IMM-200

高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる

IMM-200は、最高の膜厚精度、最高の測定分解能、最低のレートノイズで再現性と均一性を最大化するためにModeLock技術で構築された蒸着モニターです。

発振器を内蔵したIMM-200は、最小限のハードウェアとフットプリントで、イーサネットシステムに簡単に組み込むことができます。このパワフルで正確な測定モニターは、あなたのプロセスに新しいレベルのパフォーマンスをもたらすことでしょう。

特徴

INFICONのModeLock技術は最長の振動子寿命を提供し、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと膜厚計測が可能であることを保証します。
可能な限り最高のQCM膜厚計測で歩留まりを最大化
コストを最小限に抑えるため、不必要な機能を追加していないシングルチャンネルのレートと膜厚モニター
100 msのサンプルで±0.0035 Hzを実現
イーサネット通信によるシームレスな統合
コンパクトなサイズにより、装置のスペースを節約し、統合コストを最小化
専門家によるアプリケーションサポート：独自のアプリケーションニーズについて議論し、競合他社よりも優れたサポートを提供することが可能
RoHS対応

仕様

センサー入力	1

測定頻度範囲	6.0〜4.5MHz(固定)

レートと厚みの分解能	0.0042 Å (新結晶); 0.0076 Å (Crystal @ 4.5 MHz)、100 ms サンプル、材料密度 = 1.0, Z-Ratio=1.0。

通信タイプ	EtherCAT、RJ45ジャック×2、データデイジーチェーンに対応。スイッチによる明示的なデバイスID

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

品番

アクセサリー

消耗品

品番	商品説明
785-602-G1	IMM-200 Thin Film Deposition Monitor

品番	商品説明
Optional Power Supplies	The power supplies listed below are rated for an input of 100 to 249 V (ac), 2 A, 50 to 60 Hz with an output of 24V (dc), 3.34 A, 80 W maximum.
961-021-G1	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug
961-021-G2	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G3	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G4	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug
961-021-G5	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G6	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G7	Power Supply Kit IL 240V
961-021-G8	Power Supply Kit IL 4.5 M Extension
961-021-G9	Power Supply Kit IL 9.0 M Extension
961-021-G10	Power Supply Kit UK 240V
961-021-G11	Power Supply Kit UK 4.5 M Extension
961-021-G12	Power Supply Kit UK 9.0 M Extension
Optional Mounting Bracket
785-202-G1	Mounting bracket with four clean room compatible shock absorbing, female-to-female, stainless steel mounting feet
785-201-G1	Mounting bracket with four shock absorbing, male-to-female, black Neoprene rubber mounting feet
Optional Communications Cable
600-1190-P1	ETHERNET COMUNICATION CABLE 1 METER
600-1190-P2	SPEC- ETHERNET COMMUNICATION CABLE .3M
600-1190-P4	ETHERNET COMUNICATION CABLES 4.3 METER
600-1190-P8	Ethernet 7m cable
600-1190-P15	Ethernet 15m cable