电容式压力计

SKY® CDG100D

100°C温控，满量程0.1 ... 1000 Torr / mbar

嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

INFICON SKY CDG100D 压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG100D 真空计温度控制在 100 °C，具有卓越的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越，极具成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

优势

拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
诊断端口便于快速服务与维护
两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准
合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
化学和腐蚀性高温过程
需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

规格

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.1 Torr / mbar

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	30

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	30

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.4

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	130 / 30 ⁽³⁾

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

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手册

SKY® CDG100-200D Brochure

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Vacuum Instrumentation with EtherCAT 手册

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数据表

SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar DE

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SKY® CDG100D Datasheet

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SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar

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SKY® CDG100D 0.1 ...1000 Torr / mbar JA

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SKY® CDG100D 0.1 ... 1,000 Torr/mbar KO

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Datasheet_CDG100D-Torr-std_zh-cn

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尺寸图

CDG100D SKY Ordering information

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手册

CDG100D Gebrauchsanleitung

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Gebrauchsanleitung CDG100D 4-20 mA Current Loop

pdf • 1,1 MB • 德语 • 操作手册

SKY® CDG100D Operating Manual

pdf • 1,3 MB • 英文 • 操作手册

SKY® CDG045D-100D, Edge® CDG025D2-100D2, Stripe® CDG045Dhs-200Dhs EtherCAT New Generation Communication Protocol

pdf • 2,1 MB • 英文 • 操作手册

SKY® CDG045D-100D PROFINET Communication Protocol

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SKY® CDG100D 4-20 mA Current Loop Operating Manual

pdf • 1,1 MB • 英文 • 操作手册

Manual CDG100D ZN

pdf • 1,4 MB • 中文 • 操作手册

SKY® CDG025D-200D RS232C Communication Protocol

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SKY® CDG025D-200D RS232C Kommunikationsanleitung

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SKY® CDG045D-100D, Edge® CDG025D2-100D2, Stripe® CDG045Dhs-100Dhs EtherCAT Communication Protocol

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SKY® CDG045D-200D DeviceNet Communication Protocol

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SKY® CDG045D-200D PROFIBUS Communication Protocol

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3D Step Files

SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m P-NET

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f P-NET

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SKY® CDG100D 3D 16KF P-NET

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SKY® CDG100D 3D Tube P-NET

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SKY® CDG100D 3D 16CF P-NET

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m D-NET

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long D-NET

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m P-BUS

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-f P-BUS

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long P-BUS

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-f P-NET

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long P-NET

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long E-CAT

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SKY® CDG100D 3D 16CF 9DSUB

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m 9DSUB

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-f 15DSUB

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f 9DSUB

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SKY® CDG100D 3D 16KF 15DSUB

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SKY CDG100D 16CF D-NET

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SKY CDG100D 16CF E-CAT

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SKY CDG100D 16CF P-BUS

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SKY CDG100D 16KF 9DSUB

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SKY CDG100D 16KF D-NET

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SKY CDG100D 16KF P-BUS

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SKY CDG100D 4-VCR-f 9DSUB

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SKY CDG100D 4-VCR-f D-NET

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SKY CDG100D 8-VCR-f 15DSUB

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SKY CDG100D 8-VCR-f D-NET

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SKY CDG100D 8-VCR-f E-CAT

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SKY CDG100D 8-VCR-f long 15DSUB

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SKY CDG100D 8-VCR-f P-BUS

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SKY CDG100D tube 15DSUB

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SKY CDG100D tube 9DSUB

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SKY CDG100D tube E-CAT

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SKY CDG100D tube P-BUS

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Other

SKY® CDG045D, Edge®, EtherCAT New Generation ESI V2

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SKY® CDG045D PROFINET GSDML

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SKY® CDG045D EtherCAT ESI

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SKY® CDG045D Software EDS

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SKY® CDG045D Software GSD

zip • 1,6 KB • 英文

该产品被用于以下市场

Analytical-Instrumentation-Navi

分析仪器市场为广大用户提供高度复杂的分析工具，涵盖不同应用场景和市场。INFICON与那些拥有最先进技术的制造商合作，帮助分析和识别最小的结构或元素组成，无论是气体、液体还是固体均在其适用范围内。

INFICON汇聚尖端科技，实现最高质量的显示器产品

energy-market-navi

传统的石油和天然气生产在过去几十年中出现了需求的增长，并被发展中国家的人口增长、城市化和中产阶级的消费所推动。

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其中，真空技术大多用于保证清洁的环境，并且在某些过程中需要维持真空以确保过程顺利实施。

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移动和汽车

在一个不断发展的行业中进行可靠的泄漏测试。汽车行业的变化使泄漏检测变得更加重要。

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医药和医疗

提高生产力，帮助满足制药业的合规标准和质量要求

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研究与学术

通过基础研究揭开宇宙最深层的神秘面纱。今天的创新为您明天的技术研发提供动力

Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi

半导体IDM和晶圆代工厂

为支持广泛的应用而定制的传感器，确保产品安全、提高产量和最高生产力。

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真空镀膜市场远远超出了光学领域，正在迅速扩展到十年前几乎无法想象的领域、行业和薄膜层。

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