射频传感技术

此过滤器组合无法显示结果。
重新设置过滤器以获得结果。

954-Sion

射频传感技术

无创卡箍式射频检测仪可在 iPVD、PECVD 和蚀刻应用中实现高速电弧检测

便于改装到现有工具箱中
非侵入式传感器安装
高速数据采集 (250 kHz)
与 FabGuard 相集成的数据管理

1172-ADC100-Arc-Detector

射频传感技术

ADC100 系统连接至 DC 发电机，以实时检测等离子体电弧。这样就能中断晶圆过程，并将潜在硬件或产品损坏通知工程师。

FabGuard 传感器集成和分析系统可将软件集成到工具
每个通道 250 kHz 的数据采集频率
将定制电缆连接到大部分 DC 发电机
使用预定义分析工具快速检测电弧

筛选器 ()