コントローラ

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966-IC6

コントローラ

機能豊富なIC6は可能な限り最高の計測精度を提供します

NFICONのModeLock技術は、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと厚みの計測を可能にします
自動Zは、材料が蒸着されるときに自動的にZ比率を決定することによって、厚みの正確さを向上させる
最大6つのソースを同時にコード化することが可能

960-cygnus

コントローラ

Cygnus 2薄膜蒸着コントローラーは、実証済みのINFICONの薄膜コントローラーの性能と、OLEDプロセスを最大限に活用できるように設計された、ユニークな機能を組み合わせることにより、ひときわ優れた価値を提供します。

INFICONのModeLock技術は最も安定であり、非常に低い蒸着速度であっても最高の分解能と膜厚計測を可能にします。
Auto Z は、材料の蒸着が進むとともにZ比率を自動的に決定し、膜厚の精度を向上させる
6つのソースまで同時にコントロールできるので、単独で、または1台のCygnus 2と組み合わせることにより、2台または3台のコントローラーが必要とされる箇所に対応
カラーTFT LCDディスプレイがプロセスで何が起きているかを見やすく表示

972-XTC3M

コントローラ

シングルまたはマルチレイヤー用の高度で低価格のコントロール

シングルレイヤー対応モデルとマルチレイヤー対応モデルが利用可能
特許取得のModeLock技術が、モードホッッピングに由来する膜厚誤差を防止
INFICONのCrystal 12^®、Crystal Six^®、およびデュアルセンサー自動振動子スイッチをサポートし生産力を最大化

979-IQM-233

コントローラ

PCI EXPRESSカードによる低コストの蒸着コントロール

PCI Express
3センサー入力、3コントロール出力
複数のカードをPCに取り付け
複数ソースの共蒸着

956-Guardian

コントローラ

Guardian™ EIES ントローラー

8種類までの材料を同時に蒸着

Guardian™ EIES ントローラー

8種類までの材料の蒸着を監視およびコントロール
蒸着速度0.1～10,000Å/秒
EIESとQCM薄膜プロセスコントロールを統合
リレー出力12とデジタル入力12

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