製品情報
リークディテクション、ガス分析、真空技術などのソリューションを含む、多様な製品ポートフォリオを提供します。
結果を得るには、フィルタをリセットしてください。
産業用、温度補償付き
- 100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
- 電源投入後にすばやく安定
- 空気圧からのすばやい回復
- 耐腐食性に優れたセラミックセンサー
過酷なプロセス用途、温度補償付き
- 100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
- 電源投入後にすばやく安定
- 空気圧からのすばやい回復
- 耐腐食性に優れたセラミックセンサー
カレントループ、温度補償
- 100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
- 電源立ち上げ後の素早い安定性
- 大気圧からのすばやい回復
- 耐腐食性セラミックセンサ
差動対周囲温度 - 真空システム用安全スイッチ
- リーズナブルで信頼性の高い真空スイッチ
- 長寿命
- 堅牢な設計
- 統合が簡単
TEK-Checkは、環境状況に従い、5～9g/年（0.18～0.32オンス/年）の率でR134a冷媒を漏洩する コンパクト な参照リークソースです。
- R134a、R1234yf、R600aに使用可能
- リークディテクタのキャリングケースに収まるコンパクトサイズ
- 使いやすい
- 電池不要
耐久性に優れたワイヤレスパッケージで、冷媒の移動を確実に測定します。
- スマートフォンやタブレット、またはオプションのワイヤレスハンドピースでリアルタイムの測定値を表示します
- アラームモードにより、充電やリカバリーが容易に
- ポンド、ポンド/オンス、オンス、キログラムの単位で測定できます。
- 耐久性に優れた頑丈なアルミニウム製プラットフォーム
高温環境下でも業界トップクラスの回収率を実現。
- 1HPのデュアルピストンコンプレッサーで業界トップクラスの回収率を実現
- マイクロチャネルコンデンサーは、最大限の回収率を維持するために優れた熱交換を提供します。
- 大型ファンによる優れた冷却効果
- シンプルな2つのバルブ操作
優れた信号安定性、温度制御
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
高温用途、温度制御
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
高温用途、温度制御
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
リファレンス、真の高精度
- 高精度な圧力測定 – セラミックテクノロジー
- 完全に安定した出力 – PTBにより実証
- 柔軟なコミュニケーション – 様々な最新型インターフェース
- すべての機能を統合 – コントローラーは不要
EtherCAT、温度補償付き
- 簡単な統合、EtherCAT、幅広いフルスケール、フランジ、標準モデルは2点のセットポイント付き
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
- 耐腐食性セラミックセンサ
フットプリントが小さく、温度制御が可能
- コンパクトで、貴重なツールスペースを節約
- 統合が容易、EtherCAT、多様なフルスケールとフランジ、標準で2セットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
フットプリントが小さく、温度制御が可能
- コンパクトで、貴重なツールスペースを節約
- 統合が容易、EtherCAT、多様なフルスケールとフランジ、標準で2セットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
大きな性能と小さなサイズ
- 優れたスパン安定性 - ガス種に依存しない
- 耐腐食性アルミナセンサー
- コンパクト、クラス最小サイズ
- 簡単な統合、さまざまな方向で取り付け可能
優れた信号安定性、温度制御
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
OEM用ミニチュアセンサ
- 耐腐食性に優れた小型アルミナ（Al2O3）セラミックコーティングキャパシタンスダイアフラムセンサー
- 優れた再現性と長期安定性
- 統合と較正のカスタマイズが可能な溶接フィードスルー、または工場較正済みセンサー統合のためのカスタム溶接フランジ
- 容易な統合および安全な通信を可能にするSPIインターフェース搭載センサー電子回路
高速、温度制御
- 高い生産性 – 応答時間が2分以上速い (FS > 50m Torr)
- 柔軟な統合 – EtherCAT Fieldbus
- 長寿命 – 実績のあるセラミックセンサー
- 再較正が不要 – フルスケール範囲に基づいた安定性（90ppm/年）
高速、温度制御
- 高い生産性、2ms未満の反応時間
- 柔軟な統合 – EtherCAT Fieldbus
- 長寿命 – 実績のあるセラミックセンサー
- 再較正が不要 – フルスケール範囲に基づいた安定性（90ppm/年）
アブソリュートスイッチ - 正確で信頼性の高い圧力検知
- 耐腐食性、全ステンレス製
- 堅牢な設計、クリーンルーム仕様
- 工場初期設定または現場での調整が可能なセットポイントにより設置が簡単
電気スイッチング接点調整機能付き絶対圧スイッチ
- スイッチの高い精度 (± 0.1 mbar)
- 安定した長期オペレーション特性
- 頑丈で耐腐食性に優れたデザイン
差動スイッチ - 正確で信頼性の高い圧力検知
- 耐腐食性、全ステンレス製
- 堅牢な設計、クリーンルーム仕様
- 工場初期設定または現場での調整が可能なセットポイントにより設置が簡単
クラウドハンチングPPM表示、優れた感度、交換可能なセンサーで最高の汎用性を実現。
- ppm表示付きの革新的なクラウドハンターモードでリークテスターを今までよりも探しやすくなりました
- 新しい設計の赤外線センサーは、現場で簡単に交換可能
- クイックチャージリチウムイオンバッテリー
- CFCs、HCFC、HFCs、HFOs、ブレンド（A2Lを含む）、CO2*、可燃物*を検出します。
優れた感度と交換可能なセンサーにより、高い汎用性を実現。
- 赤外線センサーの設計を見直し、現場での交換が容易に
- 急速充電可能なリチウムイオンバッテリー
- CFC、HCFC、HFCs、HFO、ブレンド（A2Lを含む）、CO2*、可燃物*の検出が可能です。
充電式で誤作動の少ないヒートダイオードセンサー。
- 加熱式ダイオードセンサーで優れた感度を実現
- CFCs、HCFCs、HFCs、HFOs、ブレンド（A2Lsを含む）の検出が可能
- 充電式バッテリー
- 簡単な1ボタン操作
簡単な操作とヒートダイオードセンサーで誤報が少ない。
- 加熱式ダイオードセンサーで優れた感度を実現
- CFCs、HCFCs、HFCs、HFOs、およびブレンド（A2Lsを含む）を検出
- D-cell電池2本で動作
- 簡単な1ボタン操作
シンプルな操作性、優れた耐久性、優れた精度を実現しました。
- 耐久性に優れた計量台
- ポンド、ポンド/オンス、キログラムの単位で測定可能
- 簡単な操作
様々な用途に対応する汎用性・柔軟性
- 様々な用途や産業で使える安定性
- 圧力または真空下のあらゆるガスに対応
- 付属のヘッドフォンを使ってリークを聞くことができる
- レーザーポインターでリーク箇所を簡単に特定可能
可燃性冷媒や可燃性ガスの漏れを安全に検出します。
- 5ppmのメタンに感応
- 天然ガス、フォーミングガス、プロパン、ブタン、シクロペンタン、エタン、エタノール、イソブタン、アンモニアも検出します。
- R290、R600a、R441aなどの可燃性冷媒にも対応
- フォーミングガス（窒素95％、水素5％）を検出
便利で簡単な操作で、一酸化炭素の危険を簡単に検出できます。
- クラス最高の精度で安心
- 片手で操作できるシンプルな操作性
- 視認性に優れたストップライトLEDとアラーム音で、COの危険をすばやくお知らせします。
優れた精度とフィルターで保護されたセンサーで、現場の生産性を向上させます。
- 大気から1ミクロンまで測定可能
- 革新的なフィルターがセンサーを保護し、クリーニングの必要性を低減
- 60分後に自動シャットオフし、バッテリーを保護
- ピラニセンサーによる高精度測定
2段式ロータリーベーン5CFMポンプにより、15ミクロンまでの究極の真空を実現。
- 排気量5CFM
- 2段式ロータリーベーンポンプ、1/2 HPモーター搭載
- ガスバラストによる高速ポンピングとオイル交換回数の削減
- 二重電圧動作
リチウムイオン電池は、電気自動車や燃料電池の駆動用バッテリー、携帯通信機器、電動工具や医療機器など、現代生活の様々な場面で必要とされています。
- For easy integration into automated production processes
- Enables unmatched high measurement reliability- no leaks missed
- High sensitivity allows production of safe and long lasting lithium-ion battery cells
- Non-destructive leak testing for soft pouch cells
高性能四重極型質量分析計
- 9桁のダイナミックレンジ
- 業界トップクラスのデータ収集速度
- 交換可能なセンサーとエレクトロニクス
- 最大300amuまでスキャン可能
多目的四重極型質量分析計
- 9桁のダイナミックレンジ
- 交換可能なセンサーとエレクトロニクス
- オプションの連続ダイノード電子増倍管
- 最大200amuまでスキャン可能
極限PVDプロセスモニタリング四重極型質量分析計
- 業界トップクラスの最高使用圧力
- オプションの過圧隔離弁インターロック
- 最大100amuまでスキャン可能
ベースラインからプロセス圧力まで、多目的なプロセスモニタリングが可能です。
- 半導体プロセスモニターに最適
- マルチプレッシャーサンプリングインレット
- 1ppm以下の検出限界
- 差動ポンプ内蔵
目標圧力範囲でのプロセスモニタリング
- 対象となる高圧プロセス
- 単一圧力サンプリングインレット
- 1ppm以下の検出限界
- 統合された差動ポンプシステム
Transpector CPMをモバイルトラブルシューティング機器として使用可能
- 必要な場所にTranspector CPMを設置するための柔軟性
- 狭い場所にも設置可能な省スペース性
- Transpector CPMを動かすために必要なものをすべて収納できる完全なシステム
QMG 700 分析質量分析計は、検出の壁を打ち破り、プロセスを次のレベルのイノベーションに推進します。
- 質量範囲オプション 1-512 amu
- 9 decade以上のダイナミックレンジ
- 極めて高速の測定速度0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
重要なプロセス環境において、リアルタイムのリーク検出と終点検出を実現
- 10mTorrから1Torrの動作範囲
- 低 ppm レベルまでの優れた検出限界
- 長期的な信頼性：ポンプ不要
- 標準的なKF25接続による簡単な取り付け
INFICON の振動子は正確さと信頼度を100%テストされています
- 5および6 MHz
- 金、銀（高温ロードでのプロセス用）、そしてストレス減のアルミ合金（誘電材料と半導体プロセスでのオプティカルコーティング用）
- 3つの便利なパッケージオプション: クリーンルーム適応ディスペンサー、フラットパックディスペンサーとコンパクトボックス
- あなた仕様のサイズと周波数に製造されるカスタマイズ振動子
需要の高い最大の安定性
- 正確性
- 信頼性
- 安定性
- 利用できるさまざまな電極材料
非侵襲的なクランプオンRFディテクタによりiPVD、PECVDおよびエッチングにおいて高速なアーク検出を実現
- 既存のツールセットを容易に改装できる
- 非侵襲的なセンサー取り付け
- 高速データ収集 (250KHz)
- FabGuardでデータマネジメントを統合
ADC100システムは、DC電源に接続して、リアルタイムでプラズマのアーク放電を検出します。
- FabGuardセンサー統合および分析システムを通して、ソフトウェアをツールに統合
- チャンネルごとに250 kHzでデータ収集
- ほとんどのDC発電装置にカスタムケーブルで接続
- 定義済みの分析ツールによりアークを迅速に検出
信頼できるスニファーリークテスト
- I-Guideオペレーターガイドモードにより、オペレーターが適切な手法で正しい位置をテストする事を確実にする。
- オペレーターのエラーを防止する改善されたシステムデザインによりリークの見逃しを低減。
- マルチアラーム機能により、アラームが見過ごされないようにする。
- 内蔵 PRO-Check リファレンスリークにより、いつでも生産ラインにて容易で素早い較正が可能。
確実性と最速のスループットを実現するHIGH FLOW技術
- INFICON高フロー技術
- は比類のない測定の確度を実現します - 漏れの見逃しをストップします!
- アクセスしにくいエリアの漏れも見つけます
- 未経験のオペレーターが確実に漏れを見つけられるようにします
化学物質検知システム - 唯一のVOCや現場のSVOCを特定するポータブル型GC/MS
- 研究室のGC/MSデータと直接比較できるような確認結果を現場で高速に取得
- 汎用性のあるインターフェースによって、HAPSITEをハードウェア的に変更しなくても、アクセサリーによる拡張が可能
- 最小トレーニングでの基本スキルレベルでも可能なシンプル操作
- プローブの適正位置を視覚的に確認し、サンプル収集を最適化
Sensistor Sentrac水素リークディテクタは産業用の最新ディテクタです。
- 漏れ位置を容易に特定 - 高濃度水素トレーサーガスを使用し、高感度と卓越した性能を同時に実現
- 復旧時間が短いため、大きな漏れの検出時でも停止時間が短縮
- 低メンテナンスコスト - 可動部品なし
- ハンドプローブセンサーは使用者が簡単に交換できるため、稼働時間が最大限に伸ばせる
ポータブル Extrima リークディテクタは、ゾーン 0（Division 1 に対応）等の危険な場所を含む極めて過酷な環境におけるリーク検出において使用可能な本質的安全機器です。
- 事前のベント無しに爆発性環境へのエントリーが可能
- 最大 7 時間の電池容量
- 作動液と燃料に対する堅牢性と弾力性
- 高感度、高速応答、高速復帰
Sensistor XRS9012 水素リークディテクタは、通信ケーブルや給水管等のユーティリティー・サービスのリーク検出に最適な、高速かつ信頼性が高い堅牢なディテクタです。
- 直感的で使いやすい
- 防水機能とアルミ製ケースにより、過酷な環境における作業が可能
- 長い使用可能時間（13 時間）により、充電なしで終日の作業が可能
- 作業者が使いやすいよう、軽量かつ人間工学に基づいたデザインを採用
スニファーリーク検出に新たな標準を設定
- 向上したシステムデザインによって、不良なスニファー作動がなくなり、リーク見逃しの可能性が減少します
- IGS（妨害ガス抑制）はリークのみが検出されるようにします。
- 組込み式ECO-Checkレファレンスリークで、いつでも製造ラインでの校正が簡単で早い
- 複数警告でリークを見逃さない
最高品質の需要に応えたリークテスト
- コンパクトで軽量、スリム
- タッチスクリーンディスプレイ
- 多様な通信方法
- 高い信頼性
リーク検出のスピードと精度を定義
- すべての測定範囲においてリークへの高速レスポンスを確実にするI-CAL (Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rates)
- 優れた感度と応答性、そして素早いクリーンアップ性能を実現する為、すべての圧力範囲において高いヘリウム圧縮比と最適化された高いヘリウム排気速度を提供する特別なマルチインレット型ターボ分子ポンプ
- 大容量チャンバーを含むあらゆるテスト対象において、極めて高速な応答性能を実現するブースターターボ分子ポンプ
- 現場の実績で証明された、長期にわたり正確で高い再現性のある結果が得られるトラブルフリー/メンテナンスフリーデザインによるINFICON磁場偏向型質量分析計
- 自己防衛機能によりヘリウムや粉塵汚染からUL6000を保護、また自動パージサイクルによりUL6000をいつでも使用可能な状態にスタンバイ
困難なリーク検出作業にスピードと感度、信頼度
- 15桁以上の広範な測定範囲
- 短いポンプダウンおよび応答時間
- 可働型オールメタルハウジングにより、操作性を保ちながら取り扱いが簡便
- 全測定範囲におけるリークへの最高速の応答時間を保証する I-CAL (Intelligent Calculation Algorithm for Leak rates)
INFICONはLDS3000リークディテクタによって、リークテストシステムにおける成功の新たな段階を切り開きます。
- より小型で統合が容易
- Communicative Diversity
- 高い信頼性
高信頼性、インテリジェント、高再現性のプラットフォームによるヘリウム・リークテストが生産を最適化
- アップタイムを最大化する信頼性
- インテリジェントなデザインは測定の確実さを向上させる
- 自動テスト工程も簡単に設定可能
LDS3000 AQは、シンプルな蓄積チャンバ内でフォーミングガスまたはヘリウムを使用できる、初のリークディテクタです。
- 部品のリークテストを行うための、コスト効率のよいソリューション
- 真空チャンバーと同じほど信頼性の高い試験結果を、空気中での試験に近いコストで実現
- Industry 4.0統合のためのフィールドバスインターフェースにより、これから先も使用可能
- 温度と湿度を独立に測定するので、信頼性と再現性の高いテスト結果が得られる
Sensistor ISH2000水素リークディテクタのアクセサリであるAP29ECOを利用すれば、水素トレーサーガスによる自動リークテストが可能です。
- 条件の厳しい産業用途でも高い信頼性
- 半自動または全自動リークテスト用
- 維持が容易
- 容易なセンサー交換
新技術革新的なContura S400リークディテクタは、食品梱包機器と食品業界のメーカー全般に、MAP（調整雰囲気包装）や他のフレキシブル梱包の漏れ穴を見つける独自のソリューションを提供します。
- 小さなリークを数秒で検出（サイズ< 10 μm）
- 小さなヘッドスペースで梱包でもグロスリークを検出可能
- 測定結果の即時表示
- 測定結果の保管と評価
トレーサーガスを使用した漏れ試験では、試験対象にガスを充填する作業が必要です。
- 試験対象全体にトレーサーガスを確実に充填
- バックグラウンド汚染の防止
- 要求の厳しい産業環境に対応した設計
- 充填用・抜き取り用のデュアルポートで、サイクル時間を短縮
Sensistor ILS500 Fは、ツール操作機能とガス充填機能は装備していますが、リークディテクタユニットは含まれていません。
- 高品質のリーク検査に適したツーリングおよびガス充填機能
- 時間の掛かる手動トレーサガス充填が不要
- オペレーター依存性の減少。すべてのテスト段階における完全な制御
- テスト品質保証を大幅に改善
ガスインジェクション コンプリートキットはExtrima（防爆仕様水素リークディテクタ）のオプション品です。
- 航空機の燃料漏れの検査をより効率的に行うことができます。
- 1人の作業者のみで扱うことができます
- トレーサーガスボンベから漏れ位置までの間に必要な物が、すべて含まれています
- ディテクタを校正して測定値を常に正確に保ちます
Rwin®メタンリークディテクタは革新的な、ポータブルの天然ガス検出器で、ガスパイプの調査やガスのリーク検出を容易にします。
- IR技術によるメタン特異的測定
- GCとIRセンサーにより、天然ガスと沼気を区別
- 高速なエタンとプロパンの分析
- 内蔵された独自のIRセンサーシステムにより高感度、素早い反応、短い回復時間を実現
INFICONの較正済みテストリークは、ヘリウムスニファーリークディテクタProtec P3000(XL)が、リーク検出において最高品質の必要に応えられるように、テストと較正を可能にします。
- 工業用途に最適
- 使いやすい
- 異なる漏出率のものも利用可能
- DIN EN 10204:2004-3-3.-3.1に従う検査証明書を同梱
INFICONの較正済みテストリークは、冷媒スニファー リークディテクタが、リーク検出において最高品質の必要に応えられるよう、テストと較正を可能にします。
- 使いやすい
- 工業用途に最適
- 異なる漏出率のものも利用可能
- DIN EN 10204:2004-3-3.-3.1に従う検査証明書を同梱
真空アプリケーション用のガス貯蔵器付き較正テストリーク
- 汚染への慣れ
- 温度への依存性の低い、金属フリーのフローリダクション
- PTB証明書を有する較正済みリークとの比較による公称リーク率の決定
- DIN EN 10204:2004-3-3.1に従う検査証明書(同梱)
ヘリウムリーク試験システムの製造業者は、そのシステムのセットアップと較正のため、それぞれが特定のリーク率に調整された、様々なサイズの較正リークを必要とします。
- さまざまな顧客の要件に適合されたさまざまなタイプ
- 操作が簡単
- 設置しやすい
- 理想的な設置用寸法
calibrated test leaks enable to test and to calibrate refrigerant sniffer leak detectors for the highest quality demands in leak detection
- 工業用途に最適
- 使いやすい
- 異なる漏出率のものも利用可能
- DIN EN 10204:2004-3-3.-3.1に従う検査証明書を同梱
テスト対象物を正確に承諾/却下するためには、設定された基準に合わせて測定する必要があります。
- 工業用途に最適
- 使いやすい
- 異なる漏出率のものも利用可能
- NIST、NMIJ、NPL、PTBなどに遡る
Cygnus 2薄膜蒸着コントローラーは、実証済みのINFICONの薄膜コントローラーの性能と、OLEDプロセスを最大限に活用できるように設計された、ユニークな機能を組み合わせることにより、ひときわ優れた価値を提供します。
- INFICONのModeLock技術は最も安定であり、非常に低い蒸着速度であっても最高の分解能と膜厚計測を可能にします。
- Auto Z は、材料の蒸着が進むとともにZ比率を自動的に決定し、膜厚の精度を向上させる
- 6つのソースまで同時にコントロールできるので、単独で、または1台のCygnus 2と組み合わせることにより、2台または3台のコントローラーが必要とされる箇所に対応
- カラーTFT LCDディスプレイがプロセスで何が起きているかを見やすく表示
シングルまたはマルチレイヤー用の高度で低価格のコントロール
- シングルレイヤー対応モデルとマルチレイヤー対応モデルが利用可能
- 特許取得のModeLock技術が、モードホッッピングに由来する膜厚誤差を防止
- INFICONのCrystal 12®、Crystal Six®、およびデュアルセンサー自動振動子スイッチをサポートし生産力を最大化
PCI EXPRESSカードによる低コストの蒸着コントロール
- PCI Express
- 3センサー入力、3コントロール出力
- 複数のカードをPCに取り付け
- 複数ソースの共蒸着
8種類までの材料を同時に蒸着
- 8種類までの材料の蒸着を監視およびコントロール
- 蒸着速度0.1～10,000Å/秒
- EIESとQCM薄膜プロセスコントロールを統合
- リレー出力12とデジタル入力12
SQM-160は、実績あるINFICONの水晶振動子センサ技術を使って、薄膜蒸着プロセスにおける蒸着速度と膜厚を計測します。
- 標準構成で2つの計測チャンネル、オプションで4つ追加可能
- 蒸着速度/膜厚のアナログ信号出力
- 高分解能オプション：毎秒10回読み取りで0.03Hz
- RS-232 標準、USB またはイーサーネットオプション
STM-2XMは精度と柔軟なプログラミング、および容易な操作を組み合わせた低価格の2チャネルの速度/膜厚モニタです。
- 2つの計測チャンネル
- レート、レート逸脱、膜圧の4つのアナログ出力
- 8つのプログラム可能デジタル入力
- 8つのプログラム可能デジタル出力
STM-2は、USB接続の簡単さと、高精度測定エンジンの正確性を、小型で低価格のパーケージに組み合わせています。
- 低価格の装置
- USB接続
- 内部発振器
- 1秒あたり10回測定する高精度
Easy Rateシングルセンサは、コストを最小限に抑えながら、生産性を最大化できます。これらのセンサは、センサ寿命を長く、メンテナンスを少なくすることにより可用性を最大化します。
- Minimum investment with lowest upfront cost
- Lowest total cost of ownership from extended sensor life
- Maximum throughput with less maintenance
- Easy installation
INFICONの前面搭載型シングル振動子センサーは実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサーヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。
- 前面搭載振動子ホルダー
- 取り付けが容易
- 2.54 cm (1インチ)ボルトフィードスルー/CF40フィードスルーおよびとともに利用可能
- 圧力継手と一緒に注文すれば長さの調整が可能
INFICONの前面搭載型デュアル振動子センサは、実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。
- デュアル振動子
- 振動子シャッター
- 前面搭載振動子ホルダー
- 取り付けが容易
Cool Drawerシングルセンサーは振動子が横からセンサー内に取り付けられており、前面搭載の振動子を取り付けるにはスペースが足りない場合に便利です。
- 内部ケーブルなし
- Cool Drawer振動子ホルダー
- 取り付けが容易
- 溶接済みCF40フランジと一緒に注文すればベーク可能
Cool Drawerデュアルセンサは、真空チャンバ内に2つ目の振動子を置くことが望ましい、非常に重要なプロセスのためにデザインされています。
- デュアル振動子
- Cool Drawer振動子ホルダー
- 内部ケーブルなし
- 振動子シャッター
Easy Rateデュアルセンサにより、1つの振動子だけでは不十分なQCM用途に、シンプルで安価なソリューションを提供します。
- デュアル振動子
- 廉価
- 前面搭載の振動子ホルダー
- 振動子シャッター付属
INFICONのUHVベーク可能振動子センサーは実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサーヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。
- 高温ろう付けおよび溶接構造
- ベークアウト温度は450° Cまで
- 振動子シャッター (オプション)
- 前面搭載振動子ホルダー
ALDアプリケーションにおいて精度とアップタイムを最適化し、メンテナンスは最小限
- 大半のALD処理温度との互換性あり
- メンテナンスを大幅に削減
- システムのアップタイムを最大化
- 計測精度を最大化
INFICONのスパッタリングセンサはあらゆるスパッタリングプロセスで使用できるように特別に設計されています。
- 金メッキされたベリリウム銅センサー本体と冷却チューブが冷却効果を最大化
- 磁石により自由電子をモニター振動子からそらす
- 水チューブは曲げられて取り付けが簡単、センサー交換も柔軟に行える
- 振動子挿入は背面から行うので、取り替えが簡単
INFICONのCrystalSixセンサは、連続定格コントロールを要する長いプロセスに不可欠です。
- 6基の振動子を装着し、安定した自動切り替えによりプロセスアップタイムを最大化
- 振動子の切り替えは空気で操作されるため、振動子の温度が安定(他社製品は発熱するモーターを使用)
