真空计控制器

VGC094

用于真空控制的模块化一体化解决方案

嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

VGC094 是用于真空过程测量、控制和数据记录的著名解决方案。VGC094 与 INFICON 多种无源真空计兼容，能够监控从 1×10-11 到 1000 mbar 的整个真空压力范围。VGC094 可由用户配置，通过两套测量板控制多达 4 个无源真空计头（皮拉尼真空计、倒磁控真空计）。控制器提供最新的数字通信接口（USB、RS485、以太网），并可根据用户的特定通信标准（PROFIBUS、PROFINET）通过单独的接口板进行定制。VGC094 是性能要求苛刻的应用场合（如远距离操作、高温或高电离辐射暴露）的理想解决方案。

优势

用于真空监测和控制的完整解决方案，监测范围从 1×10^-11 到 1000 毫巴，甚至是远距离监测
屏幕明亮清晰
条形图显示，带设定点或压力与时间关系视图
传感器操作简便，具有直观的参数、传感器或常规设置引导菜单
数据和参数记录功能，带 USB 端口（背面）和 USB 闪存驱动器（正面）
高分辨率 - 16 位 A/D 转换器
4 路可编程 0 至 10 V 图表记录输出
每个通道有四个可自由定义的设定点，滞后可调
RS485、以太网、可选 RS232 和现场总线通信接口

皮拉尼量规

PSG010

PSG017

PSG018

压力范围	8×10^-4 … 1000 mbar

内部密封	玻璃橡胶（FPM）

烘烤温度范围	≤100°C

电离辐射耐受性	-

特点	钨 (W) 灯丝

压力范围	8×10^-4 … 1000 mbar

内部密封	AI₂O₃ 陶瓷 \| 金属

烘烤温度范围	≤250°C

电离辐射耐受性	10⁶ Gy

特点	镍（Ni）丝，耐腐蚀

压力范围	8×10^-4 … 1000 mbar

内部密封	AI₂O_{3 陶瓷 \| 金属}

烘烤温度范围	≤250°C

电离辐射耐受性	10⁶ Gy

特点	钨 (W) 灯丝

反向磁控管冷阴极测量仪

MAG050

MAG060

MAG070

MAG084

压力范围	2×10^-9 mbar to 5×10^-3 mbar

内部密封	AI₂O₃ 陶瓷 \| 弹性体 (FPM)

烘烤温度范围	≤150°C

电离辐射耐受性	-

磁场抗扰度	-

特点	Coax connector

压力范围	1×10^-10 mbar to 5×10^-3 mbar

内部密封	AI₂O₃ 陶瓷 \| 弹性体 (FPM)

烘烤温度范围	≤250°C

电离辐射耐受性	10⁷ Gy

磁场抗扰度	-

特点	同轴接头

压力范围	1×10^-11 mbar to 5×10^-3 mbar

内部密封	AI₂O₃ 陶瓷 \| 弹性体 (FPM)

烘烤温度范围	≤250°C

电离辐射耐受性	10⁷ Gy

磁场抗扰度	-

特点	三同轴连接器

压力范围	1×10^-8 mbar to 5×10^-3 mbar

内部密封	AI₂O₃ 陶瓷 \| 弹性体 (FPM)

烘烤温度范围	≤230°C

电离辐射耐受性	10⁷ Gy

磁场抗扰度
轴向	≤280 mT
径向	≤180 mT

特点	双电离室原理同轴接头

面板视图

VGC094 Back

测量配置

插槽 A + B

插槽 C

电路板类型

双皮拉尼测量板（PI 300 D、DN 或 DL）

双冷阴极测量板（PE 300 DC9）

皮拉尼+冷阴极组合测量板（CP 300 C9、C10、T11、T11L）

电路板类型

接口板

If 300 A、B、C、P，IF301 P，IF 500 PN

测量板 - Pirani

PI 300 D

PI 300 DN

PI 300 DL

测量通道	杜贝-皮拉尼（2 个传感器）

仪器类型	PSG010 / PSG018

最大运行距离
皮拉尼	≤100 m
冷阴极	-

测量通道	杜贝-皮拉尼（2 个传感器）

仪器类型	PSG017

最大运行距离
皮拉尼	≤100 m
冷阴极	-

测量通道	杜贝-皮拉尼（2 个传感器）

仪器类型	PSG010 / PSG018

最大运行距离
皮拉尼	≤500 m
冷阴极	-

测量板 - 冷阴极

PE 300 DC9

测量通道	双冷阴极（2 个传感器）

仪器类型	MAG050 / MAG060

最大运行距离	-
皮拉尼	-
冷阴极	≤100 m¹⁾
¹⁾ ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) 使用较低测量范围时

测量板 - 皮拉尼/冷阴极组合

CP 300 C9

CP 300 C10

CP 300 T11

CP 300 T11L

测量通道	皮拉尼 + 冷阴极组合

仪器类型	PSG010 or PSG018 MAG050 or MAG60 or MAG084

最大运行距离
皮拉尼	≤100 m
冷阴极	≤100 m ¹⁾
¹⁾≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) 使用较低测量范围时

测量通道	皮拉尼 + 冷阴极组合

仪器类型	PSG010 or PSG018 MAG050 or MAG60

最大运行距离
皮拉尼	≤100 m
冷阴极	≤100 m ¹⁾
¹⁾≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) 使用较低测量范围时

