热电离真空计
Trigon™ BAG552
中真空至超高真空单真空计
嵌入式选项
与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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优势
- 纯粹的 Bayard-Alpert 测量系统，适用于超高压和高压测量范围
- 双灯丝设计
- 电隔离电子设备，避免杂散电流
- 滑动发射模式，避免在切换发射流时出现压力跳跃和冻结现象
- 可移动校准数据芯片，延长了烘烤时间
- 设定点继电器
- 明亮大屏幕 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面
- 模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
- 可与 VGC50x 控制器系列配合使用
- 符合 RoHS 规范
典型应用
- 半导体工艺中的压力测量
- 工业镀膜
- 高真空至超高真空范围内系统的一般真空测量和控制
规格
| 测量范围 (气, O2, CO, N2) | 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar |
| 准确度 | |
| 1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar | ±15% 读数 |
| 可重复性 | 5% 读数, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (稳定 10 分钟后） |
| 暴露在真空中的材料 | 不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨 |
零件编号
备件
| 零件编号 | 描述 |
| 352-420 | BAG552 备用传感器头, 25KF |
| 352-421 | BAG552 备用传感器头, 40CF |