- 1/8インチチューブが熱安定性を維持し、柔軟なセンサー交換を可能にする
- オプションで振動シャッターもあり
振動子を自動的に切り替えて生産時間を最大効率化
- 12基の振動子を保持し、安定した自動切り替え方式によりプロセスのアップタイムを最大化
- 取り外しが簡単なカローセルで、12基の振動子を迅速に交換できる
- 振動子の切り替えは圧空で操作されるため、振動子の温度が安定 (競合品は発熱するモーターを使用)
要求の厳しい用途で水晶振動子の優れた性能を発揮
- 6つの振動子
- ポジションフィードバック(コントローラーに依存)
- 長さ調節可能（オプションのフランジによる）
- 堅牢な設計
NFICONは、多様な水晶振動子モニタ（QCM）センサフィードスルーを提供しており、多くのQCMセンサとチャンバ構成に対応します。
- 2.54 cm (1 in.) ボルトまたはCF40 (2.75 in. ConFlat®) スタイル入手可能
- Ultra-Torr Oリングコンプレッションフィッティング入手可能
- カスタムフィードスルー構成利用可能
- 要求に応じて他のフィードスルースタイルも利用可能
INFICONは、多様な水晶振動子モニタ（QCM）センサフィードスルーを提供しており、Easy Rate Sensorに対応します。
- 2.54 cm (1 in.) bolt or CF40 (2.75 in. ConFlat®) styles available
- Available with bored-through tube fittings
ATM To Medium Vacuum Gauge - High volume standard applications
- 操作が簡単な押しボタン式ATMおよびHV調整
- コンパクトで堅牢な設計
- アルミハウジング
- 取付け方向が自在
INFICONピラニゲージ強化型300 (PGE300)は、上位バージョンのPGE500と同じく、現市場において最も進んだデジタル対流強化ピラニ技術を採用しています。
- 対流強化型ピラニ技術により、測定範囲が広く、大気圧近くでも精度が高い
- ディスプレイ内蔵、1セットポイント、および3種類の選択可能なアナログ出力信号を特徴とする、オールインワンアクティブゲージ
- ユーザーフレンドリーな方法で較正と操作を行える、明るいデジタルLEDディスプレイ
- 3種類のオプションアナログ出力信号(ユーザー選択可能)
INFICONピラニゲージ強化型500 (PGE500)は、現市場において最も進んだデジタル対流強化ピラニ技術を採用しています。
- 対流強化型ピラニ技術により、測定範囲が広く、大気圧近くでも精度が高い
- ディスプレイ内蔵、2セットポイント、4種類のアナログ出力信号、および2系統のデジタルインターフェースを特徴とする、オールインワンアクティブゲージ
- 明るいデジタルOLEDディスプレイとキーパッドがあり、セットアップ、較正、操作が容易です。
- 4種類のオプションアナログ出力信号(3種類はユーザー選択可能、1種類はデフォルト)
INFICONピラニゲージ強化型050 (PGE050)は、アクティブ対流強化型のピラニゲージPGE300およびPGE500のパッシブバージョンです。
- 対流強化型ピラニ技術により、測定範囲が広く、大気圧近くでも精度が高い
- 金メッキタングステンフィラメント
- 機械的に頑強で堅牢性が高く、機械的衝撃や振動に強い
- フランジのオプションを選択可能
INFICONピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ（PCG55x）は、特許取得のINFICONセラミック製キャパシタンスダイアフラムセンサ技術とピラニゲージの利点をひとつに統合した製品です。
- 10 mbar以下のガス種非依存性 – あらゆる混合ガスに安全なベントを行います
- 大気圧で高い精度と再現性 – 信頼できる大気圧検知
- さまざまな方向で取り付け可能 ; ツール設計における開発の自由度が向上
- 腐食が起こりやすいアプリケーションに対し、タングステン（PCG550）、ニッケル（PCG552）フィラメントまたは完全セラミックコーティング（PCG554）センサーユニットが選択可能
INFICONシングルベイヤードアルパート熱陰極電離ゲージBAG402は、5 × 10-10～2.7×10-2 mbar (3.75 × 10-10～5 × 10-2 Torr)の測定範囲をカバーしています。
- 測定範囲は5×10-10 mbar～2.7×10-2 mbar (3.75×10-10 Torr～5×10-2 Torr)
- 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
- 過圧検出機構により、フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
- 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされた2本のイリジウムフィラメント
INFICONシングルベアード-アルパート熱陰極電離真空計BAG302は、1.3 × 10-9から6.7×10-2 mbar (1 × 10-9から5 × 10-2 Torr)の広い測定範囲をカバーしています。
- 測定範囲は1.3 × 10-9から6.7×10-2 mbar (1 × 10-9から5 × 10-2 Torr)
- 酸化イットリウムでコーティングされた、長寿命の2本のイリジウムフィラメントを標準装備
- ディスプレイを内蔵し、セットポイント機能とアナログ出力を備え、統合型のRS485デジタルインターフェースを標準装備した、オールインワンアクティブゲージ
- 明るいデジタルOLEDディスプレイとキーパッドを装備しており、セットアップ、操作、プログラミングが容易
INFICONのベアード-アルパートパッシブ真空ゲージヘッドBAG050、BAG051、BAG052およびBAG053は、INFICONの真空コントローラVGC083AおよびVGC083Bと組み合わせて使用できるように設計されています。
- 実証済みの、信頼性の高いゲージヘッドデザイン
- ほとんどの非被覆熱陰極電離ゲージヘッドに適合
- 幅広い放出電流に対応(100 μA～10 mA)
- シングル/デュアルのイットリア被覆イリジウムおよびデュアルタングステンフィラメント陰極アセンブリが利用可能
INFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG400は、1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10-10 mbarから大気圧(3.8×10-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。
- 5×10-10 mbar～大気圧(3.8×10-10 Torr～大気圧)の非常に広範囲な計測
- 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
- ピラニインターロック機構により、Bayard-Alpertシステムを、フィラメントが寿命前に焼き切れることや、高圧でのオペレーションで過剰に汚染されることから守ります。
- 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされたイリジウムフィラメント
NFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG402-Sは1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10-10から大気圧(3.8×10-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。
- 5×10-10 mbar～大気圧(3.8×10-10 Torr～大気圧)の非常に広範囲な計測
- 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
- ピラニインターロック機構により、フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
- 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされた2本のイリジウムフィラメント
INFICONベイヤード・アルパートピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ(トリプルゲージ™)BCG450は、コンパクトかつ経済的な1台のパッケージに3種類のテクノロジーを組み込み、プロセスと、5×10-10～1500 mbar（3.75×10-10～1125 Torrまで）の基準気圧を計測することができます。
- BCG450はコストとスペースを節約し、真空計測システムの取り付けとセットアップのる複雑さを軽減
- 10 Torr以上のガス種に依存しない気圧計測は、どのような混合ガスに対しても、より信頼できるロードロックコントロールを実現します。
- ピラニインターロック機構により、熱フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
- 自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
