センサー＆フィードスルー

Cool Drawer デュアルセンサー

この製品は日本国内でお取扱いしておりません

ACADEMY

関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。

Cool Drawerデュアルセンサは、真空チャンバ内に2つ目の振動子を置くことが望ましい、非常に重要なプロセスのためにデザインされています。水冷却された鋳造ステンレススチールのボディと2つのCool Drawer 振動子ホルダー、空気式シャッターが、丈夫な振動子ヘッドとバックアップ振動子との組み合わせにより、さらなる信頼性を実現します。よりクリーンで信頼性の高いシンクシステムを、チャンバー内に同軸ケーブルなしで取り付けることができます。

機能

デュアル振動子
Cool Drawer振動子ホルダー
内部ケーブルなし
振動子シャッター
CF40フィードスルーおよび2.54 cm (1インチ)ボルトフィードスルーとともに利用可能
溶接済みCF40フランジと一緒に注文すればベーク可能
圧力継手と一緒に注文すれば長さの調整が可能
お客様指定の長さに溶接済みのセンサー/フィードスルーの組合せあり

仕様

冷却水	Minimum water flow of 150 to 200 cm³/min using 1/8 in. O.D. tube, 30°C max. (Do not allow to freeze)

材料	304 stainless steel, ceramic, beryllium nickel

1インチボルトおよび圧縮フィッテイング末端部
温度	Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

部品番号構成

Part Number

アクセサリー

消耗品

スペアパーツ

Part Number	Description
750-420-G1	Solenoid Valve, 24V (for use with shuttered and multi-crystal sensors)

Name	Description
Quartz Monitor Crystals	Quartz Monitor Crystals

部品番号	説明
123259	Cool Drawer Sensor Crystal Retainer
123261	Cool Drawer sensor Drawer
123260	Cool Drawer Sensor Drawer and Retainer Combo
147207	Bellows and cover assembly
147401	Shutter
147402	Link
147411	Spacer
800128	#4 Lockwasher
800371	Shoulder Screw
800372	Washer
803102	O-ring for 5 port adjustable feedthrough
803261	Washer for 5 port adjustable feedthrough