半導体IDM＆ファウンドリ

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

INFICONの半導体製造プロセス装置用のセンサは、残留ガス分析、発光分光分析、水晶振動子マイクロバランス、リークディテクタ、圧力計、RF計測を含む一連のプロセスセンシング技術を採用しています。独自のソフトウェアと組み合わせることで、ユーザーはプロセスのリアルタイムな可視化と装置の即時制御を実現し、最先端技術の実現と最高品質の製品を保証することができます。半導体技術が進歩し、チップの需要が高まるにつれ、ガスやプラズマが周囲とどのように相互作用しているかを知ることは、これまで以上に重要な課題となっています。製品の安全性と品質を確保するための処理中の計測、ダウンタイムを最小限に抑えるためのチャンバークリーニングまたはツールメンテナンス、または温室効果ガスの使用を減らすための軽減システムの監視など、INFICONは特定の用途に合わせて調整できるさまざまなセンサオプションを用意しています。 INFICONのセンサは半導体生産サイクル全体を通して使用されています。正確なガス組成を計測する能力は、サブファブや工場全体の施設パフォーマンスとともに、早期の研究開発、FEOLおよびBEOL製造をサポートします。また、後工程のクリーンルームでのダイソートやアセンブリにも応用され、さらなるプロセス制御と生産性を提供します。その結果、最大生産性と最高効率で稼働する高品質で信頼性の高いプロセスを実現します。