INFICONの高圧熱陰極ピラニゲージ、HPG400は、高圧熱陰極とピラニセンサを1台のコンパクトで経済的なパッケージにまとめ、2×10-6 mbar～大気圧(1.5×10-6 Torr～大気圧)までの圧力を計測できます。
- HPG400はコストとスペースを節約し、真空計測システムの取り付けとセットアップのる複雑さを軽減
- 高圧熱陰極電離ゲージは、1×10-5 … 1 mbarまでの圧力を、向上したプロセスコントロールによって計測し、正確で信頼できる結果を達成
- 5×10-2と1 mbarの間でユーザーが選べる熱陰極電離放出のアクチベーション
INFICON Gemini™ 逆マグネトロン真空計は、すべての真空計測用途向けの主力製品です（特許申請中）。
- Long lifetime in harsh environments
- 厳しい環境下でも長寿命を実現
- 磁気漂遊フィールドは発生しない
- メンテナンスフリー - 交換可能なインサート
INFICONの逆マグネトロンピラニゲージMPG400 とMPG401は、5 x 10-9 mbarから大気圧(3.8 x 10-9 Torrから大気圧)までを計測します。
- 逆マグネトロンとピラニの組み合わせゲージ
- 5 x 10-9から大気圧という広い計測範囲
- バーンアウトするフィラメントがない
- 優れた点火特性
冷陰極ゲージ - パッシブ
- 実証済みの、信頼性の高いゲージヘッドデザイン
- 150 °C (MAG050)または250 °C (MAG060)までベークアウト可能
- 優れた点火特性
- セラミックのフィードスルーによる耐腐食性
ガス分析を単純化して加速
- 最短の分析時間で
- 可用性を最大化
- ライセンスフリーのアクセス
- 容易に接続
きれいな水は生命に不可欠です。ますます多くの化学物質が環境に入り込むにつれて、水質の低下と、それに対応する健康への影響も大きくなっています。
- 自動化された試験によって労力とコストを削減
- 外部研究室での定期的な分析の頻度を少なくする
- 所有コストを引き下げる
- サンプル調製の必要がなく、メンテナンスも最小限ですむので、時間のむだを削減
現場で水中VOCの意思決定データ
- The only battery-operated insitu purge and trap system for field use with a GC/MS
- Integrated with the HAPSITE data system
- Modular, low-maintenance design for rugged environments
- Unique, robust purge and trap system for the most difficult applications
微量物質の定量VOC分析
- 遠隔地から収集したサンプルを迅速に解析
- 本質的に安全なサンプリングポンプのサンプルは爆発性環境で収集可能
- オプションのポータブル型サンプルポンプは呼吸ゾーンのモニタリングで摩耗することがあります
- TD調査分析は、数分以内に化学物質を特定するために、ガスクロマトグラフを迂回して、質量分析計に直接送ることができます。
到達しづらい場所または危険な環境で、拡張された範囲の化学物質を検出
- SPME調査を使用して高速サンプリング
- V剤と爆発物マーカーを含む低揮発性化合物で強化されたHAPSITE ER性能
- さらに良くなったポータビリティと可動性
- サンプリングのために数々の繊維を現場に持って行き、中心地で分析可能
現場で土壌と水、水中、汚水中、土中、固形廃棄物中の意思決定データを分析
- 現場で使用するための電池駆動ヘッドスペースサンプラー
- EPAメソッド8260に相当する結果
- 土壌、水、固体サンプルを解析するための便利なインレットシステム
- HAPSITEデータシステムと統合
- DN 10 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF
- DN 20 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 32 ISO-KF
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- DN 10 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF
- DN 20 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 32 ISO-KF
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DN 20-25 ISO-KF
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- DN 10 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF
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- DN 16 ISO-KF
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- DN 32-40 ISO-KF
- DN 10-16 ISO-KF
- DN 20-25 ISO-KF
- DN 32-40 ISO-KF
- DN 50 ISO-KF
INFICON ISO-KF fittings are manufactured according to ISO 2861/1, DIN 28403 and Pneurop 6606. Our quality fittings are the standard components for all vacuum and high vacuum applications. The high quality INFICON components are designed and tested for leak rates less than 1 x 10-9 mbar l/s.
DN 10-50 ISO-KF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 40 CF
- DN16 CF
- DN 63 CF
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- DN 16 ISO-KF
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- DN 40 ISO-KF
- DN 10 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
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- DN 25 ISO-KF
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- DN 10 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
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- DN 16 ISO-KF
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- DN 16 ISO-KF
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- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
- DN 50 ISO-KF
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- DN 10 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
- DN 50 ISO-KF
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- DN 16 CF
- DN 40 CF
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- DN 16 CF
- DN 40 CF
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- DN 40 CF
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- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
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- DN 20-25 ISO-KF
- DN 32-40 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
INFICON CF quality fittings are manufactured according to ISO 3669 and the latest TS/ ISO 3669-2 standard. INFICON Ultra high vacuum fittings are designed for applications down to 1 x 10-12 mbar and bakeout temperatures up to 400°C.
