蒸着モニター
SQM-160
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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SQM-160は、実績あるINFICONの水晶振動子センサ技術を使って、薄膜蒸着プロセスにおける蒸着速度と膜厚を計測します。2個のセンサー入力を標準装備し、さらにオプションで4個センサー入力を追加できます。2系統のレコーダ出力で、アナログの速度と膜厚信号を取り出すことができます。
センサ入力は異なる材料に対して割り当てることができ、大規模システムでは蒸着を正確に制御するため平均化されます。またデュアルセンサ用に構成することもできます。速度サンプリングモードでは、シャッター付きのセンサーにより、高速度プロセスでのセンサーの寿命を延ばします。速度表示は 0.1/sまたは 0.01/sを選択できます。さらに、周波数や質量表示も選択することができます。SQM-160は、4個のリレー出力によって、 ソースまたはセンサーシャッター、信号時間、膜厚のセットポイント、そして信号振動子の故障を制御します。デジタル入力は、スタート /ストップ、ゼロリセット用の外部入力信号を受け取ります。
機能
- 標準構成で2つの計測チャンネル、オプションで4つ追加可能
- 蒸着速度/膜厚のアナログ信号出力
- 高分解能オプション：毎秒10回読み取りで0.03Hz
- RS-232 標準、USB またはイーサーネットオプション
仕様
SQM-160 Standard Resolution
SQM-160 High Resolution
| QCMセンサー入力 | Standard: 2; optional: 4 |
| 測定周波数範囲 | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum |
| 厚さおよび速度分解能/測定（1） | ± 0.37 Å |
| 保存フィルム | 99 |
| デジタル入力/出力 | Four inputs, four relay outputs |
| (1) Tooling/density = 100/1、基本周波数 = 6 MHz、測定間隔 0.10 秒 | |
| QCMセンサー入力 | Standard: 2; optional: 4 |
| 測定周波数範囲 | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum |
| 厚さおよび速度分解能/測定（1） | ± 0.037 Å |
| 保存フィルム | 99 |
| デジタル入力/出力 | Four inputs, four relay outputs |
| (1) Tooling/density = 100/1、基本周波数 = 6 MHz、測定間隔 0.10 秒 | |
アクセサリー
アクセサリー & スペアパーツ
消耗品
| Front Load Single Sensor | Front Load Single Sensor |
| Front Load Dual Sensor | Front Load Dual Sensor |
| Cool Drawer Single Sensor | Cool Drawer Single Sensor |
| Cool Drawer Dual Sensor | Cool Drawer Dual Sensor |
| Low Profile Single Sensor | Low Profile Single Sensor |
| Easy Rate Dual Sensor | Easy Rate Dual Sensor |
| Low Profile Dual Sensor | Low Profile Dual Sensor |
| UHV Bakeable Sensor | UHV Bakeable Sensor |
| Sputtering Sensor | Sputtering Sensor |
| Easy Rate Single Sensor | Easy Rate Single Sensor |
| Part Number | Description |
| 782-900-014 | 19 in. Rack Mount Kit for two SQM-160 or CI-100 instruments |
| 782-502-096-G1 | USB option card |
| 782-502-097-G1 | Ethernet option card |
| Oscillator kits | (Includes oscillator and cables) |
| 783-500-109-10 | 3 m (10 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 3 m (10 ft.) BNC cable |
| 783-500-109-25 | 7.6 m (25 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 7.6 m (25 ft.) BNC cable |
| 783-500-109-50 | 15.2 m (50 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 15.2 m (50 ft.) BNC cable |
| 783-500-109-75 | 22.8 m (75 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 22.8 m (75 ft.) BNC cable |
| Oscillator Only | (No cables included) |
| 783-500-013-G1 | OSC-100 oscillator only (no cables) |
| Cables | |
| 782-902-011 | 15.2 cm (6 in.) BNC cable, male/female |
| 782-902-012-10 | 3 m (10 ft.) BNC cable, male/male |
| 782-902-012-25 | 7.6 m (25 ft.) BNC cable, male/male |
| 782-902-012-50 | 15.2 m (50 ft.) BNC cable, male/male |
| 782-902-012-75 | 22.8 m (75 ft.) BNC cable, male/male |
| Name | Description |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
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取扱説明書
本製品は以下のマーケットで使用されています。
