センサー＆フィードスルー

Crystal 12® センサー

振動子を自動的に切り替えて生産時間を最大効率化

INFICON Crystal 12 センサをINFICON IC6薄膜蒸着コントローラと組み合わせて使用すれば、プロセスを中断することなく自動的に振動子を交換することができます。振動子が不安定になったり故障したりすると、IC6がCrystal 12センサーのカローセルに信号を送り、直ちに新しい振動子を所定の位置に回転移動させて蒸着速度の監視を続けます。ダウンタイムをさらに短縮したい場合には、オプションの第2カローセルに、振動子を前もって装着しておくことができます。消耗した振動子が取り付けられているカローセルと新しいカローセルは簡単かつ迅速に交換できるので、システムが停止状態になる時間を最小限に抑えることができます。

機能

12基の振動子を保持し、安定した自動切り替え方式によりプロセスのアップタイムを最大化
取り外しが簡単なカローセルで、12基の振動子を迅速に交換できる
振動子の切り替えは空気で操作されるため、振動子の温度が安定 (競合品は発熱するモーターを使用)
取り外し簡単なフロント蒸着シールドが振動子とカローセルを材料の堆積から保護しているので、メンテナンスでセンサー全体を取り外す必要性は最小限
オプションで、マウントポストキットをユーザー仕様に調整し、計量ハードウェアを取り付け可能

仕様

水なしでの最高ベークアウト温度	130°C

最小水流での最大動作等温環境温度	300° C

サイズ (最大外形)	4.0 in. (102 mm) dia. x 3.3 in. (84 mm) high 4.75 in. (121 mm) dia. x 3.46 in. (88 mm) with optional mounting posts installed

振動子交換	Front-loading

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

アクセサリー

消耗品

スペアパーツ

Name	Description
QCM Sensor Feedthroughs	QCM Sensor Feedthroughs

Name	Description
Quartz Monitor Crystals	Quartz Monitor Crystals

Part Number	Description
750-276-P3	Actuator cover
750-644-G1	Housing
XL12-000100	Deposition Shield, Crystal 12 Sensor
750-286-P2	Pneumatic actuator
750-291-P1	Detent
750-902-G1	Crystal 12 Kit
750-294-P2	Stop ratchet
750-293-P2	Ratchet
750-256-P2	Extension spring
750-252-P2	Spring post
750-649-G1	Electrical connection
750-295-G1	Pawl and actuator
750-258-P2	Bearing Shaft
070-0779	Ball bearing
XL12-001000	Carousel Assembly, Crystal 12 Sensor
750-650-P1	Aperture plate (without dowel pin)
070-1253	Dowel pin
750-651-P1	Resistor network support
750-655-P1	Resistor network insulator
750-642-G1	Resistor Network
750-661-P1	Contact terminal (carousel component)
750-656-P1	Crystal insulator (carousel component)
321-038-P6	Leaf spring (carousel component)
750-657-P1	Grounding leaf spring
750-671-P1	Torsion spring
750-626-P1	Spring for sputtering head cover
750-647-P1	Spindle
070-1268	Spindle bearing (spindle component)
070-1254	E-Ring (spindle component)
750-660-P1	Location screw (spindle component)
007-126	0.125 in. x 30 in. (3.175 mm x 762 mm) seamless tubing
070-201	#4 Split lockwasher
084-004	#4-40 X .187 Hex socket head screw
070-398	Retaining ring
070-0867	Shaft spacer
070-170S	#2 Split Lockwasher SS Spare
070-177	#4-40 X 3.12 Hex head screw
080-038S	Screw 0-80 x.375 LG Phil Pan HD SS Spare
082-032S	Lock Washer #2 Stainless Steel Spare
082-045	#2-56 x .187 Phillips screw
084-054	#4 Split lock washer
082-022	#2 Flat washer
082-024	#2-56 x .250 Hex socket screw
750-292-P2	Detent spacer
080-013	#0-80 Split washer
080-007-P1	#0-80 x .170 Flat washer
080-009-P1	#0-80 X .188 Socket head screw
084-048	#4-40 x .250 Flat head screw
750-665-P1	#2-56 Torsion spring shoulder screw
084-093S	Screw Socket HD 4-40 x 1.125 in Spare
086-084-P2S	Screw Socket HD Set 6-32 x 0.125in Spare
086-041	#6 Flat washer
086-038	#6 Split lock washer
086-036	#6-32 x 3/8 socket head screw
In-vacuum cables
321-039-G12	In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.)
007-252	In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.)
321-039-G11	In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.)
007-044	In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.)
007-059	In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.)
007-061	In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) - Requires ModeLock controller
321-039-G13	In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) - Requires ModeLock controller
321-039-G14	In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) - Requires ModeLock controller
321-039-G15	In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU
321-039-G16	In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU