传感器和馈入件

Easy Rate Single Sensor

Easy-Rate-Single-Sensor

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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经济型单传感器可使产出达到最高,同时最大限度地降低成本。这些传感器通过延长传感器使用寿命和减少维护达到最高的可用性,同时通过最低的初始投资和总拥有成本使生产成本降至最低。这些传感器非常可靠,它们的零件可在现场方便地更换。

INFICON 经济型单传感器为厚度监控应用提供成本效益最高的解决方案,可采用标准和直角方向,还可进行适当配置以包含带有或不带标准管接头的馈入件。

备注:经济型单传感器使用 4.8 毫米(3/16 英寸)外径水冷管。  它们与配备馈入件的 Ultra-Torr 不兼容,需要管接头才能焊接到具有 4.8 毫米(3/16 英寸)外径水冷管的标准馈入件。

功能

  • 最低的投资,最低的前期成本
  • 延长传感器寿命,降低总拥有成本
  • 以较少的维护实现最大的产量
  • 安装简便
  • 有标准和直角配置
  • 可选百叶窗
  • 可提供带或不带穿孔管接头的传感器/馈通组合

规格

最小水流时的最高工作等温环境温度400° C
晶体交换前置式;自成一体的包装,便于交换
水管S-304, 4.76 mm (0.188 in) OD x 0.51 mm (0.020 in.) 无缝不锈钢管的壁厚
馈通规格-1 in. 螺栓
材料304 stainless steel, Teflon®, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度操作环境为 300°C(带水冷)或 165°C (不带水冷)
安装1.015 in. ±0.010 in. 直径孔径
在此下载完整的规格

附件

辅料
易耗品
备件
命名描述
Easy Rate Sensor FeedthroughsEasy Rate Sensor Feedthroughs
命名描述
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals
零件编号描述
784-205-G1Crystal Retainer Assembly
784-204-G1Crystal Holder Assembly
784-403-P1Crystal Finger Spring
784-404-P1Retaining Ring
784-300-P1Crystal Holder
784-405-P1Holder Finger Spring
750-174-P2Female coax
080-011-P3SCREW 0-80 x .125 LG SLOT PAN HD SS GP
080-013#0-80 Split washer
784-209-G1Shutter Kit, Single (Unassembled Parts)
784-305-P1Easy Rate Single Sensor Shutter
784-206-G1Easy Rate Sensor Actuator Assembly
784-306-P1Easy Rate Sensor Actuator Clamp
084-054SSplit Washer #4 Stainless Steel Spare
084-027Socket Screw
783-500-023In-vacuum cable, 25.4 cm (10 in.)
783-500-024In-vacuum cable, 76.2 cm (30 in.)

零件號

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