传感器和馈入件
炫酷抽屉双传感器
炫酷抽屉双传感器设计用于在真空室中需要第二晶体的关键过程。拥有水冷浇铸不锈钢传感器壳体、两个炫酷抽屉晶体支架以及一个气动闸门，可以为坚固耐用的传感器头提供超高的备份晶体可靠性。腔室中没有同轴电缆，可以进行更纯净、更可靠的真空系统安装。
功能
- 双晶体
- 炫酷抽屉晶体支架
- 无内部电缆
- 晶体闸
- 还提供：CF40 馈入装置和 2.54 cm (1 in.) 螺栓馈入装置
- 在配有焊接式 CF40 法兰时可烘烤
- 在配有压缩接头时可调长度
- 焊接为客户指定长度的传感器/馈入装置组合
规格
| 冷却水 | Minimum water flow of 150 to 200 cm³/min using 1/8 in. O.D. tube, 30°C max. (Do not allow to freeze) |
| 材料 | 304 stainless steel, ceramic, beryllium nickel |
| 1 in. 螺栓和压缩接头密封端接 | |
| 温度 | Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without |
零件编号配置
Part Number配件
配件
耗材
备件
| Part Number | Description |
| 750-420-G1 | Solenoid Valve, 24V (for use with shuttered and multi-crystal sensors) |
| Name | Description |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
| 零件编号 | 描述 |
| 123259 | Cool Drawer Sensor Crystal Retainer |
| 123261 | Cool Drawer sensor Drawer |
| 123260 | Cool Drawer Sensor Drawer and Retainer Combo |
| 147207 | Bellows and cover assembly |
| 147401 | Shutter |
| 147402 | Link |
| 147411 | Spacer |
| 800128 | #4 Lockwasher |
| 800371 | Shoulder Screw |
| 800372 | Washer |
| 803102 | O-ring for 5 port adjustable feedthrough |
| 803261 | Washer for 5 port adjustable feedthrough |
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手册
Cool Drawer Sensor OM
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英文
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操作手册
Universal Safety Leaflet
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说明表
Instruction Sheet - CrystalTwo Switch (English)
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英文
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操作手册
3D文件
CDD-AF37 - Cool Drawer Standard Dual Sensor (Outline Model Rev. A)
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3D文件
CDD-AF38 - Cool Drawer Standard Dual Sensor (Outline Model rev.A)
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3D文件
CDD-AF38 - Cool Drawer Standard Dual Sensor _Outline Model rev.B
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CDD-AF38 - Cool Drawer Standard Dual Sensor _Outline Model rev.C
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3,9 MB
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3D文件
CDD-BF38 - Cool Drawer Right Angle Dual Sensor (Outline Model rev.A)
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3,7 MB
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3D文件
CDD-AF47 - Cool Drawer Standard Dual Sensor
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3D文件
CDD-BF47 - Cool Drawer Right Angle Dual Sensor
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其他
Techincal Note - Crystal Replacement (English)
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Technical Note - Cool Drawer (Maxtek) Sensor Head vs Temescal Sensor Head (English)
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Technical Note - Dual Sensor Head -Replacement of Bellows Assembly (English)
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Technical Note - Sensor Alignment (English)
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Technical Note - Use of Cool Drawer (Maxtek) Sensor Heads in a Sputtering Environment (English)
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英文
