真空开关
VSA200真空开关
设定点范围20 ... 970 Torr
嵌入式选项
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON真空开关设计用于准确可靠的压力检测。这些坚固的电子开关用于所有真空应用，包括压力联锁。
开关有两种版本，绝对（参考真空）或差分（参考环境）。
功能
- IP 44 保护
- 无源触点继电器输出
- 高精度温度补偿传感器
- 压力范围 1×10-9 mbar … 2 bar
好处
- 耐腐蚀全不锈钢设计
- 设计稳健，符合洁净室标准
- 出厂预设或现场可调设定点，易于安装
典型应用
- 适合各种真空应用的大气压检测
- 压力互锁（电源、气源、泵、阀门、驱动装置等）
- 真空至高真空
规格
1100 mbar
1000 Torr
| 设定点范围 | mbar Torr | 30 … 1060 - |
| 容许压力 | bar (absolute) | 5 |
| 设定点精度 | Torr | ± 5 |
| 反应时间 | ms | ≤45 |
| 滞后 | Torr | 20 |
| 设定点范围 | mbar Torr | – 20 … 970 |
| 容许压力 | bar (absolute) | 5 |
| 设定点精度 | Torr | ± 5 |
| 反应时间 | ms | ≤45 |
| 滞后 | Torr | 20 |
零件编号
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