过程控制
Subfab and Facilities
智能底板控制，让工厂更环保
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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分舱和设施的故障检测与控制
我们的边缘计算 FabGuard 设备监控系统和人机界面可将设备和子设备组件与过程信息集成在一起。INFICON 与从过程设备收集的数据一起工作，可以管理和控制多个子工厂/设施组件。
优势
- 智能控制/节能
- 转向基于条件的消耗
- 监管合规和报告
- 提高 FDC 工具和流程的保真度
- 智能和预测性维护调度
连接流程与子设备/设施
FabGuard 使工程师能够从各种传感器、量具、设施和其他设备中收集数据，从而开发出业内最全面的过程工具视图。
- 泵： 驱动电流、温度、压力、清洗流量、振动、警报
- 减排： 气体消耗、运行值、警报
- 排气： 压差、温度、副产品沉积
- 加热器： 加热器电流/电压、温度
- 冷却器 流量、温度
将过程信息与子设备和设施数据相结合，可清楚地了解潜在的过程影响，并提供更好的控制方法。INFICON 使用 FabGuard 预测偏移、管理维护活动并确定节约成本的机会。
降低成本，绿色环保
在制造商努力将闲置时间降到最低的同时，设备闲置期也提供了一个将浪费降到最低的机会，从而降低成本，实现更加绿色的运营。
通过利用实时工厂调度和设备状态信息，FabGuard 可控制子设备和设施组件，最大限度地减少电力和耗材的使用。这包括使用绿色运行和闲置模式。
