プロセス制御
FabGuard® コントローラー
FabGuardソフトウェアの導入に向けた、強力でありながらコンパクトなソリューション。
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FabGuardコントローラは、FabGuard統合プロセス監視ソリューションを導入するための強力かつコンパクトなソリューションを提供します。
これらの信頼性の高い産業用コントローラは、FabGuardを介してツールやセンサーと接続し、チャンバー固有の詳細な分析でも、ファブ全体の統計的プロセス制御および故障検出分類システムの一部としても、リアルタイムのデータ取得と分析を実行します。
FabGuardコントローラーは、INFICON製センサーやサードパーティ製センサー、さらにファブ全体に存在する多様なツールをサポートします。高速アプリケーションの厳しい要求さえも、FabGuard高速コントローラーを使用することで満たすことが可能です。
利点
- FabGuard製品群を動作させる十分な性能
- INFICONセンサーおよび他社製センサーのサポートが可能
- 設置が容易なコンパクト設計
- 高信頼性のファンレス産業用コントローラー
- 大容量ハードドライブによる拡張データストレージ
- オプションのデータ収集ボード
- FabGuard導入向けINFICONソリューション
仕様
| Type | 産業用フォームファクター | 産業用フォームファクター 4ポート | 産業用フォームファクター 6ポート |
| Size (Length) | 22.6 cm (8.9 in.) | 22.6 cm (8.9 in.) | 22.6 cm (8.9 in.) |
| Size (Width) | 24.1 cm (9.5 in.) | 24.1 cm (9.5 in.) | 24.1 cm (9.5 in.) |
| Size (Height) | 9.1 cm (3.6 in.) | 9.1 cm (3.6 in.) | 9.1 cm (3.6 in.) |
| CPU | i5-6500TE | i5-6500TE | i5-6500TE |
| Memory | 8-32 GB | 8-32 GB | 8-32 GB |
| Hard Disk | 500 GB-1TB | 500 GB-1TB | 1 TB |
| Operating System | Windows | Windows | Windows |
| Ethernet | 2 x GbE LAN | 4 x GbE LAN | 6 x GbE LAN |
| Other/Options | OPC Server | OPC Server | OPC Server |
