UL6000 Fab Series
UL6000 Fab/UL6000 Fab PLUS リークディテクタ
ULTRATEST™ センサーテクノロジー
リークテストのスピードと精度の新たな基準を打ち立てます。
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半導体アプリケーション用ヘリウムリークディテクターシリーズ
INFICONのUL6000ヘリウムリークディテクターは最も重要で需要が大きいリーク検出作業に適するようデザインされています。INFICON独自のソフトウェアアルゴリズムI-CAL と、現場で証明されてきた真空デザインHydro-Sの特性を生かしたUL6000は、テストにおける柔軟性、高感度、速くて正確な結果を実現し、あらゆるリーク検出作業を迅速かつ簡単にします。
UL6000は全計測範囲ですばやく反応し、テスト条件と最終結果に到るサイクル時間を大幅に短縮します。特別にデザインされた真空設計はヘリウムポンプスピードを高く保ち、必要とされる時間に非常に迅速に反応します。
Efficient leak testing
リーク検知は時間がかかる上に複雑です。上昇率を測定することで、半導体や真空装置は運転中に継続的にモニターされます。この一体型リークテストによってリークが示されると、ヘリウム噴霧法を用いてリーク位置が特定され、必要な修理が可能になります。これに続いて、圧力上昇またはいわゆる真空減衰測定を使用した別のリークテストが行われます。この複雑なプロセスは、すべてのリークが検出されるまで繰り返される必要があります。さらに、可能な限り正確を期すため、この手順の測定時間は、機器の容積が大きい場合、特に長くなることが多い。I-RISE（インテリジェント・レート・オブ・ライズ）機能により、新しいUL6000 Fab PLUSは圧力上昇測定を単独で行い、ヘリウム噴霧法と組み合わせることができるようになりました。当社の特許取得済みシステムにより、測定時間が大幅に短縮され、リークテストとファブ機器のメンテナンスにかかる一般的な時間を最小限に抑えることができます。チャンバー容積に関係なく、10秒以内で、より速く、より正確な測定結果を体験してください。
SMART-Sprayでリークテストを最適化。I·BOOSTとSPRAY-Check
SMART-Spray は、大型のヘリウムボンベや煩雑なホースの必要性をなくし、リークチェックを強化します。プロセスを合理化し、手作業によるヘリウム流量調整を減らし、エラーを最小限に抑えます。このツールは、低いヘリウム消費量とバックグラウンドレベルを維持しながら、リーク検査をより速く、より簡単に、より信頼できるものにします。
効率的で正確なリーク検査に最適 I·BOOSTはリーク検査において最大50％の時間節約を実現します。より短い反応時間で、様々なチャンバー容積にわたって迅速かつ正確な測定を行い、効率と精度を高めます。さらに、スプレー式リークテストであるSPRAY-Checkは、リークディテクタの機能性と即応性を保証します。10-⁸から10-⁸mbar・l/sの範囲に最適で、テストプロセス中に信頼できるチェックを提供します。nhances leak checking by
利点
Fab製品シリーズ
- ULTRATEST センサーテクノロジー
- HYDRO-S (HYDROgen-Suppression)により、テスト条件に素早く到達。
- CAL (Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rates)により、すべての測定範囲においてリークへの迅速な対応が可能。
- 特別なマルチインレットターボ分子ポンプは、最適化された高速ヘリウムポンプスピードと全圧力での高圧ヘリウム圧縮を提供し、優れた感度、応答性、高速クリーンアップを実現します。
- ブースターターボ分子ポンプは、最大の容積とチャンバーを含む、どのようなテスト対象に対しても非常に速い反応を実現します。
- 現場で実証済みのINFICON磁気セクター質量分析計は、トラブルフリーでメンテナンス不要のデザインで、何年にもわたって正確で再現性のある結果を提供します。
- UL6000をヘリウムや微粒子汚染から守るセルフプロテクション機能、そして必要なときにUL6000が準備できていることを確実にするオートパージサイクル。
- 回転可能なディスプレイ/コントロールインターフェースとオプションのリモートハンドコントローラーにより、柔軟な操作が可能です。
- 本体やシステムソフトウェアへのアクセスは、ソフトウェアで制御できます。
- 電子メールによるソフトウェア・アップデートにより、UL6000の性能を常に最適な状態に保つことができます。
- テストに便利なESDマットとツールボックスを備えた、最適な高さの作業面を備えたワークステーションデザイン。
Fab PLUS製品シリーズ
- インテリジェントな昇圧率、I-RISEを搭載： ヘリウムスプレー法と組み合わせた装置内圧力上昇試験を提供します。
- 10秒以内で上昇率を測定
- リークテストとファブ機器のメンテナンスにかかる一般的な時間を最小限に抑えます。
- より速く、より正確に
標準的なアプリケーション
- 半導体およびフラットパネルディスプレイで利用されるコンポーネント、サブアセンブリおよび大型チャンバーのリークテスト