测量通道	皮拉尼 + 冷阴极组合

仪器类型	PSG010 or PSG018 MAG070

最大运行距离
皮拉尼	≤100 m
冷阴极	≤500 m

测量通道	皮拉尼 + 冷阴极组合

仪器类型	PSG010 or PSG018 MAG070

最大运行距离
皮拉尼	≤500 m
冷阴极	≤500 m

PI 300 D DN DL

PE 300 DC9

CP 300 C9-C10

CP 300 T11-T11L

接口板

IF 300 A

IF 300 B

IF 300 C

IF 300 P

IF 301 P

IF 500 PN

通信协议

RS232C 接口和继电器（1.5 A）

通信协议

RS232 接口和继电器（4.0 A）

通信协议

RS422 接口和继电器（1.5 A）

通信协议

PROFIBUS 接口和继电器（1.5 A）

通信协议

PROFIBUS 接口和固态继电器（0.5 A）

通信协议

PROFINET 接口

IF 300 A - C

IF 300 B

IF 300 P

IF 301 P

IF 500 PN

规格

VGC094

测量通道	4
显示屏	液晶显示器，LED 背光
Measurement rate	100 s^-1
测量速率	10 s^-1
测量速率	1 x 10^-11 ... 1000 mbar
测量单位（可选）	mbar、Torr、hPa、Micron、V
插件板插槽	2 个测量板 1 个接口板
设定点继电器	4
错误继电器	1
频道分配	可自由指定
调节范围	传感器依赖性
磁滞	可调节
联系	浮动转换触点
联系评级	30 V (ac) / 1.5 A
联系评级	30 V (dc) / 1.5 A
连接器	D-sub, 25 针, 母头
模拟输出	4
范围	0 ... 10 V / 4 ... 20 mA
接口（数字）	USB 从设备、主设备、RS485、以太网、USB A 型（闪存驱动器）、 USB B 型，M12 5 针 FCC68/RJ45
电源	100 ... 240 V (ac)
频率	50 ... 60 Hz
运行温度	+5 ... +50°C

部件编号

Accessories

398-401

VGC094 真空计控制器

	PSG010 80°C 电缆电缆连接器：安费诺/安费诺
BG548402-T	3 米（9.9 英尺）
BG548403-T	6 米（19.8 英尺）
BG548450-T	10 米（33 英尺）
BG548451-T	15 米（49 英尺）

	用于 PSG017/018 80°C 的电缆电缆连接器：安费诺 / 推拉自锁式
BG548308-T	3 米（9.9 英尺）
BG548309-T	6 米（19.8 英尺）
BG548456-T	10 米（33 英尺）
BG548457-T	15 米（49 英尺）

	用于 PSG017/018 250°C 的电缆电缆连接器：安费诺 / 推拉自锁式
BG548414-T	3 米（9.9 英尺）
BG548465-T	6 米（19.8 英尺）
BG448047-T	10 米（33 英尺）
BG448043-T	15 米（49 英尺）

	用于 PSG010/017/018 80°C 的延长电缆电缆连接器：安费诺/安费诺
BG548466-T	10 米（33 英尺）
BG548468-T	20 米（65 英尺）
BG548470-T	30 米（99 英尺）

	用于 MAG050/060/084 的电缆 80°C 电缆连接器：卡口，SHV / SHV
BG548406-T	3 m (9.9 ft)
BG548407-T	6 m (19.8 ft)
BG548419-T	10 m (33 ft)
BG548483-T	15 m (49 ft)

	用于 MAG050/060/084 的电缆，250°C 电缆连接器：卡口，SHV / SHV
BG548542-T	3 m (9.9 ft)
BG548543-T	6 m (19.8 ft)
BG448045-T	10 m (33 ft)
BG548989-T	15 m (49 ft)

	MAG070 80°C 电缆电缆连接器推拉自锁式，三同轴/三同轴
BG548306-T	3 m (9.9 ft)
BG548317-T	6 m (19.8 ft)
BG548490-T	10 m (33 ft)
BG548491-T	15 m (49 ft)

	测量板
IG546920-T	双皮拉尼测量板, PI 300 D
IG549212-T	双皮拉尼测量板, PI 300 DL
IG549214-T	双皮拉尼测量板, PI 300 DN
IG441375-T	双皮拉尼测量板, PE 300 DC9
IG441000-T	皮拉尼/冷阴极测量板, CP 300 C9
IG441114-T	皮拉尼/冷阴极测量板, CP 300 C10
IG441080-T	皮拉尼/冷阴极测量板, CP 300 T11
IG441120-T	皮拉尼/冷阴极测量板, CP 300 T11L

	接口板
IG441130-T	接口和继电器板, IF300A RS232C
IG441250-T	接口和继电器板, IF300B RS232
IG441390-T	接口和继电器板, IF300C RS422
IG441395-T	接口和继电器板, IF300P PROFIBUS
IG441396-T	接口和继电器板，IF301P PROFIBUS 半继电器
398-421	接口板，IF500 PROFINET

	皮拉尼量具
350-400	PSG010 DN 10 ISO-KF
350-430	PSG017 DN 16 ISO-KF
350-431	PSG017 DN 16 CF-F
350-420	PSG018 DN 16 ISO-KF
350-424	PSG018 DN 16 CF-F
350-423	PSG018 DN 40 CF-F

	冷阴极测量仪
399-840	MAG050 DN 25 ISO-KF
399-841	MAG050 DN 40 ISO-KF
399-842	MAG050 DN 40 CF-F
399-845	MAG060 DN 40 ISO-KF
399-846	MAG060 DN 40 CF-F
399-847	MAG070 DN 40 ISO-KF
399-848	MAG070 DN 40 CF-F
399-849	MAG084 DN 40 ISO-KF
399-850	MAG084 DN 40 CF-F