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IMM-100

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IMM-100
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる

IMM-100は、最高の膜厚精度、最高の測定分解能、最低のレートノイズで再現性と均一性を最大化するためにModeLock技術で構築された蒸着モニターです。

発振器を内蔵したIMM-100は、最小限のハードウェアとフットプリントで、EtherCATシステムに
簡単に組み込むことができます。このパワフルで高精度な測定モニターは、あなたのプロセスに新しいレベルの性能をもたらすに違いありません。

特徴

  • INFICONのModeLock技術は最長の振動子寿命を提供し、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと膜厚計測が可能なようにします
  • 可能な限り最高のQCM膜厚計測で歩留まりを最大化
  • コストを最小限に抑えるため、不必要な機能を追加しないシングルチャンネルレートと膜厚モニター
  • 100 msのサンプルで±0.0035 Hzを実現
  • EtherCAT通信によるシームレスな統合
  • コンパクトなサイズにより、ツールのスペースを節約し、統合コストを最小化
  • 専門家によるアプリケーションサポートで、独自のアプリケーションのニーズを話し合い、競合他社よりも優れたサポートを実現
  • RoHS対応"

標準的なアプリケーション

  • 有機ELアプリケーション

仕様

センサー入力1
測定頻度範囲6.0〜4.5MHz(固定)
レートと厚みの分解能0.0042 Å (新結晶); 0.0076 Å (Crystal @ 4.5 MHz)、100 ms サンプル、材料密度 = 1.0, Z-Ratio=1.0。
通信タイプEtherCAT、RJ45ジャック×2、データデイジーチェーンに対応。スイッチによる明示的なデバイスID
品番
アクセサリー
消耗品
品番商品説明
785-600-G1IMM-100 Thin Film Deposition Monitor
品番商品説明
Optional Power SuppliesThe power supplies listed below are rated for an input of 100 to 249 V (ac), 2 A, 50 to 60 Hz with an output of 24V (dc), 3.34 A, 80 W maximum.
961-021-G1Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug
961-021-G2Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G3Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G4Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug
961-021-G5Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G6Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G7Power Supply Kit IL 240V
961-021-G8Power Supply Kit IL 4.5 M Extension
961-021-G9Power Supply Kit IL 9.0 M Extension
961-021-G10Power Supply Kit UK 240V
961-021-G11Power Supply Kit UK 4.5 M Extension
961-021-G12Power Supply Kit UK 9.0 M Extension
Optional Mounting Bracket 
785-202-G1Mounting bracket with four clean room compatible shock absorbing, female-to-female, stainless steel mounting feet
785-201-G1Mounting bracket with four shock absorbing, male-to-female, black Neoprene rubber mounting feet
Optional Communications Cable 
600-1190-P1ETHERNET COMUNICATION CABLE 1 METER
600-1190-P2SPEC- ETHERNET COMMUNICATION CABLE .3M
600-1190-P4ETHERNET COMUNICATION CABLES 4.3 METER
600-1190-P8Ethernet 7m cable
600-1190-P15Ethernet 15m cable
名前商品説明
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals
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