RSH-800 回転センサー
最も要求の厳しいアプリケーションにおいて稼働時間を最大化する連続薄膜蒸着モニタリング。
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長時間のPVD成膜プロセスには、稼働中のあらゆる瞬間に安定性、精度、信頼性を維持できる装置が求められます。不安定なレート制御は歩留まり、均一性、貴重な生産時間の損失につながります。
INFICON RSH-800回転センサーヘッドは、中断なく完了しなければならない長時間の成膜プロセス向けに設計されています。過酷な環境下での連続モニタリングを想定して構築されており、要求の厳しいプロセスが開始から終了まで安定性と一貫性を保って稼働することを支援します。
要求の厳しいプロセス向けに設計
長時間のPVDプロセスは装置を限界まで追い込みます。高温、厚膜、精密多層膜、長サイクルタイム——いずれも圧力下でも揺るがない信頼性の高いモニタリングを必要とします。
RSH-800は高度な6結晶技術を採用し、過酷な条件下でも安定した性能を発揮します。水冷式で熱遮蔽された筐体は300℃までの安定性を維持し、成膜プロセス全体を通じて測定精度を保証します。
安定したモニタリングを維持
均一な薄膜と予測可能な性能には、信頼性の高い厚み測定が不可欠です。RSH-800は、長時間のコーティング工程を通じて成膜速度を安定させる技術により、温度変化や成膜厚みの継続的な増加が起きるアプリケーションにおいても、一貫した途切れのない信号をサポートします。
熱的に遮蔽されたハウジングが熱衝撃を排除し、プロセス全体にわたる精度維持に貢献します。
迅速なメンテナンスと高い稼働率を実現
RSH‑800は、現場での迅速なメンテナンスを可能にする設計により、操業の継続を支援します。結晶交換は、設置時の取り扱いを簡素化するパッケージングにより容易です。
空気圧式インデックス機構が結晶の滑らかな送り出しを実現し、統合されたフィードバックオプションにより、システムが結晶位置を追跡することが容易になります。
主な利点
- 品質の高い設計による歩留まり向上と薄膜精度向上
- 稼働時間延長による生産効率の向上
- 迅速な水晶交換によるスループット向上
- 位置フィードバックによる薄膜最適化の向上
- 現場での簡単な取り扱いと設置による時間短縮
- プロセス最適化のための世界的なアプリケーション専門知識へのアクセス
チャンバー統合のための柔軟な構成
真空システムにはそれぞれ固有の形状と制約があります。RSH-800は、OリングフィードスルーまたはCF63フランジを使用したトップマウント設置用のフラットヘッド構成を含む、複数の取り付けオプションにより容易に適応します。調整可能なフランジアセサリーにより、チャンバー内の必要な位置にセンサーを正確に設置できます。
仕様
| 結晶数 | 六 |
| 結晶サイズ | 直径14 mm (0.550インチ) |
| 設置開口部 | 直径50.8 mm (2.0インチ) |
| 電力要件 | 24 V (直流) ソレノイドバルブ 21.6–26.4 V (直流)、40 mA |
| 115 V (交流) ソレノイドバルブ 90–132 V (交流)、36/32 mA rms (50/60 Hz) | |
| 結晶切替方式 | 空気作動式 @ 55 psi (4 kg/cm2) 調整済み |
| 冷却方式 | 水冷式 @ 5 L/m @ 2 kg/cm2 (28 psi) (凍結させないでください) |
| 空気・水接続 | 空気用 6 mm (0.25 in.) クイックコネクト 1個、水用 1/8 in. 圧縮継手 2個 |
| 水なし最大ベイクアウト温度 | 130°C |
| 動作温度 | 水冷及びステンレス鋼製ヘッドカバー使用時 最大300°C |
| 重量 | 3.8 kg (8.5 lb.)、全長により変動 |
| 材質 | 304ステンレス鋼、PEEK、ベリリウムニッケル |
スペアパーツ
| 品番 | 商品説明 |
| 784-553-G1S | スプリングリテーナーアセンブリ – フラット |
| 031-0214S | 24 V (直流) ソレノイドバルブアセンブリ |
| 031-0215S | 115 V (交流) ソレノイドバルブアセンブリ |
| 784-544-G1S | 水晶リテーナーアセンブリ、フラット |
| 070-2266S | フラット水晶リテーナー用保持ネジ |
| 784-501-P1S | 水晶ホルダー、フラット |
| 784-545-P1S | ステンレススチールカバー |
| 784-554-G1S | 信号サポートアセンブリ |
| 784-555-G1S | スプリングリテーナーコンタクトキット – フラット (6個セット) |
| 784-524-P1S | スプリングリテーナコンタクト |
| 784-552-G1S | 水晶保持器アセンブリ用スプリングコンタクト |
| 051-2558S | 7ピンオスコネクタ |
| 070-2324S | シャフト＆マイクロドット6mm DIA Oリング |
| 784-542-P1S | 200 mm (7.9 インチ) 信号ワイヤアセンブリ |
| 784-542-P2S | 350 mm (13.8 インチ) 信号ワイヤアセンブリ |
| 784-542-P3S | 450 mm (17.7 インチ) 信号ワイヤアセンブリ |
| 784-542-P4S | 540 mm (21.3 インチ) 信号ワイヤアセンブリ |
| 784-542-P5S | 650 mm (25.6 インチ) 信号ワイヤアセンブリ |
| 784-506-G1S | 抵抗グリッド |
| 059-0857S | アクチュエータ用エア継手 |
| 059-0856S | ソレノイド用エア継手 |
| 069-0201S | 6 mm エアチューブ |
| 059-0859S | 水用継手 |
| 070-2326S | 調整可能フランジ O リング |
| 784-556-G1S | マイクロスイッチ ワイヤハーネスアセンブリ |
| 品番 | 商品説明 |
| 784-600-G1S | 調整可能フランジ、丸形 |
| 784-600-G2S | 調整可能フランジ、CF63 |
