センサー＆フィードスルー

前駆体モニター用SemiQCM® SRセンサー

優れた製品を繰り返し使えるようにする

ACADEMY

関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。

高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる

高精度なレートと膜厚のモニタリングで利益を保護し成長させる
SemiQCM SRセンサはプリカーサモニタリングシステムの1つで、他のコンポーネントはIMM-200とFabGuard（バージョン19.12.00-aまたはそれ以上）です。

セミプロセスモニタリングは半導体アプリケーションにおいて、フォアラインやチャンバー排気
中の前駆体量をモニタリングすることでエンドポイント検出や故障除去に使用することができます。in situ QCMを使用することで、安価にプロセスモニタリングを実現し、半導体プロセスの収益性を向上させることができます。

プリカーサをウェハに供給できない不具合は、わずか1枚のウェハで検出することが可能です。

特徴

10 HzでモニターされるQCMデータ
FabGuardはQCMデータをツール状態とプロセスステップに相関させます。
蒸着またはエッチ速度の精密な測定
サブモノレイヤー厚さ測定のための感度と精度

利点

リアルタイム、in situプロセスモニタリング
オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定
装置またはプロセス状態の不具合の特定

標準的なアプリケーション

半导体制造

仕様

最高温度	200°C

センサーヘッドサイズ（最大外形）	23.9 mm O.D. x 29.2 mm (0.94 in. O.D. x 1.15 in.)

センサーの長さ（真空中）	50–150 mm (1.97–5.91 in.)

取り付けフィードスルー	ISO KF/CF フランジ

素材
本体・ホルダー	304ステンレス鋼
スプリングス	金メッキBeCu
同軸線	外径4.8mm ステンレス製
その他機械部品	18-8または304ステンレス鋼、ニッケルC276
絶縁体	真空中で>96%Al₂O₃: Teflon^®を他の場所で使用。
ワイヤー	真空中のNi、NiメッキされたCu 他
ブレイズ	真空プロセス高温用NiCr合金
クリスタル	直径14.0mm（0.551インチ）。

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

消耗品

品番	商品説明
750-1090-G10	SCカットセンサークリスタル、合金、10個入りパック
750-1137-G5	SCカットセンサークリスタル、イットリア、5個入りパック
750-1138-G5	SCカットセンサークリスタル、アルミナ、5個入りパック

スペアパーツ

品番	商品説明
007-023	セラミックリテーナー、フロントロードセンサー用
750-7065-G1S	14mm SRロッキングクリスタルホルダー予備品
750-7069-G1S	14mm SRロッキングセンサーボディアッセンブリー予備品
750-7084-G1S	14mm SRクリスタルホルダーアッセンブリー予備品（イットリア）
750-7084-G2S	14mm SRクリスタルホルダーアッセンブリー予備品（アルミナ）
750-7084-G3S	14mm SRクリスタルホルダーアッセンブリー予備品（合金）