电容式压力计

Edge® CDG025D2

全量程 0.1 ... 1000 Torr / mbar

嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

带有 EtherCAT 的 INFICON 温度补偿型 Edge CDG025D2 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的极其准确的真空测量仪表。

成熟的温度补偿、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有无与伦比的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。先进的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还配有 EtherCAT 现场总线接口。

好处

易于集成，EtherCAT，各种满刻度和法兰，标配两个设定点
轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
诊断端口用于快速维修和维护
防腐陶瓷传感器
卓越的长期信号稳定性
温度补偿
传感器防污染保护
合规性与标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

刻蚀、PVD 和其他半导体制造过程
数据存储和显示制造设备
工业真空设备
常规高精度压力测量

技术规格

1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 10 Torr / mbar

1 Torr / mbar

0.25 Torr / mbar

0.1 Torr / mbar

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	30

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	30

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	30

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.25

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	130

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.5

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	130 / 30 (3)

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

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手册

Brochure Vacuum Instrumentation with EtherCAT

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数据表

Edge™ CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar DE

pdf • 463,1 KB • 德语 • 数据表

Edge™ CDG025D2 mit EtherCAT 0.1 … 1000Torr / mbar DE

pdf • 540,3 KB • 德语 • 数据表

Edge® CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000Torr / mbar

pdf • 1,0 MB • 英文 • 数据表

Edge™ CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000Torr / mbar ES

pdf • 580,1 KB • 西班牙语 • 数据表

Edge™ CDG025D2 EtherCAT 付き 0.1 … 1000Torr / mbar JA

pdf • 682,3 KB • 日语 • 数据表

Edge CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000Torr/mbar KO

pdf • 579,2 KB • 韩语 • 数据表

Edge CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000 托 / 毫巴 ZH

pdf • 672,2 KB • 中文 • 数据表

Edge CDG045D2 1 … 1000 托 / 毫巴 ZH

pdf • 607,5 KB • 中文 • 数据表

尺寸图

CDG025D2 dimension drawing

png • 176,1 KB • 德语, 日语, 韩语, 西班牙语, 中文, 英文 • 尺寸图

手册

Manual Edge CDG025D2 with EtherCAT DE

pdf • 929,0 KB • 德语 • 操作手册

Manual Edge CDG025D2 with EtherCAT

pdf • 913,3 KB • 英文 • 操作手册

Communication protocol EtherCAT

pdf • 972,1 KB • 英文 • 操作手册

CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C

pdf • 188,5 KB • 德语 • 操作手册

CDGxxxD Communication manual RS232C

pdf • 187,4 KB • 英文 • 操作手册

Communication protocol EtherCAT new generation

pdf • 2,1 MB • 英文 • 操作手册

3D Step Files

Edge CDGxxxD2 16CF EtherCAT

stp • 1,5 MB • 3D文件

Edge CDGxxxD2 16KF EtherCAT

stp • 1,4 MB • 3D文件

Edge CDGxxxD2 4-VCR-f

stp • 10,9 MB • 3D文件

Edge CDGxxxD2 4-VCR-m

stp • 11,0 MB • 3D文件

Edge CDGxxxD2 8VCR EtherCAT

stp • 1,5 MB • 3D文件

Edge CDGxxxD2 tube EtherCAT

stp • 1,4 MB • 3D文件

其他

EtherCAT new generation ESI file CDG V2_0_0_0

zip • 10,5 KB • 日语, 英文

EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0

xml • 1,3 MB • 英文

该产品被用于以下市场

Analytical-Instrumentation-Navi

分析仪器市场为广大用户提供高度复杂的分析工具，涵盖不同应用场景和市场。INFICON与那些拥有最先进技术的制造商合作，帮助分析和识别最小的结构或元素组成，无论是气体、液体还是固体均在其适用范围内。

Battery-Market-Navi

从电极生产到生产线终端EOL终端的测试

Display-Navi

INFICON汇聚尖端科技，实现最高质量的显示器产品

energy-market-navi

传统的石油和天然气生产在过去几十年中出现了需求的增长，并被发展中国家的人口增长、城市化和中产阶级的消费所推动。

HVACR-Navi

暖通空调/制冷

制冷和空调技术无疑是21世纪的重要课题之一。技术的有效性、能源效率以及最后但同样重要的最佳温度或最适气候（针对私人以及商业领域）非常重要。

Industrial-Manufacturing-Navi-2

其中，真空技术大多用于保证清洁的环境，并且在某些过程中需要维持真空以确保过程顺利实施。

Mobility_and_Automotive-Navi

移动和汽车

在一个不断发展的行业中进行可靠的泄漏测试。汽车行业的变化使泄漏检测变得更加重要。

Pharma_and_Medical-Navi

医药和医疗

提高生产力，帮助满足制药业的合规标准和质量要求

Research-and-Academia-Navi

研究与学术

通过基础研究揭开宇宙最深层的神秘面纱。今天的创新为您明天的技术研发提供动力

Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi

半导体IDM和晶圆代工厂

为支持广泛的应用而定制的传感器，确保产品安全、提高产量和最高生产力。

Vacuum_Coating-Navi

真空镀膜市场远远超出了光学领域，正在迅速扩展到十年前几乎无法想象的领域、行业和薄膜层。

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