-702-G1Pirani Interlock Kit
914-024-G1Angle Valve Kit, Manual (includes heater)
914-026-G1MPH Angle Valve Kit, Electropneumatic 24 V(DC) (includes heater)
961-029-G1MPH Heater Kit 120 VAC
961-029-G2MPH Heater Kit 230 VAC
备件
耗材
961-416-P1Spare MPH Heating Jacket
914-407-P1Spare Valve Heating Jacket (required heater power cable if stand alone)
600-1117-P1Spare Heater Power Cable 120 VAC
600-1117-P2Spare Heater Power Cable 230 VAC
914-410-P1Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2MPH Extension Kit
961-205-G2MPH HPR Extension Kit
961-022-G1Spare O-Ring and Nut Kit
074-5007-G1Gas Analysis Product Manuals CD
961-700-G1Coated Iridium Filament Kit
961-700-G2Tungsten Filament Kit
961-701-G1Coated Iridium Filament Ion Source
961-701-G2Tungsten Filament Ion Source
961-2428-G2Electron Multiplier Replacement Kit

备件

MPH100F
MPH100M
MPH200F
MPH200M
MPH300F
MPH300M
961-H1FASMPH Sensor, 100 AMU FC (MPH100F) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H1FBSMPH Sensor, 100 AMU FC (MPH100F) w/ Tungsten Filaments
MP-H10SMPH Electronics Box, 100 AMU FC or EM/FC (MPH100F, MPH100M) w/ Ethernet
961-H1MASMPH Sensor, 100 AMU EM/FC (MPH100M) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H1MBSMPH Sensor, 100 AMU EM/FC (MPH100M) w/ Tungsten Filaments
MP-H10SMPH Electronics Box, 100 AMU FC or EM/FC (MPH100F, MPH100M) w/ Ethernet
961-H2FASMPH Sensor, 200 AMU FC (MPH200F) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H2FBSMPH Sensor, 200 AMU FC (MPH200F) w/ Tungsten Filaments
MP-H20SMPH Electronics Box, 200 AMU FC or EM/FC (MPH200F, MPH200M) w/ Ethernet
961-H2MASMPH Sensor, 200 AMU EM/FC (MPH200M) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H2MBSMPH Sensor, 200 AMU EM/FC (MPH200M) w/ Tungsten Filaments
MP-H20SMPH Electronics Box, 200 AMU FC or EM/FC (MPH200F, MPH200M) w/ Ethernet
961-H3FASMPH Sensor, 300 AMU FC (MPH300F) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H3FBSMPH Sensor, 300 AMU FC (MPH300F) w/ Tungsten Filaments
MP-H30SMPH Electronics Box, 300 AMU FC or EM/FC (MPH300F, MPH300M) w/ Ethernet
961-H3MASMPH Sensor, 300 AMU EM/FC (MPH300M) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H3MBSMPH Sensor 300 AMU EM/FC (MPH300M) w/ Tungsten Filaments
MP-H30SMPH Electronics Box, 300 AMU FC or EM/FC (MPH300F, MPH300M) w/ Ethernet
该产品被用于以下市场
Analytical-Instrumentation-Navi
分析仪器

分析仪器市场为广大用户提供高度复杂的分析工具,涵盖不同应用场景和市场。INFICON与那些拥有最先进技术的制造商合作,帮助分析和识别最小的结构或元素组成,无论是气体、液体还是固体均在其适用范围内。

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Battery-Market-Navi
电池

从电极生产到生产线终端EOL终端的测试

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Display-Navi
显示器

INFICON汇聚尖端科技,实现最高质量的显示器产品

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energy-market-navi
能源

传统的石油和天然气生产在过去几十年中出现了需求的增长,并被发展中国家的人口增长、城市化和中产阶级的消费所推动。

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
工业制造

其中,真空技术大多用于保证清洁的环境,并且在某些过程中需要维持真空以确保过程顺利实施。

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Mobility_and_Automotive-Navi
移动和汽车

在一个不断发展的行业中进行可靠的泄漏测试 。 汽车行业的变化使泄漏检测变得更加重要。

了解更多
Pharma_and_Medical-Navi
医药和医疗

提高生产力,帮助满足制药业的合规标准和质量要求 

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Research-and-Academia-Navi
研究与学术

通过基础研究揭开宇宙最深层的神秘面纱。今天的创新为您明天的技术研发提供动力

了解更多
Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半导体IDM和晶圆代工厂

为支持广泛的应用而定制的传感器,确保产品安全、提高产量和最高生产力。

了解更多
Vacuum_Coating-Navi
真空镀膜

真空镀膜市场远远超出了光学领域,正在迅速扩展到十年前几乎无法想象的领域、行业和薄膜层。

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