センサー＆フィードスルー
QCM センサーフィードスルー
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONは、多様な水晶振動子モニタ（QCM）センサフィードスルーを提供しており、多くのQCMセンサとチャンバ構成に対応します。CF40 (2.75インチConFlat®)および 2.54 cm (1インチ)ボルトスタイルフィードスルーは、電気接続、水冷、空気チューブの多様な組み合わせで利用できます。INFICONフィードスルーはまた、Ultra-Torr Oリングコンプレッションフィッティングを備えているため、設置とセンサー長の調整が容易です。要求に応じて他のフィードスルーのスタイル（KF40など）もご利用いただけます。フィードスルーの要件について、INFICONにご連絡ください。
記載のない限り、通常のフィードスルーの電気接続は大気側の同軸BNCコネクタと真空側のMicrodot®コネクタから構成されますこの電気接続のスタイルは、INFICON Front Loadシングル、 Front Loadデュアル。 Sputtering、 CrystalSix、およびCrystal 12センサでの使用が想定されています。
注：フィードスルーの水と空気のチューブの外径は4.8 mm（3/16インチ）です。
Sensor Type
次の表はセンサタイプごとのフィードスルーの要件と部品番号を記載した早見表です。
| Requirements | Part Number | |||||
| Sensor Type | Number of Coax | Number of Tubes | CF40 | CF40 with Ultra-Torr | 2.54 cm (1 in.) Bolt | 2.54 cm (1 in.) Bolt with Ultra-Torr |
| Single | 1 | 2 | 002-043 | 206-878-G2 | 002-042 | 750-624-G1 |
| Single with Shutter | 1 | 3 | 750-685-G1 | 750-685-G2 | 750-030-G1 | Contact Factory |
| Dual | 2 | 3 | 002-080 | 206-890-G2 | 750-707-G1 | Contact Factory |
| CrystallSix or Crystall 12 | 1 | 3 | 750-685-G1 | 750-685-G1 | 750-030-G1 | Contact Factory |
CrystallSix or with shutter | 1 | 4 | 750-683-G1 | N/A | Contact Factory | N/A |
機能
- 2.54 cm (1 in.) ボルトまたはCF40 (2.75 in. ConFlat®) スタイル入手可能
- Ultra-Torr Oリングコンプレッションフィッティング入手可能
- カスタムフィードスルー構成利用可能
- 要求に応じて他のフィードスルースタイルも利用可能
品番
| Part Number | Description |
| 2.54 cm (1 in.) Bolt Feedthroughs | (Includes VITON® O-ring) |
| 002-042 | 1 in. Bolt Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes |
| 750-030-G1 | 1 in. Bolt Feedthrough, 1 Coax, 3 Tubes |
| 750-707-G1 | 1 in. Bolt Feedthrough, 2 Coax, 3 Tubes |
| 750-624-G1 | 1 in. Bolt Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes |
| 783-501-013 | 1 in. Bolt Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes, Ultra-Torr O-ring compression fittings |
| CF40 (2.75 in. ConFlat) Feedthroughs | (Includes copper gasket) |
| 002-043 | CF40 Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes |
| 750-685-G1 | CF40 Feedthrough, 1 Coax,3 Tubes |
| 002-080 | CF40 Feedthrough, 2 Coax, 3 Tubes |
| 750-683-G1 | CF40 Feedthrough, 1 Coax, 4 Tubes |
| 206-878-G2 | CF40 Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes, Ultra-Torr O-ring compression fittings |
| 750-685-G2 | CF40 Feedthrough, 1 Coax, 3 Tubes, Ultra-Torr O-ring compression fittings |
| 206-890-G2 | CF40 Feedthrough, 2 Coax, 3 Tubes, Ultra-Torr O-ring compression fittings |
| KF40 Feedthroughs | (Does not include centering ring or clamp) |
| 130246 | KF40 Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes |
| 130239 | KF40 Feedthrough, 1 Coax, 3 Tubes |
アクセサリー
スペアパーツ
| Name | Description |
| Clamping Ring with Wing Nut | Clamping Ring with Wing Nut |
| Part Number | Description |
| 002-064 | Quad Ring Gasket, VITON®, CF40 |
| 012-328 | Gasket, Copper, CF40 |
| 070-0237 | O-ring, VITON®, 2.54 cm (1 in.) bolt |
| 211-003 | Clamping ring DN 32-40 ISO-KF |
| 211-070 | Centering ring DN 40 ISO-KF,SS/FPM |
