真空计控制器

IM540

多功能热阴极电离无源真空计控制器

IM540
嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验!

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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真空计控制器 IM540 是一款多功能电离真空计控制器,可在 10-12 毫巴和大气压力之间提供完整的真空测量和控制。 根据不同的应用和用户需求,IM540 可结合多达 4 种不同的真空测量原理 - 皮拉尼真空计、电容式隔膜真空计、贝亚德-阿尔伯Bayard-Alpert特真空计和抽取式真空计,是您的一站式解决方案。该控制器可以可靠、完整地集成到复杂的过程控制系统中。

优势

  • 支持 IE414(Bayard-Alpert)和 IE514(提取器)热阴极电离规的操作
  • 可连接和操作 PSG5xx(皮拉尼)、PCG55x(皮拉尼-电容式隔膜)和 CDG(电容式隔膜)有源真空计系列中的两个有源真空计
  • 操作简单,可通过菜单引导显示进行参数、传感器或常规设置
  • 内置 RS232 通信接口,可选配 PROFIBUS DP 接口板 (IF 540 P)
  • 两个设定点(可选 7 个),带可调滞后
  • 高分辨率 - 16 位 A/D 转换器
  • 2 个可编程 0 至 10 V 图表记录器输出

量具概览

IE414
IE514
PSG5xx
PCG55x
CDG (e.g. CDG025D, CDG045D)
量规原理贝亚德-阿尔伯特,热阴极电离
压力范围2×10-11 ... 1×10-2 mbar (带模块化发射电流)
烘烤温度≤400 °C
量规原理提取器,热阴极电离
压力范围2×10-12 ... 1×10-4 mbar
烘烤温度≤400 °C
量规原理皮拉尼(主动测量仪类型)
压力范围8x10-4 mbar to ATM
烘烤温度≤80 / 250 °C (取决于型号)
量规原理皮拉尼电容隔膜(有源压力表型)
压力范围5×10-5 mbar to 1.5×103 mbar
烘烤温度≤80 / 250 °C (取决于型号)
量规原理电容隔膜(有源压力表类型)
压力范围4 个用户可选的压力范围
烘烤温度取决于型号

测量配置

通道 1 + 2
通道 3 + 4
仪器原理热阴极电离规
仪器型号IE414 (Bayard-Alpert)
IE514(提取器)
仪器原理活性量规:
皮拉尼
皮拉尼电容式隔膜 
电容隔膜
仪器型号PSG5xx 
PCG55x 
CDG (e.g. CDG025D, CDG045D) 

接口板

IF 540 P
IF 540 P
通信协议PROFIBUS 接口和继电器(1.5 A)

规格

IM540
IM540
测量通道4
显示液晶显示器,LED 背光
显示速率4 s-1
测量范围1 x 10-12 ... 1100  毫巴
测量单位(可选)mbar, Torr, Pa, hPa, Micron, V
测量范围切换自动或十进制预选
图表记录器输出对数 0 至 10 V(1 V / 分)或线性 0 至 10 V
界面RS232C、PROFIBUS(带 IF540P)
切换阈值 
(单次操作或间隔)
2 带浮动转换触点
电源90 ... 264 V (ac)
频率47 ... 63 Hz
运行温度+5 ... +40°C

部件编号

部件编号
配件
399-660IM540 真空计控制器
399-661IE414 DN 40 CF-F
399-676替换阴极 IE414
  
399-663IE514 DN 40 CF-F
399-677替换阴极 IE514
  
 接口板
399-670IF540P PROFIBUS DP 接口板
  
 测量头电缆至 IE414/514, 80 °C
399-6803 m
399-6815 m
399-68210 m
399-68550 m
  
 测量头电缆至 IE414/514, 200 °C
399-6863 m
399-6875 m
399-68810 m
399-69050 m

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