- 半導体、フラットパネル装置のリークテスト
- 航空宇宙関連コンポーネント、サブアセンブリおよびシステムのリークテスト
- 貯蔵容器/貯蔵タンクのリークテスト
仕様
| ヘリウムの最小検出リーク率（真空法） | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
| ヘリウムの最小検出可能リーク率（スニファーモード） | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
| 最大吸入圧（MASSIVEモード） | atm (~1013 mbar) | |
| 荒引きポンプの種類 | roots | |
| 荒引きポンプの最高揚水速度 | m³/h | >36 |
| ポンピング速度 @ インレット (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
| インレットでのポンピング速度（10～100 mbarおよび1～10 mbar） | m³/h | 26 |
| 最大ヘリウム圧送速度（ULTRAモード） | L/s | >36 |
| 最大ヘリウム圧送速度DN63をDN40に低減 | L/s | ~ 30 |
| 1 mbarまでの排気時間 50 L | s | 52 |
| 50 Lの場合の応答時間 | s | 1.4 |
| 1 mbarまでの排気時間 50 L | s | 52 |
| 100 L* 1 mbarまでの排気時間 | s | 104 |
| 500 L* 1 mbarまでの排気時間 | s | 527 |
| 1000 L* 1 mbarまでの排気時間 | s | 1054 |
| 50Lを大気圧まで排気。16 s | s | 16 |
| 稼働時間 | min | <2 |
| 校正時間 | s | <30 s |
| インレットフランジ | DN63 ISO-K | |
| 検出可能な質量（ULTRATESTセンサー技術） | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
| 電源電圧 | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
| 最大最大消費電力 | VA | 1500 |
| タイプ消費電力 | VA | 700 |
| 重量 | kg | 143 |
| 寸法（LxWxH） | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
| *外挿 |
| Min. detectable leak rate for helium (vacuum method) | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
| ヘリウムの最小検出可能リーク率（スニファーモード） | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
| 最大吸入圧（MASSIVEモード） | atm (~1013 mbar) | |
| 荒引きポンプの種類 | roots | |
| 荒引きポンプの最高揚水速度 | m³/h | >36 |
| ポンピング速度 @ インレット (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
| インレットでのポンピング速度（10～100 mbarおよび1～10 mbar） | m³/h | 26 |
| 最大ヘリウム圧送速度（ULTRAモード） | L/s | >36 |
| 最大ヘリウム圧送速度DN63をDN40に低減 | L/s | ~ 30 |
| 50 Lの場合の応答時間 | s | 1.4 |
| 1 mbarまでの排気時間 50 L | s | 52 |
| 100 L* 1 mbarまでの排気時間 | s | 104 |
| 500 L* 1 mbarまでの排気時間 | s | 527 |
| 1000 L* 1 mbarまでの排気時間 | s | 1054 |
| 50Lを大気圧まで排気。16 s | s | 16 |
| 稼働時間 | min | <2 |
| 校正時間 | s | <30 s |
| 上昇率測定時間（I-RISE） | s | <10 |
| インレットフランジ | DN63 ISO-K | |
| 検出可能な質量（ULTRATESTセンサー技術） | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
| 電源電圧 | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
| 最大最大消費電力 | VA | 1500 |
| タイプ消費電力 | VA | 700 |
| 重量 | kg | 143 |
| 寸法（LxWxH） | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
| *外挿 |
ご注文について
| 550-520 | UL6000 Fab |
| 550-530 | UL6000 Fab PLUS |
| 551-050 | SMART-Spray ***NEW |
