电容式压力计

SKY® CDG100D

100°C温控，满量程0.1 ... 1000 Torr / mbar

嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

INFICON SKY CDG100D 压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG100D 真空计温度控制在 100 °C，具有卓越的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越，极具成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

好处

拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
诊断端口便于快速服务与维护
两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准
合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
化学和腐蚀性高温过程
需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

规格

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.1 Torr / mbar

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	30

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	30

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.4

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	130 / 30 ⁽³⁾

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

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手册

Brochure Vacuum Instrumentation with EtherCAT

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Brochure CDG100-200D

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数据表

SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar DE

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SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar

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SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar

pdf • 931,7 KB • 西班牙语 • 数据表

SKY® CDG100D 0.1 ...1000 Torr / mbar JA

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SKY® CDG100D 0.1 ... 1,000 Torr/mbar KO

pdf • 934,9 KB • 韩语 • 数据表

Datasheet_CDG100D-Torr-std_zh-cn

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尺寸图

CDG100D SKY Ordering information

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手册

Manual CDG100D 4-20 mA Current loop

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Communication protocol PROFINET

pdf • 874,8 KB • 英文 • 操作手册

Communication protocol EtherCAT new generation

pdf • 2,1 MB • 英文 • 操作手册

CDG100D Gebrauchsanleitung

pdf • 1,0 MB • 德语 • 操作手册

Gebrauchsanleitung CDG100D 4-20 mA Current Loop

pdf • 1,1 MB • 德语 • 操作手册

pdf • 1,0 MB • 英文 • 操作手册

CDGxxxD Communication manual RS232C

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CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C

pdf • 188,5 KB • 德语 • 操作手册

Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN

pdf • 474,8 KB • 英文 • 操作手册

Communication protocol EtherCAT

pdf • 972,1 KB • 英文 • 操作手册

Communication protocol PROFIBUS

pdf • 592,8 KB • 英文 • 操作手册

Manual CDG100D ZN

pdf • 1,3 MB • 中文 • 操作手册

3D Step Files

CDG100D_9DSUB_16CF

stp • 3,0 MB • 3D文件

CDG100D_9DSUB_tube

stp • 2,9 MB • 3D文件

CDG100D_9DSUB_4VCR male

stp • 3,1 MB • 3D文件

CDG100D_9DSUB_4VCR female

stp • 3,0 MB • 3D文件

CDG100D_9DSUB_8VCRf

stp • 2,1 MB • 3D文件

CDG100D_4-VCR male_P-Net

stp • 2,0 MB • 3D文件

CDG100D_4-VCR female_P-Net

stp • 1,9 MB • 3D文件

CDG100D_8-VCR female long_P-Net

stp • 1,9 MB • 3D文件

CDG100D_8VCR_long_ECAT_II

stp • 1,4 MB • 3D文件

CDG100D_9DSUB_16KF

stp • 2,9 MB • 3D文件

CDG100D 8VCR P-Net

zip • 235,4 KB • 3D文件

CDG100D 16KF P-Net

zip • 230,9 KB • 3D文件

CDG100D tube P-Net

zip • 231,6 KB • 3D文件

CDG100D 16CF P-Net

zip • 241,3 KB • 3D文件

CDG100D_4-VCR female

stp • 1,2 MB • 3D文件

CDG100D_4-VCR male_D-Net

stp • 5,1 MB • 3D文件

CDG100D_8-VCR female long_D-Net

stp • 5,0 MB • 3D文件

CDG100D_4-VCR male_P-Bus

stp • 5,0 MB • 3D文件

CDG100D_4-VCR female_P-Bus

stp • 4,9 MB • 3D文件

CDG100D_8-VCR female long_P-Bus

stp • 4,9 MB • 3D文件

zip • 151,3 KB • 3D文件

CDG100D 16CF D-Net

zip • 179,1 KB • 3D文件

CDG100D 16CF ECAT

stp • 1,4 MB • 3D文件

CDG100D 16CF P-Bus

zip • 177,9 KB • 3D文件

zip • 146,5 KB • 3D文件

CDG100D 16KF D-Net

zip • 176,1 KB • 3D文件

CDG100D 16KF ECAT

stp • 1,3 MB • 3D文件

CDG100D 16KF P-Bus

zip • 173,5 KB • 3D文件

CDG100D 4VCR D-Net

zip • 302,3 KB • 3D文件

CDG100D 4VCR ECAT

stp • 1,4 MB • 3D文件

CDG100D 4VCR female

zip • 258,0 KB • 3D文件

CDG100D 4VCR male

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CDG100D 8VCR D-Net

zip • 185,0 KB • 3D文件

CDG100D 8VCR ECAT

stp • 1,4 MB • 3D文件

CDG100D 8VCR female

zip • 156,2 KB • 3D文件

CDG100D 8VCR female long

zip • 259,4 KB • 3D文件

CDG100D 8VCR P-Bus

zip • 182,8 KB • 3D文件

zip • 146,0 KB • 3D文件

CDG100D tube D-Net

zip • 175,2 KB • 3D文件

CDG100D tube ECAT

stp • 1,3 MB • 3D文件

CDG100D tubeP-Bus

zip • 173,7 KB • 3D文件

Edge CDGxxxD2 8VCR EtherCAT

stp • 1,5 MB • 3D文件

Edge CDGxxxD2 tube EtherCAT

stp • 1,4 MB • 3D文件

Other

EtherCAT new generation ESI file CDG V2_0_0_0

zip • 10,5 KB • 日语, 英文

PROFINET GSDML File for CDGxxxD

zip • 3,1 KB • 英文

EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0

xml • 1,3 MB • 英文

Software EDS for CDGxxxD

zip • 7,6 KB • 英文

Software GSD for CDGxxxD

zip • 1,6 KB • 英文

该产品被用于以下市场

Analytical-Instrumentation-Navi

分析仪器市场为广大用户提供高度复杂的分析工具，涵盖不同应用场景和市场。INFICON与那些拥有最先进技术的制造商合作，帮助分析和识别最小的结构或元素组成，无论是气体、液体还是固体均在其适用范围内。

Display-Navi

INFICON汇聚尖端科技，实现最高质量的显示器产品

energy-market-navi

传统的石油和天然气生产在过去几十年中出现了需求的增长，并被发展中国家的人口增长、城市化和中产阶级的消费所推动。

Industrial-Manufacturing-Navi-2

其中，真空技术大多用于保证清洁的环境，并且在某些过程中需要维持真空以确保过程顺利实施。

Mobility_and_Automotive-Navi

移动和汽车

在一个不断发展的行业中进行可靠的泄漏测试。汽车行业的变化使泄漏检测变得更加重要。

Pharma_and_Medical-Navi

医药和医疗

提高生产力，帮助满足制药业的合规标准和质量要求

Research-and-Academia-Navi

研究与学术

通过基础研究揭开宇宙最深层的神秘面纱。今天的创新为您明天的技术研发提供动力

Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi

半导体IDM和晶圆代工厂

为支持广泛的应用而定制的传感器，确保产品安全、提高产量和最高生产力。

Vacuum_Coating-Navi

真空镀膜市场远远超出了光学领域，正在迅速扩展到十年前几乎无法想象的领域、行业和薄膜层。

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