控制器

Guardian™ EIES 控制器

Simultaneous Deposition of Up to Eight Materials

可同时沉积至多八种材料

CIGS 薄膜的理想之选

Guardian 可将沉积速度控制在 0.1 到 10,000 Å/s 范围内。它可以操作一个或两个传感器，最多 8 个光输入，并控制最多 8 个沉积源，因此能够同时沉积最多 8 种材料。

INFICON Guardian 是光伏模块、有机发光二极管、光伏、超导薄膜以及分子束外延制造等应用的理想之选。

Guardian Codeposition 系统基于电子碰撞发射光谱 (EIES)。利用 EIES，要沉积的材料在热离子发射体的作用下生热，从而产生光子。产生的光通过光滤波器达到光电倍增管 (PMT) 检测器，光电倍增管检测器可以测量所通过波长的发射强度。然后，INFICON Guardian 控制器产生信号来控制该材料源。配备了合适滤光器的其他检测仪可用于多种材料。

一套完整的 Guardian 系统至少包括一个传感器、一个 PMT 检测仪、一个滤光器、一个 Guardian 控制器单元以及一台安装了 Guardian 软件的电脑（由用户提供）。EIES 通常用于控制多种材料的沉积，因此，大多数 EIES 系统还包括其他传感器、检测器、光学器件（例如分裂器）以及 QCM，QCM 用于校准或控制某些材料的沉积速率。如需关于典型系统的更多信息，请参阅下面的 Downloads（下载）选项卡中的《Guardian 配置指南》。

要配置 Guardian 共沉积系统，需要考虑以下几点
沉积材料的初级和二级发射波长为多少？

如果不同材料的峰值过于相近，您可能需要监控二级发射波长，二级波长的信号强度较弱。

在沉积过程中，真空室中存在哪些本底气体？这些本底气体的发射波长是多少？

如果本底气体的发射干扰了沉积材料，则建议使用气体补偿传感器。

对于特定发射光谱的原子种类，EIES 最为有效。分子种类产生的发射光谱不稳定或者过宽，无法准确测量。不建议将 EIES 用于有机材料。各个具体应用的最佳 EIES 系统配置由以上因素及其他因素确定。

功能

监控和控制多达 8 种材料的同时沉积过程
从 0.1 至 10,000 Å/s 的沉积速率
集成式 EIES 和 QCM 薄膜过程控制
12 个继电器输出和 12 个数字输入
用于设置与操作的基于 Windows 的软件
与 INFICON Sentinel^® 传感器兼容

规格

工作压力	<5x10^-4 Torr

温度	450° C maximum during operation and/or bakeout

控制输出	Eight source control outputs, 0 to ±10 VDC programmable

用户自备计算机：	Any PC with Windows^® Vista/XP/2000/7/8/10 operating system, and Ethernet or RS-232 interface

零件编号

Part Number	Description
782-900-031	Guardian Controller for one sensor (standard or gas compensating)
782-900-050	Guardian Controller for two sensors (standard or gas compensating)

附件

Spare Parts

Part Number	Description
EIES Sensors
016-600-G22	Guardian Standard Single Sensor and Feedthrough Assembly, 22 in. (539 mm), CF40 Flange
016-601-G22	Guardian Gas Compensating Sensor and Feedthrough Assembly, 22 in. (539 mm), CF40 Flange
Beam Splitters	Fiber Optic Beam Splitters split the beam of light from the sensor to allow measurement of multiple materials per EIES sensor.
782-900-034	Guardian Fiber Optic Beam Splitter (1:3) - 400 mm length
782-900-034-x-yyy	Guardian Fiber Optic Beam Spliter (1:x) - yyy mm length
Filament Cables	Connects the EIES sensor to the Guardian controller
600-1406-P10	Guardian Single Filament cable, 10 ft. (3 m) - For standard EIES sensor
600-1406-P40	Guardian Single Filament cable, 40 ft. (12 m) - For standard EIES sensor
600-1407-P10	Guardian Dual Filament cable, 10 ft. (3m) - For gas compensating EIES sensor
600-1407-P40	Guardian Dual Filament cable, 40 ft. (12 m) - For gas compensating EIES sensor
PMT Detector
782-900-030	Guardian PMT Detector
PMT Detector Cables	Connects the PMT Detector to the Guardian controller
782-505-065	Guardian Detector cable 10 ft. (3 m)
782-505-065-40	Guardian Detector cable, 40 ft. (12 m)
Optical Filters	Select the wavelength appropriate for your material
782-900-035-202	Optical filter - 202nm, BP10nm (Zn)
782-900-035-241	Optical Filter - 241nm, BP10nm (Co, Au)
782-900-035-252	Optical Filter - 252nm, BP10nm, (Si)
782-900-035-265	Optical Filter - 265nm, BP10nm, (Ge, Pt, Ta, Ir)
782-900-035-267	Optical Filter, 267 nm, Guardian
782-900-035-294	Optical Filter 294nm, BP2nm, (Hf) (Ga [when using a gas compensating sensor])
782-900-035-304	Optical Filter 304nm, BP2nm (Ba, In [when using a gas compensation sensor])
782-900-035-325	Optical Filter - 325nm, BP10nm (Cu, Cd)
782-900-035-358	Optical Filter - 358nm, BP10nm, (Nb, U, Cr)
782-900-035-364	Optical Filter - 364nm, BP10nm (Ti, Pb)
782-900-035-396	Optical Filter - 396nm, BP10nm, (Al)
782-900-035-417	Optical Filter - 417nm, BP2nm, (Ga)
782-900-035-451	Optical Filter - 451nm, BP5nm, (In)

Part Number	Description
016-201-G1	Emitter assembly for all 016-400-Gx sensors used in 016-600-Gxx and -601-Gxx
782-900-038	Guardian Photomultiplier Tube Replacement
016-509-G22	Guardian Sensor EIES In-vacuum Cable, 22 in. (559 mm), other lengths available
782-530-015	Guardian Sensor Filament Replacement (for discontinued 782-900-029 and -052 sensors)