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 63 ISO-K / DN 63 CF
- DN 100 ISO-K / DN 100 CF
- DN 160 ISO-K / DN 160 CF
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- DN 160 ISO-K / DN 63 ISO-F
- DN 160 ISO-K / DN 100 ISO-F
- DN 200 ISO-K / DN 100 ISO-F
- DN 200 ISO-K / DN 160 ISO-F
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- DN 40 ISO-KF / DN 63 ISO-K
- DN 63 ISO-K
- DN 100 ISO-K
- DN 160 ISO-K
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- DN 100 ISO-K
- DN 160 ISO-K
- DN 200 ISO-K
- DN 250 ISO-K
- DN 320 ISO-K
- DN 10 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
- DN 50 ISO-KF
INFICON ISO-K quality fittings are manufactured according to ISO 1609, DIN 28404 and Pneurop 6606. Our quality large diameter fittings are the standard vacuum components for all vacuum and high vacuum lines.
- DN 63 ISO-K
- DN 100 ISO-K
- DN 160 ISO-K
- DN 250 ISO-K
INFICON ISO-K quality fittings are manufactured according to ISO 1609, DIN 28404 and Pneurop 6606. Our quality large diameter fittings are the standard vacuum components for all vacuum and high vacuum lines.
- DN 63 ISO-K
- DN 80 ISO-K
- DN 100 ISO-K
- DN 160 ISO-K
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- DN 63-100 ISO-K
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- DN 320-500 ISO-K
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- DN 630 ISO-K
- DN 10-16 ISO-KF
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- DN 63 ISO-K
- DN 80 ISO-K
- DN 100 ISO-K
- DN 160 ISO-K
- DN 200 ISO-K
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- DN 320 ISO-K
INFICON ISO-K quality fittings are manufactured according to ISO 1609, DIN 28404 and Pneurop 6606. Our quality large diameter fittings are the standard vacuum components for all vacuum and high vacuum lines.
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- DN 160 ISO-F
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- DN 100 ISO-F
- DN 160 ISO-F
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- DN 16 ISO-KF
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- DN 25 ISO-KF
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INFICON ISO-KF fittings are manufactured according to ISO 2861/1, DIN 28403 and Pneurop 6606. Our quality fittings are the standard components for all vacuum and high vacuum applications. The high quality INFICON components are designed and tested for leak rates less than 1 x 10-9 mbar l/s.
- DN 63 ISO-F
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- DN 25 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
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- DN 10-16 ISO-KF
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- DN 10 ISO-KF/G 3/8"
- DN 25 ISO-KF/G 1"
- DN 40 ISO-KF/G 1 1/2"
INFICON ISO-KF fittings are manufactured according to ISO 2861/1, DIN 28403 and Pneurop 6606. Our quality fittings are the standard components for all vacuum and high vacuum applications. The high quality INFICON components are designed and tested for leak rates less than 1 x 10-9 mbar l/s.
- DN 63 ISO-F
- DN 100 ISO-F
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- DN 50 ISO-KF
INFICON CF quality fittings are manufactured according to ISO 3669 and the latest TS/ ISO 3669-2 standard. INFICON Ultra high vacuum fittings are designed for applications down to 1 x 10-12 mbar and bakeout temperatures up to 400°C.
- DN 16 CF
- DN 40 CF
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- 2 kV
- 3 kV
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- 10 kV
- DN 10-16 ISO-KF
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- DN 200 ISO-K
- DN 250 ISO-K
- DN 320 ISO-K
- DN 400 ISO-K
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- DN 10-16 ISO-KF
- DN 20-25 ISO-KF
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- DN 32-40 ISO-KF
- DN 50 ISO-KF
- DN 10-16 ISO-KF
- DN 20-25 ISO-KF
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- DN 50 ISO-KF
- DN 10-16 ISO-KF
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- DN 32-40 ISO-KF
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- DN 10 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
- DN 50 ISO-KF
- DN 10 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
- DN 50 ISO-KF
- DN 10 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
- DN 50 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF/DN 63 ISO-K
- DN 50 ISO-KF/DN 63 ISO-K
- DN 40-ISO-KF/DN 63 ISO-K
- DN 50 ISO-KF/DN 63 ISO-K
- DN 40 ISO-KF/DN 100 ISO-K
- DN 25 ISO-KF/DN 63 ISO-K
- DN 16 ISO-KF/16 CF-F
- DN 25 ISO-KF/16 CF-F
- DN 16 ISO-KF/40 CF-F
- DN 25 ISO-KF/40 CF-F
- DN 40 ISO-KF/40 CF-F
- DN 40 ISO-KF/63 CF-F
- DN 40 ISO-KF/100 CF-F
- DN 16 ISO-KF / 1/4" VCR
- DN 25 ISO-KF / 1/4" VCR
- DN 25 ISO-KF / 1/2" VCR
- DN 40 ISO-KF / 3/4" VCR
- DN 16 ISO-KF / 1/4" VCR
- DN 25 ISO-KF / 1/4" VCR
- DN 25 ISO-KF / 1/2" VCR
- DN 40 ISO-KF / 3/4" VCR
- DN 16 ISO-KF / 6mm Swagelok®
- DN 25 ISO-KF / 10mm Swagelok®
- DN 40 ISO-KF / 16mm Swagelok®
- DN 16 ISO-KF / 1/8" Swagelok®
- DN 25 ISO-KF / 1/4" Swagelok®
- DN 40 ISO-KF / 1/4" Swagelok®
- DN 40 ISO-KF / 1/2" Swagelok®
- DN 10 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF / 1/8" NPT
- DN 16 ISO-KF / 1/4" NPT
- DN 25 ISO-KF / 1/8" NPT
- DN 25 ISO-KF / 1/4" NPT
- DN 25 ISO-KF / 1/2" NPT
- DN 25 ISO-KF / 1" NPT
- DN 40 ISO-KF / 1/4" NPT
- DN 40 ISO-KF / 1/2" NPT
- DN 40 ISO-KF / 1" NPT
- DN 16 ISO-KF / 1/8" NPT
- DN 16 ISO-KF / 1/4" NPT
- DN 25 ISO-KF / 1/8" NPT
- DN 25 ISO-KF / 1/4" NPT
- DN 25 ISO-KF / 1/2" NPT
- DN 25 ISO-KF / 1" NPT
- DN 40 ISO-KF / 1/4" NPT
- DN 40 ISO-KF / 1/2" NPT
- DN 40 ISO-KF / 1" NPT
- DN 40 ISO-KF / 1 1/4" NPT
- DN 40 ISO-KF / 1 1/2" NPT
- DN 40 ISO-KF / 2" NPT
- DN 10 ISO-KF
- DN 16 ISO-KF
- DN 20 ISO-KF
- DN 63-250 ISO-K
- DN 320-500 ISO-K
- DN 630 ISO-K
- DN 63 ISO-K
- DN 100 ISO-K
- DN 160 ISO-K
- DN 200 ISO-K
- DN 250 ISO-K
- DN 320 ISO-K
- DN 63 ISO-K
- DN 100 ISO-K
- DN 160 ISO-K
- DN 200 ISO-K
- DN 250 ISO-K
- DN 320 ISO-K
- DN 160/63 ISO-K
- DN 160/100 ISO-K
- DN 250/200 ISO-K
- DN 63 ISO-F
- DN 80 ISO-F
- DN 100 ISO-F
- DN 160 ISO-F
- DN 200 ISO-F
- DN 250 ISO-F
- DN 320 ISO-F
- DN 400 ISO-F
- DN 500 ISO-F
- DN 630 ISO-F
- DN 160 ISO-K / DN 63 ISO-F
- DN 160 ISO-K / DN 100 ISO-F
- DN 200 ISO-K / DN 100 ISO-F
- DN 200 ISO-K / DN 160 ISO-F
- DN 250 ISO-K / DN 160 ISO-F
- DN 100 ISO-F
- DN 160 ISO-F
- DN 200 ISO-F
- DN 250 ISO-F
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- DN 200 CF
DN 250 CF
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- DN 200 CF
- DN 250 CF
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 64 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- DN 200 CF
- DN 250 CF
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- DN 200 CF
- DN 250 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- DN 16 ISO-KF / 16 CF-F
- DN 25 ISO-KF / 16 CF-F
- DN 16 ISO-KF / 40 CF-F
- DN 25 ISO-KF / 40 CF-F
- DN 40 ISO-KF / 40 CF-F
- DN 40 ISO-KF / 63 CF-F
- DN 40 ISO-KF / 100 CF-F
- DN 63 ISO-K/DN 63 CF
- DN 100 ISO-K/DN 100 CF
- DN 160 ISO-K/DN 160 CF
- DN 63 ISO-F
- DN 100 ISO-F
- DN 160 ISO-F
- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
- DN 50 ISO-KF
- DN 16 CF-F
- DN 40 CF-F
- DN 40 CF-F
- DN 63 CF-F
- DN 100 CF-F
- DN 160 CF-F
INFICON offers a wide range of industrial approved viewports which fit into all applications where a view port is needed.
