热电离真空计

HPG400

大气压到高真空真空计

嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中，可测量 2×10^-6 mbar 至大气气压（1.5×10^-6 Torr 至大气气压）范围内的压力。HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量，实现精确控制镀溅过程压力。

好处

HPG400 可节省成本和工具空间，降低真空系统的安装与设置的复杂性
高压热电离可以准确可靠地测量 1 X 10^-5 至 1 mbar 范围内的压力，进而改善过程控制
用户可选的热电离发射在 5 X 10^-2 至 1 mbar 之间启动
皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
备有可选的图形显示器和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
符合 RoHS 标准

典型应用

半导体制造、电子工业和媒体工业中的溅镀应用
工业镀膜
低真空至高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

Measurement range (air, N₂)	mbar Torr	2×10^-6 … 1000 1.5×10^-6 … 750

Accuracy

10^-5 … 1 mbar	% of reading	±15 ⁽¹⁾

Repeatability

10^-5 … 10^-1 mbar	% of reading	2
10^-1 … 100 mbar	% of reading	30

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange	°C	80
Bakeout electronics removed	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	20 … 28 0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

(1) Accuracy from 10^-5 mbar to the selected hot ion emission on value

在此下载完整的规格

Part Number

Accessories

Spare Parts

Part Number	Description
353-520	HPG400 DN 25 ISO-KF
353-521	HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-522	HPG400 DN 40 CF-F
353-523	HPG400 LCD, DN 40 CF-F
353-525	HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-526	HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F
353-527	HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF
353-528	HPG400-SD DNet DN 40 CF-F

Part Number	Description
211-113	Centering ring with baffle DN 25 KF
353-511	Power supply BPG400 24VDC
357-499	Baffle HPG (10 pieces)

Part Number	Description
354-487	Spare sensor head HPG400, DN 25 ISO-KF
354-488	Spare sensor head HPG400, DN 40 CF-F

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HPG400 Datasheet

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手册

TINA31E1_Operating manual_long

pdf • 1,1 MB • 英文 • 操作手册

TIMA31E1_Operating manual_short

pdf • 307,4 KB • 英文 • 操作手册

TIMA32E1_Operating manual for SD_SP_short

pdf • 417,4 KB • 英文 • 操作手册

TIRA03E1_Communication Protocol for DeviceNet

pdf • 323,7 KB • 英文 • 操作手册

TIRA36E1_Communication Protocol for ProfiBus

pdf • 404,8 KB • 英文 • 操作手册

3D Step Files

353-520 HPG400 without LCD

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353-521 HPG400 without LCD

zip • 462,0 KB • 3D文件

353-522 HPG400 without LCD

zip • 452,1 KB • 3D文件

353-523 HPG400 with LCD

zip • 459,2 KB • 3D文件

353-525 HPG400-SP with PROFIBUS DP

zip • 467,4 KB • 3D文件

353-526 HPG with PROFIBUS DP

zip • 470,4 KB • 3D文件

353-527 HPG400-SD with DeviceNet

zip • 461,2 KB • 3D文件

353-528 HPG400-SD with DeviceNet

zip • 464,5 KB • 3D文件

354-487 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF

zip • 31,1 KB • 3D文件

354-488 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF

zip • 45,4 KB • 3D文件

其他

eds • 33,5 KB • 英文

HPG400 Float EDS

eds • 33,6 KB • 英文

HPG400 06A8 DPV1 GSD

GSD • 3,6 KB • 英文

该产品被用于以下市场

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