真空开关
VSC150A
设定点范围0.5 ... 2000毫巴
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Gemini™ MxG5xx
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Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
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INFICON 真空开关 VSC150 是一个绝对压力开关，带有 0.5 - 2000 mbar 的可调节电气开关触点。其机械设计允许出现 3000 mbar 的短时高温过载现象，而不会危及 ± 0.1 mbar 的开关准确度。INFICON 可为压力开关提供客户特定调节功能。
功能
- 基准室中的开关触点（常闭）保护免受过程介质的影响
- 采用开关放大器，提高了开关能力
- 用于压差测量的适配器
好处
- 高开关精度 (± 0.1 mbar)
- 长期稳定的操作特性
- 坚固耐用、防腐蚀的结构设计
典型应用
- 压力开关或压差开关，用于控制阀门、泵和电源
- 预抽真空室
- 过程腔室
规格
| 开关范围 | mbar | 0.5 … 2000 |
| 与媒介接触的材料 | ||
| 传感体积 | 传感体积 | Stainless steel 1.4301, 1.4401, 1.4310, 1.3541, FPM75 |
| 参考容积 | 参考容积 | Stainless steel 1.4301, 1.4401, 1.3541, glass, gold |
| 过载限制 | mbar | 3000 |
| 开关滞后 | mbar | 0.5 |
| 保护类别 | IP 65 |
零件编号
附件
| 零件编号 | 描述 |
| 399-005 | VSC150 Vacuum Switch |
| 零件编号 | 描述 |
| 399-008 | Switching Amplifer for VSC150 |
| 399-006 | Setpoint-adjustment for VSC150 |
| 399-007 | Differentialpressure-Adapter for VSC150 |
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