热电离真空计

Trigon™ BPG552

ATM 至超高真空双真空计

嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

对于测量范围要求从 UHV (5 x10^-10) 到 ATM (1000 mbar) 的应用，Trigon™ 系列包括双技术 BPG552 真空计。BPG552 由一个 Bayard-Alpert 热电离传感器元件和一个经典、坚固、可靠的皮拉尼传感器元件组成。支持的 Bayard-Alpert 双丝提供了卓越的精度、可重复性和使用寿命。

优势

双测量仪（2 个传感元件），测量范围宽，降低成本，节省空间
用于 Bayard-Alpert 系统的 2 根灯丝
皮拉尼互锁保护，避免灯丝过早烧毁
自动高真空皮拉尼调节，减少操作员干预
电隔离电子元件，避免杂散电流
滑动排放模式，避免切换排放流时出现压力跳跃和冻结现象
可移动的校准数据芯片延长了烘烤时间
设定点继电器
明亮大屏幕 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面
模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
可与 VGC50x 控制器系列配合使用
向后兼容 BPG402
符合 RoHS 规范

典型应用

半导体工艺中的压力测量
工业镀膜
低真空到超高真空范围内系统的一般真空测量和控制超高真空范围

规格

测量范围（空气、O2、CO、N2）	5 × 10^-10 … 1000 mbar

准确性
1 × 10^-8 … 1 x 10^-2 mbar	读数的 ±15
1 x 10^-2 mbar … 1000 mbar	读数的 ±30

重复性	读数的 5%，10-8 ... 10-2 毫巴（稳定 10 分钟后）

暴露在真空中的材料	不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