モニター

前駆体モニター用SemiQCM™ SRセンサー

優れた製品を繰り返し使えるようにする

TDMAT-Sensor

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる

高精度なレートと膜厚のモニタリングで利益を保護し成長させる 
SemiQCM™ SRセンサはプリカーサモニタリングシステムの1つで、他のコンポーネントはIMM-200とFabGuard(バージョン19.12.00-aまたはそれ以上)です。 

セミプロセスモニタリングは半導体アプリケーションにおいて、フォアラインやチャンバー排気
中の前駆体量をモニタリングすることでエンドポイント検出や故障除去に使用することができます。in situ QCMを使用することで、安価にプロセスモニタリングを実現し、半導体プロセスの収益性を向上させることができます。 

プリカーサをウェハに供給できない不具合は、わずか1枚のウェハで検出することが可能です。

特徴

  • 10HzでモニターされるQCMデータ 
  • FabGuardはQCMデータをツール状態とプロセスステップに相関させます。 
  • 蒸着またはエッチ速度の精密な測定 
  • サブモノレイヤー厚さ測定のための感度と精度

利点

  • リアルタイム、in situプロセスモニタリング 
  • オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定 
  • 装置またはプロセス状態の不具合の特定

標準的なアプリケーション

  • 半导体制造 

仕様

最高温度200°C
センサーヘッドサイズ(最大外形)23.87 mm O.D. x 29.19 mm (0.94 in. O.D. x 1.15 in.)
素材
本体・ホルダー304ステンレス鋼
スプリングス金メッキBeCu
同軸線外径5mm ステンレス製
その他機械部品18-8または304ステンレス鋼、Hastelloy® c276
絶縁体真空中で>99%Al2O3: Teflon®を他の場所で使用。
ワイヤー1.Ni(真空中) 2. NiメッキCu(その他) 3.
ブレイズ真空プロセス高温用NiCr合金
クリスタル直径13.97mm(0.550インチ)。
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
品番
消耗品
スペアパーツ
品番商品説明
750-7000-G5SEMI QCM SENSOR ASSY 50MM
750-7000-G6Semi QCM Sensor Assy 60mm
750-7000-G7Semi QCM Sensor Assy 70mm
750-7000-G8Semi QCM Sensor Assy 80mm
750-7000-G9Semi QCM Sensor Assy 90mm
750-7000-G10Semi QCM Sensor Assy 100mm
750-7000-G11Semi QCM Sensor Assy 110mm
750-7000-G12Semi QCM Sensor Assy 120mm
750-7000-G13Semi QCM Sensor Assy 130mm
750-7000-G14Semi QCM Sensor Assy 140mm
750-7000-G15Semi QCM Sensor Assy 150mm
品番商品説明
750-7013-G1SCrystal Holder Assembly Spare
750-1090-G10Sensor Crystals, 6MHz, SC Alloy
品番商品説明
007-023Ceramic Retainer
750-171-P1Finger spring contact
750-7005-G1SCrystal Holder and Retainer Spring Spare Assembly
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