1. UL6000 Fab Series
Helium Leak Detector

UL6000 Fab Series

リークテストの速度と精度の基準を設定します。

UL6000-Fab-PLUS

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information

You can unsubscribe from these communications at any time. For more information please review our Privacy Policy.

Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
Your configuration has been successfully sent!
Back

INFICONのUL6000ヘリウムリークディテクターは最も重要で需要が大きいリーク検出作業に適するようデザインされています。INFICON独自のソフトウェアアルゴリズムI-CAL と、現場で証明されてきた真空デザインHydro-Sの特性を生かしたUL6000は、テストにおける柔軟性、高感度、速くて正確な結果を実現し、あらゆるリーク検出作業を迅速かつ簡単にします。

 The UL6000は全計測範囲ですばやく反応し、テスト条件と最終結果に到るサイクル時間を大幅に短縮します。特別にデザインされた真空設計はヘリウムポンプスピードを高く保ち、必要とされる時間に非常に迅速に反応します。

利点

  • HYDRO-S（HYDROgen-Suppression）による素早いテスト条件の達成
  • UL6000 Fab PLUS - Additional Advantages
    • Featuring I·RISE, our intelligent rate-of-rise: Provides in-device pressure increase testing combined with helium spraying method
    • Rate-of-rise measurements in under 10 seconds
    • Helps minimize general time for leak testing and fab equipment maintenance
    • More speed, more precision
  • すべての測定範囲においてリークへの高速レスポンスを確実にするI-CAL (Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rates)
  • 優れた感度と応答性、そして素早いクリーンアップ性能を実現する為、すべての圧力範囲において高いヘリウム圧縮比と最適化された高いヘリウム排気速度を提供する特別なマルチインレット型ターボ分子ポンプ
  • 大容量チャンバーを含むあらゆるテスト対象において、極めて高速な応答性能を実現するブースターターボ分子ポンプ
  • 現場の実績で証明された、長期にわたり正確で高い再現性のある結果が得られるトラブルフリー/メンテナンスフリーデザインによるINFICON磁場偏向型質量分析計
  • 自己防衛機能によりヘリウムや粉塵汚染からUL6000を保護、また自動パージサイクルによりUL6000をいつでも使用可能な状態にスタンバイ
  • 回転式ディスプレイ/制御インターフェース、およびオプションのリモート手動コントローラーによる柔軟な操作性
  • 権限のないユーザーのアクセスや、テスト設定へ意図しない変更を防ぐため、ユニットとシステムソフトウェアはソフトウェアを通してアクセスをコントロール
  • メールによるソフトウェアアップデートで、UL6000 の最適なパフォーマンスを維持
  • テスト時の利便性のために ESD マットおよび工具箱を含む最適な高さの作業面によるワークステーションデザイン

標準的なアプリケーション

  • 半導体およびフラットパネルディスプレイで利用されるコンポーネント、サブアセンブリおよび大型チャンバーのリークテスト
  • 半導体、フラットパネル装置のリークテスト
  • 航空宇宙関連コンポーネント、サブアセンブリおよびシステムのリークテスト
  • 貯蔵容器/貯蔵タンクのリークテスト

