センサー＆フィードスルー
RSH-600 回転式センサー
要求の厳しい用途で水晶振動子の優れた性能を発揮
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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RSH-600回転式センサヘッドは、非常に厚い膜と複数の異なる材料を使用する、要求の厳しいプロセス用に設計されています。RSH-600は、熱シールドされ、水冷却された格納スペース内に6つの振動子を入れることができ、300°Cまでの温度環境で振動子に優れた性能を発揮させます。振動子は取り出しやすい、Teflon®とステンレススチールの振動子ホルダに格納されます。
機能
- 6つの振動子
- ポジションフィードバック(コントローラーに依存)
- 長さ調節可能（オプションのフランジによる）
- 堅牢な設計
仕様
| 振動子数 | 6 |
| 設置口径 | 50.8 mm (2.0 in.) diameter |
| 動作温度（冷却水あり） | 300° C max with stainless steel head cover 400° C max with copper head cover |
アクセサリー
消耗品
スペアパーツ
| Part Number | Description |
| 153202 | Adjustable flange |
| 153204 | Crystal Retainer Assembly, Flat |
| 153204-2 | Crystal Retainer Assembly, Angled |
| 153731 | RSH-600 Sensor Head Cover, Copper, Flat |
| 153731-2 | RSH-600 Sensor Head Cover, Copper, Angled |
| 153708 | RSH-600 Sensor Head Cover, Stainless Steel, Flat |
| 153713 | RSH-600 Sensor Head Cover, Stainless Steel, Angled |
| Name | Description |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
| Part Number | Description |
| 153706 | Spring Retainer assembly Flat |
| 153707 | 24 VDC Solenoid valve assembly |
| 153709 | Retaining Screw for Flat crystal retainer |
| 153710 | Crystal Holder Flat (includes 153709) |
| 153714 | Spring Retainer Assembly, Angled,RSH-600 |
| 153715 | Retainer Screw for angled crystal retainer |
| 153716 | Crystal Holder, Angled, RSH-600 |
| 153722 | Signal/Ground Contact Module, RSH-600 |
| 153724 | Spring retainer contact kit - Flat (set of six) |
| 153726 | Crystal Contact for Crystal Retainer Assembly |
| 889128 | 7 pin male connector |
| 889128-2 | 7-pin Female Connector |
| 144-101 | M3x6 SOC Head Screw for Flat Crystal Retainer |