| 551-600 | I·BOOST software license***NEW |
| 551-031 | SPRAY-Check TL8***NEW |
| 551-226 | Metal hose, DN63 ISO-K/DN50 ISO-KF |
| 551-227 | Metal hose, DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF |
| 551-015 | Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter |
| 551-010 | Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable |
| 551-202 | Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version) |
| 14005 | SL200 - 4 m、UL製品ファミリー用スニファープローブ |
| 14006 | SL200 - 14 m、UL製品ファミリー用スニファープローブ |
| 551-210 | SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000 |
| 525-001 | SL3000-3, sniffer line 3 m length |
| 525-002 | SL3000-5, sniffer line 5 m length |
| 525-003 | SL3000-10, sniffer line 10 m length |
| 551-203 | Bracket for SL3000 |
| 551-201 | Helium Bottle Holder |
| 560-310 | I/O 1000 module |
| 560-315 | BM1000 PROFIBUS module |
| 560-316 | BM1000 PROFINET IO module |
| 560-317 | BM1000 DeviceNet module |
| 560-318 | BM1000 Ethernet/IP module |
| 560-334 | Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m |
| 560-332 | Data Cable 2 m |
| 560-335 | Data Cable 5 m |
| 560-340 | Data Cable 10 m |
| 200007656 | Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation |
ダウンロード
真空法、スニファー法、蓄積法に対応したラインナップがあります。 測定対象や検出したいガス（ヘリウム、水素、各種冷媒ガスなど）に合わせてご選定ください。
内部校正は、リークディテクタに搭載された内部校正器を使用してリークディテクタを校正します。 外部校正は、外部校正器やマスターワークなどを使用してリークディテクタを校正します。
リークディテクタ起動から20分以上経過してからの校正を推奨しています。
測定環境の変化に対応する上では、リークディテクタ校正の頻度は高いほうが望ましいです。 定期的に校正を要求するメッセージを表示させることもできます。
リークディテクタ本体のみの校正は行っておりません。 校正された校正器をご用意いただき、使用環境において校正を実施いただくことを推奨しております。
製品によって異なりますが、1年に1回の定期メンテナンス実施を推奨しています。
・Pa m3/s：SI単位、日本工業規格（JIS）に規定されています。
・atm cc/s：非SI単位、大気圧における1秒当たりのリーク量（cc)であり、イメージしやすい単位です。（1 atm cc/s≒0.1031 Pa m3/s）
・mbar l/s：欧州圏で使用されている単位です。（1 mbar l/s = 0.1 Pa m3/s）
・g/a：主に冷媒ガスの測定に使用され、1年間のリークするガスの重量（g）です。
Extrima防爆認証水素リークディテクタは、Zone 0（Division 1に相当）に対応しています。
検出の感度の違いを表しており、GROSS < FINE < ULTRA の順で感度が高くなります。 感度が高くなることで微少なリークを検出できるようになりますが、高い真空が必要になります。
Standard cc/sの略称であり、標準状態における1分当たりの量（cc）を表しています。
E3000は、質量ガス分析計を搭載しており、原子質量単位2～200amuのガスを任意に測定できます。 HLD6000は、赤外線センサーを搭載しており、使用するプローブに応じてハロゲンベースの冷媒ガス、CO2、R600a/R290をそれぞれ測定できます。
P3000(XL)、XL3000flex共に、高流量モード（3000sccm）に対応しています。 P3000(XL)はヘリウム専用ですが、XL3000flexはヘリウムと水素を検出できます。
大気圧チャンバを使用したヘリウムリーク検査です。 水没試験や圧力変化法によるリーク検査からの置き換えを期待できます。