仕様

UL 6000 Fab
UL 6000 Fab PLUS
Min. detectable leak rate for helium (vacuum method)mbar∙L/s<5∙10-12 
Min. detectable leak rate for helium (sniffer mode)mbar∙L/s<5∙10-8
Max. inlet pressure (MASSIVE mode) atm (~1013 mbar)
Type of roughing pump roots
Max. pumping speed of roughing pumpm³/h>36
Pumping speed @ inlet (100-1000 mbar) m³/h23 
Pumping speed @ inlet (10-100 mbar and 1-10 mbar)m³/h26
Max. Helium pumping speed (ULTRA Mode)L/s>36
Max. helium pumping speed DN63 reduced to DN40L/s~ 30
Evacuation Time to 1 mbar 50 Ls52
Response time for 50 Ls1.4
Evacuation time to 1 mbar 50 L s52
Evacuation time to 1 mbar 100 L* s104
Evacuation time to 1 mbar 500 L* s527
Evacuation time to 1 mbar 1000 L* s1054
Venting 50 L to atm. 16 ss16
Run up time for operationmin<2
Time for calibration s<30 s
Inlet flange DN63 ISO-K
Detectable masses (ULTRATEST Sensor Technology)  2,3,4 (H2, 3He, He)
Supply voltage  V100 to 230, 50/60 Hz
Max. Power Consumption VA1500
Typ. Power ConsumptionVA700
Weightkg143
Dimensions (LxWxH)mm
in.		1050x427x1040
42x21x41
*extrapolated  
Min. detectable leak rate for helium (vacuum method)mbar∙L/s<5∙10-12 
Min. detectable leak rate for helium (sniffer mode)mbar∙L/s<5∙10-8
Max. inlet pressure (MASSIVE mode) atm (~1013 mbar)
Type of roughing pump roots
Max. pumping speed of roughing pumpm³/h>36
Pumping speed @ inlet (100-1000 mbar) m³/h23 
Pumping speed @ inlet (10-100 mbar and 1-10 mbar)m³/h26
Max. Helium pumping speed (ULTRA Mode)L/s>36
Max. helium pumping speed DN63 reduced to DN40L/s~ 30
Response time for 50 Ls1.4
Evacuation time to 1 mbar 50 L s52
Evacuation time to 1 mbar 100 L* s104
Evacuation time to 1 mbar 500 L* s527
Evacuation time to 1 mbar 1000 L* s1054
Venting 50 L to atm. 16 ss16
Run up time for operationmin<2
Time for calibration s<30 s
Time for rate-of-rise measurement (I·RISE)s<10
Inlet flange DN63 ISO-K
Detectable masses (ULTRATEST Sensor Technology)  2,3,4 (H2, 3He, He)
Supply voltage  V100 to 230, 50/60 Hz
Max. Power Consumption VA1500
Typ. Power ConsumptionVA700
Weightkg143
Dimensions (LxWxH)mm
in.		1050x427x1040
42x21x41
*extrapolated  
品番
アクセサリー
消耗品
UL6000 Fab
550-520UL6000 Fab
UL6000 Fab PLUS
550-530UL6000 Fab PLUS
551-226Metal hose, DN63 ISO-K/DN50 ISO-KF
551-227Metal hose, DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF
551-015Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter
551-010Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable
551-202Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version)
525-001SL3000-3, sniffer line 3 m length
525-002SL3000-5, sniffer line 5 m length
525-003SL3000-10, sniffer line 10 m length
551-203Bracket for SL3000
551-210SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000
551-201Helium Bottle Holder
560-310I/O 1000 module
560-315BM1000 PROFIBUS module
560-316BM1000 PROFINET IO module
560-317BM1000 DeviceNet module
560-318BM1000 Ethernet/IP module
560-334Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m
560-332Data Cable 2 m
560-335Data Cable 5 m
560-340Data Cable 10 m
Part NumberDescription
200007656Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation

ダウンロード

Anleitungen
UL6000 Fab-Serie
pdf • 2,0 MB • ドイツ語 • パンフレット
Brochure UL6000 Fab Product Series
pdf • 2,0 MB • 英語版 • パンフレット
取扱説明書
UL6000-Fab,-PLUS-操作手冊 Operating Instructions (zh-tw)
pdf • 4,4 MB • 中国語 • 取扱説明書
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 操作说明书 Operating instructions
pdf • 4,4 MB • 中国語 • 取扱説明書
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Instrukcja obsługi
pdf • 4,3 MB • ポーランド語 • 取扱説明書
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Istruzioni per l'uso
pdf • 4,2 MB • イタリア語 • 取扱説明書
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Manual de instrucciones
pdf • 4,3 MB • スペイン語 • 取扱説明書
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Notice d'utilisation
pdf • 4,3 MB • フランス語 • 取扱説明書
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS инструкция по эксплуатации
pdf • 4,7 MB • ロシア語 • 取扱説明書
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 사용 설명서 Operating instructions
pdf • 4,2 MB • 韓国語 • 取扱説明書
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 操作説明 Operating instructions
pdf • 4,4 MB • 日本語 • 取扱説明書
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Betriebsanleitung
pdf • 4,3 MB • ドイツ語 • 取扱説明書
RC1000 Betriebsanleitung
pdf • 2,1 MB • ドイツ語 • 取扱説明書
SL3000(XL) Operating Manual
pdf • 1,8 MB • ドイツ語 • 取扱説明書
Halterung SL3000
pdf • 328,7 KB • ドイツ語 • 取扱説明書
RC1000 Operating instructions
pdf • 2,1 MB • 英語版 • 取扱説明書
RC1000 Notice d'utilisation
pdf • 2,1 MB • フランス語 • 取扱説明書
SL3000 bracket
pdf • 148,3 KB • 英語版 • 取扱説明書
SL3000(XL) Operating Manual
pdf • 1,8 MB • 英語版 • 取扱説明書
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Operating instructions
pdf • 4,2 MB • 英語版 • 取扱説明書
カタログ
LD-Katalog-2022-23-DE
pdf • 6,9 MB • ドイツ語 • カタログ
生産中止品
Other
Declaration of contamination
pdf • 46,5 KB • 英語版 • DoC
本製品は以下のマーケットで使用されています。
Battery-Market-Navi
バッテリー

