附件

HAPSITE® 服务模块

所有 HAPSITE 化学识别系统型号的支持功能

Service-Module

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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功能

  • 在英福康服务代表的指导下,用于现场替换NEG
  • 用作使用 NEG 为 HAPSITE 提供真空的替代或备份方法(即当 NEG 未安装或正在维修时)
  • 用于在 INFICON 服务代表的指导下执行 HAPSITE 故障排除操作
  • 作为 HAPSITE 使用备用电源
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