光学式ガス分析計
Quantus® LP100+
リアルタイムガス分析と終点検出
ACADEMY
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半導体製造中のプロセスモニタリングは、技術の進歩がプロセスを限界まで押し上げるため、ますます重要になってきている。微量の汚染でさえも結果に大きく影響する可能性があり、重要なプロセス環境ではリアルタイムのリークと終点検出が不可欠です。INFICONのQuantus® LP100+ガスアナライザは小さな変化を即座に特定し、反応し、ウェハーのスクラップを最小限に抑え、歩留まりを向上させるようにデザインされています。
自己プラズマ光学発光分光法（SPOES）技術をベースにしたQuantus LP100+は、低ppmの範囲まで卓越した検出限界を提供し、チャンバー上であれポンプライン上であれ、設置場所に柔軟性があります。
独自のセンサー設計で設計されたQuantus LP100+は、従来のOES製品とは比較にならない利点を提供します。このセンサーはプラズマセル内に局在プラズマを発生させ、OESベースのガス分析計の能力をプラズマチャンバーの設置だけでなく、非プラズマチャンバーやフォアラインや排気ラインのような他のツール位置まで拡張します。高価なポンプシステムを必要としない10mTorr～1Torrの動作範囲を持つQuantus LP100+は、最小限のメンテナンスで低所有コストを実現しながら、多くのプロセスに適合します。
Quantus LP100+は標準のKF25ポートを使って簡単にシステムに接続できます。設置面積が小さいので、プロセスツール内やその周辺で発生する日常作業の邪魔になりません。
特徴
- 動作範囲10 mTorr～1 Torr
- 低ppmレベルまでの優れた検出限界
- 標準KF25接続による容易な設置
- 高速10Hzサンプリングレート
- 低メンテナンス、長期信頼性
- 低所有コスト、ポンプや消耗品不要
- 現場で交換可能な便利なプラズマセル
- 小さな設置面積：（高さx幅x長さ）87 x 150 x 241 mm（3.4 x 5.9 x 9.5 インチ）
- 経験豊富な現場で訓練されたINFICONエンジニアによるサポート
仕様
| 動作圧力 | 10 mTorr～1 Torr（アプリケーションに依存） |
| 分光計の性能 | 200～850ナノメートル波長（UV-VIS） 16ビット・フルスケール分解能、3648ピクセル |
| 検出限界 | 低 ppm レベルまで（用途による） |
| 露光時間 | 最小1m秒 |
| 真空継手 | KF25 |