CAF 4
C 100
- Apezon M
- Dow Corning
- FU 090
- FM 090
- OL 090
- DYNAFAT
The available flange designs ISO-KF / ISO-K and CF corresponds to our fitting line. All feedthroughs are suited to work in vacuum systems with leak rates up to 1 x 10-9 mbarl/s. For UHV an all metal designed feedthrough is also available.
The available flange designs ISO-KF / ISO-K and CF corresponds to our fitting line. All feedthroughs are suited to work in vacuum systems with leak rates up to 1 x 10-9 mbarl/s. For UHV an all metal designed feedthrough is also available.
The available flange designs ISO-KF / ISO-K and CF corresponds to our fitting line. All feedthroughs are suited to work in vacuum systems with leak rates up to 1 x 10-9 mbarl/s. For UHV an all metal designed feedthrough is also available.
INFICON offers economical priced ISO-KF flange feedthroughs which can be found in all standard vacuum applications all over the world for many years. In addition to this feedthroughs a choice of connectors for vacuum and atmosphere side of vacuum chamber is configured.
- For H2O and LN2
- Thermical insulated
- Specially suited for very hot and very cold applications
- 2011/65/EU RoHS compliant
The available flange designs ISO-KF / ISO-K and CF corresponds to our fitting line. All feedthroughs are suited to work in vacuum systems with leak rates up to 1 x 10-9 mbarl/s. For UHV an all metal designed feedthrough is also available.
INFICON offers economical priced ISO-KF flange feedthroughs which can be found in all standard vacuum applications all over the world for many years. In addition to this feedthroughs a choice of connectors for vacuum and atmosphere side of vacuum chamber is configured.
INFICON offers economical priced ISO-KF flange feedthroughs which can be found in all standard vacuum applications all over the world for many years. In addition to this feedthroughs a choice of connectors for vacuum and atmosphere side of vacuum chamber is configured.
INFICON offers economical priced ISO-KF flange feedthroughs which can be found in all standard vacuum applications all over the world for many years. In addition to this feedthroughs a choice of connectors for vacuum and atmosphere side of vacuum chamber is configured.
OEM用ミニチュアセンサ、デュアルセンサ
- 微型氧化铝（Al2O3）陶瓷涂层电容膜片传感器具有高度的耐腐蚀性，湿润表面符合UHP标准
- 范围广，精度高
- 优异的重复性和长期稳定性
INFICONのAugentTM光学プラズマゲージは、真空監視のためのコンパクトでインテリジェントなソリューションです。
- 高速リーク検出によるチャンバーリークテスト
- 生産性と歩留まりの向上
- 長寿命、フィラメント焼けなし、エアインラッシュ保護
- 耐プロセス化学性
INFICONのピラニゲージ強化型（PGE）DeviceNetバージョンは、市場で入手可能な最新のデジタル対流強化型ピラニ技術を搭載しています。
- 対流強化型ピラニ技術により、大気圧付近での広い測定範囲と高い精度を実現
- 内蔵ディスプレイ、2つのセットポイント、デジタルDeviceNetインターフェースを
- 備えたオールインワンのアクティブゲージ
新しいINFICONのピラニ・ピエゾコンビネーションゲージ（PPG550）は、最も進んだMEMS（Microelctromechanical Systems）センサ技術に基づくものです。
- 2mbar以上でガス種に依存せず、あらゆる混合ガスで安全なベントが可能
- 大気圧での高い精度と再現性 信頼性の高い高速な大気圧検出
- マウント方向が多彩で、
- ツール設計に自由度を提供
新しいINFICON Pirani Piezoコンビネーションゲージ（PPG570）は、入手可能な最も進んだMEMS（Microelctromechanical Systems）センサ技術に基づいており、これは当社のPPG550 "ATM to Medium Vacuum" ゲージでも使用されています。
- 2mbar以上のガス種に対応 - あらゆる混合ガスで安全なベントが可能
- 大気圧での高精度と再現性 - 信頼性の高い高速大気圧検出
- 大気圧周囲圧測定
INFICON CDG製品ラインと接続し、4桁ディスプレイを実現
- 4 Digit display for easy read out
- Large 10mm active LED display -
readable from distance and wide range gauge of angle - In-line plug design
- 15pin D-Sub, no extra power connection
倒立型マグネトロン真空計MAG470は、あらゆる超高真空アプリケーションに対応します。測定範囲は5x10-11mbarから1x10-2mbarです。
- フィラメントの焼損なし
- 拡張バージョン、センサーベークアウト250℃まで
- 優れた着火性
- 洗浄が容易
HAPSITE CDTは軍や民間人、危険物対応チームに多様性を提供し、麻薬や化学兵器剤（CWA）、第4世代剤（FGA）、爆発物、有毒工業化学物質の脅威を現場で特定および定量化して、重要な健康リスク評価をすばやく開発します。
- 感度/トレースレベル検出
- 拡張質量範囲/麻薬・FGA/Aシリーズ検出
- カートリッジ濃縮器/ポータブル収集
Micro GC Fusionはウェブベースのユーザーインターフェイスを採用しており、従来のソフトウェアと比較していくつかの新しい利点を備えています。各機器にはライセンスフリーのソフトウェアが組み込まれているため、インストールは不要です。
- オペレーティングシステムに依存しない
- ライセンスフリー
- すべての機器に内蔵
- インストール不要
マイクロGCアプリケーションのために、試料温度を維持し、圧力を下げます。
- Micro GC Fusionに簡単に取り付けられます。
- フィルター交換を容易にするサイドドア
- クイックコネクトフィッティングを使用することで、サンプリングが容易に
HAPSITE® サービスモジュールは、すべてのHAPSITE化学物質検知システムモデルに対してサポート機能を提供します。
- Used to replace NEG on-site with guidance from an INFICON Service representative
- Used as an alternative or backup method to using a NEG to provide vacuum for HAPSITE (i.e. when the NEG is not installed or is being serviced)
- Used to perform HAPSITE troubleshooting operations with guidance from an INFICON Service Representative
- Used an alternate power source for HAPSITE
機能豊富なIC6は可能な限り最高の計測精度を提供します
- NFICONのModeLock技術は、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと厚みの計測を可能にします
- 自動Zは、材料が蒸着されるときに自動的にZ比率を決定することによって、厚みの正確さを向上させる