電極の生産からエンドオブラインテストまで

詳細はこちら
energy-market-navi
エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

詳細はこちら
HVACR-Navi
冷凍空調

冷凍空調技術は、間違いなく21世紀の重要なテーマの一つです。使用効率、エネルギー効率、そして何よりも最適な温度や気候（民間および商業部門において）が重要な役割を果たします。

詳細はこちら
Mobility_and_Automotive-Navi
モビリティ＆オートモーティブ

進化する業界において信頼性の高いリークテストを実現 。自動車業界の変化に伴い、リークテストがますます重要になってきています。

詳細はこちら
Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半導体IDM＆ファウンドリ

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

詳細はこちら
SEMI-OEM-Navi
半導体製造装置メーカー

半導体産業は、データ処理、通信、家電、自動車、航空宇宙などで使用される集積回路の設計、製造、組立、テストから構成されています。

詳細はこちら
Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

詳細はこちら
リークディテクタにはどのような種類がありますか？

真空法、スニファー法、蓄積法に対応したラインナップがあります。 測定対象や検出したいガス（ヘリウム、水素、各種冷媒ガスなど）に合わせてご選定ください。

内部校正と外部校正の違いは？

内部校正は、リークディテクタに搭載された内部校正器を使用してリークディテクタを校正します。 外部校正は、外部校正器やマスターワークなどを使用してリークディテクタを校正します。

リークディテクタ校正のタイミングは？

リークディテクタ起動から20分以上経過してからの校正を推奨しています。

リークディテクタ校正の頻度は？

測定環境の変化に対応する上では、リークディテクタ校正の頻度は高いほうが望ましいです。 定期的に校正を要求するメッセージを表示させることもできます。

リークディテクタ本体のみの校正は行ってもらえますか？

リークディテクタ本体のみの校正は行っておりません。 校正された校正器をご用意いただき、使用環境において校正を実施いただくことを推奨しております。

メンテナンスの頻度は？

製品によって異なりますが、1年に1回の定期メンテナンス実施を推奨しています。

リーク量の単位は？

・Pa m3/s：SI単位、日本工業規格（JIS）に規定されています。
・atm cc/s：非SI単位、大気圧における1秒当たりのリーク量（cc)であり、イメージしやすい単位です。（1 atm cc/s≒0.1031 Pa m3/s）
・mbar l/s：欧州圏で使用されている単位です。（1 mbar l/s = 0.1 Pa m3/s）
・g/a：主に冷媒ガスの測定に使用され、1年間のリークするガスの重量（g）です。

防爆対応のリークディテクタはありますか？

Extrima防爆認証水素リークディテクタは、Zone 0（Division 1に相当）に対応しています。

真空法リークディテクタのGROSS、FINE、ULTRAとは？

検出の感度の違いを表しており、GROSS < FINE < ULTRA の順で感度が高くなります。 感度が高くなることで微少なリークを検出できるようになりますが、高い真空が必要になります。

スニファー法リークディテクタで使用される流量sccmとは？

Standard cc/sの略称であり、標準状態における1分当たりの量（cc）を表しています。

冷媒ガスリークディテクタE3000とHLD6000の違いは？

E3000は、質量ガス分析計を搭載しており、原子質量単位2～200amuのガスを任意に測定できます。 HLD6000は、赤外線センサーを搭載しており、使用するプローブに応じてハロゲンベースの冷媒ガス、CO2、R600a/R290をそれぞれ測定できます。

スニファー法リークディテクタP3000(XL)とXL3000flexの違いは？

P3000(XL)、XL3000flex共に、高流量モード（3000sccm）に対応しています。 P3000(XL)はヘリウム専用ですが、XL3000flexはヘリウムと水素を検出できます。

蓄積法とは何ですか？

大気圧チャンバを使用したヘリウムリーク検査です。 水没試験や圧力変化法によるリーク検査からの置き換えを期待できます。

ビデオコンテンツの許可が必要です
詳細情報