- 最大6つのソースを同時にコード化することが可能
高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる
- NFICONのModeLock技術は最長の振動子寿命を提供し、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと膜厚計測が可能なようにします
- 可能な限り最高のQCM膜厚計測で歩留まりを最大化
- コストを最小限に抑えるため、不必要な機能を追加しないシングルチャンネルレートと膜厚モニター
高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる
- INFICONのModeLock技術は最長の振動子寿命を提供し、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと膜厚計測が可能であることを保証します。
- 可能な限り最高のQCM膜厚計測で歩留まりを最大化
高精度な速度・厚みモニターで利益を守り成長させる
- リアルタイム、in situプロセスモニタリング
- オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定
- 装置またはプロセス状態の不具合の特定
高精度なレートと膜厚のモニタリングで利益を保護し成長させる
SemiQCM™ SRセンサはプリカーサモニタリングシステムの1つで、他のコンポーネントはIMM-200とFabGuard（バージョン19.12.00-aまたはそれ以上）です。
- リアルタイム、in situプロセスモニタリング
- オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定
- 装置またはプロセス状態の不具合の特定
大きく読みやすいLCDディスプレイは、漏水箇所を正確に特定するだけでなく、PPMの読み取り値を使って漏水の大きさを定量化するのに役立ちます。
- R134a、R1234yf、すべてのHFC、HFO、ブレンドを検出
- 自動車用ACリーク検出のためのSAE規格に全て適合
- 赤外線センサーが一般的なボンネット内の化学物質による誤報を最小限に抑える
- PPMとピンポイントモードはリークをより早く見つけるのに役立ちます。
誤報が少なく、感度に優れた赤外線センサーを採用。
- R-134a、R-1234yf、およびすべてのHFC、HFO、および混合物を検出します。
- 自動車用ACリーク検出のためのすべてのSAE規格に適合
- 赤外線センサーにより、一般的なボンネット内の化学物質による誤報を最小限に抑えます。
- オプションのCO2センサーと互換性あり
簡単な操作と実績のある加熱式ダイオードセンサーで確実なリークチェックを実現。
- 2 g/a の感度 (EN 14624 による)
- R134a、R1234yf、およびすべてのHFC、HFO、およびブレンドを検出
- 標準的な自動車用リークディテクターよりも誤報が少ない
- 2つのD-cellバッテリーで作動
水素を発生させるガスで、安全かつ簡単にリークチェックを行うことができます。
- フォーミングガスと可燃性ガスを検出
- フォーミングガス（R134a相当）に対して7g（0.25オンス）/年の感度を持つ。
- 本質安全防爆仕様
- Dセル電池2本で動作
シンプルで信頼性が高く安全なソリューションで、ほとんどの冷媒ガスに対応し、広いエリアのスタンドアロン常時監視が可能です。
- すべてのCFC、HFC、HCFC、HFOを検出します。
- 最大6個のリモートセンサーと連動
- 低メンテナンス、シングルポイント校正
- 3つのアラームセットポイントを調整可能
- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
あらゆる冷媒ガスのスタンドアローン常時監視のためのシンプルで信頼性の高い安全なソリューション
- すべてのCFC、HFC、HCFC、HFO、HC、CO2、NH3を検出します。
- リモートおよび統合センサーオプション
- 低メンテナンス、シングルポイント校正
- 3つのアラームセットポイントを調整可能
半導体アプリケーションのリークチェックのニーズに合わせて設計されています。
- 10-9～10-12 mbar-l/sの範囲で高速測定を行うI-CALソフトウェア・アルゴリズムで時間を短縮
- 高い測定感度を維持しながら、バックグラウンドの高速抑制のために改良されたインテリジェント機能を持つI-ZERO 2.0を使用した最も効率的なリークチェック
- 真空およびスニファーリークサーチに適用可能
- DN 16 ISO-KF
- DN 25 ISO-KF
- DN 40 ISO-KF
- DN 50 ISO-KF
- DN 63 ISO-K
- DN 80 ISO-K
- DN 100 ISO-K
- DN 160 ISO-K
- DN 200 ISO-K
- DN 250 ISO-K
- DN 320 ISO-K
- DN 400 ISO-K
- DN 500 ISO-K
- DN 630 ISO-K
UL1000, UL1000 Fab, UL3000 Fab/ULTRA, UL5000, UL6000 Fab/PLUS, MODUL1000用リモートコントロール。
- ワイヤレスで最大100m、有線で最大28m操作可能
- 電池寿命8時間以上
- フルカラー3.5インチタッチスクリーンディスプレイ
- 数字で表示するリーク率、チャートモードまたはバーグラフモード
INFICON T-Guard2リーク検出センサは、高価なハード真空ヘリウムリーク検出と、ウォーターバスや圧力減衰の ような低感度リークテスト方法との間のギャップを縮めます。
- 低い運用コスト
- 製品の特性を制限しない
- すべてのリークを確実に発見する
- 簡単な操作性
Most advanced digital Pirani technology, compact size and the variety of features.
- Available with Tungsten (PSG550) or Nickel (PSG552) filament or with a fully ceramic coated (PSG554) sensor unit for highly corrosive applications
- Optional display, setpoints and digital interfaces
- Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
- Easy to exchange plug & play sensor element with on-board calibration data - guarantees high reproducibility and low cost of ownership
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
- DN 200 CF
- DN 250 CF
- DN 16 CF
- DN 40 CF
- DN 63 CF
- DN 100 CF
- DN 160 CF
加工測定、コントロール、データログ用持続可能ソリューション
Designed for use with passive gauge heads BAG05x and PGE050.
Designed for use in conjunction with the PGE050.
INFICON ISO-K quality fittings are manufactured according to ISO 1609, DIN 28404 and Pneurop 6606. Our quality large diameter fittings are the standard vacuum components for all vacuum and high vacuum lines. The high quality INFICON fittings are designed and tested for leak rates less than 1 x 10-9 mbar l/s.
renowned standard when it comes to economic helium vacuum leak testing in industrial or semiconductor environments
- 速いポンプダウンとレスポンス時間によりリークテスト検査の手間を最小限に低限
- 選択可能なバックグラウンド抑制機能（iZERO) を用いて、複数回のリークテストが不要
- 高い操作性の設計により、限られたスペースでのメンテナンス箇所への簡単なアクセスを可能
- 堅牢なダブルホットフィラメントイオンソース（3年間保証）と逆拡散方式システムにより総コスト（TCO）を削減
- 回転式のディプレイ、視覚および聴覚によるリーク量表示、そしてオプションのハンドリモコン操作による簡易操作を実現
会社概要
INFICONは半導体、真空、および産業市場向けの高度な技術と製品を提供する一流企業です。当社の製品ポートフォリオには、お客様独自のニーズを満たすためにデザインされた、幅広い革新的なソリューションが含まれています。
当社が得意とする主要分野のひとつがリークディテクションで、冷凍空調システム、産業ガス、真空システムなど、さまざまなアプリケーションのリークを検出・測定できる製品を多数提供しています。
また、ハロゲン、六フッ化硫黄、冷媒などさまざまなガスを検知・測定できるガス分析装置も提供しています。
さらに、研究開発、製造、分析機器などの用途に使用される高度な真空技術製品も提供しています。
さらに、製品だけでなく、お客様をサポートするための包括的なサービスも提供しています。これには、メンテナンス、修理、校正サービスのほか、トレーニングや教育も含まれます。当社の教育コンテンツは、お客様が当社製品を使用する際のベストプラクティスやテクニックを理解するためのものであり、当社の経験豊富なエンジニアチームが常に専門的なサポートとガイダンスを提供しています。